新型单晶炉制造技术

本申请提供了一种新型单晶炉，其包括主炉室和副炉室，副炉室与主炉室连通，其中，该新型单晶炉还包括料室，料室上设置有加料口，料室通过加料口与主炉室连通。料室中设置有加料机构，加料机构可伸缩地穿设在加料口中，用于穿过加料口并向主炉室内的坩埚中加料。本申请提供的新型单晶炉，通过设置料室，实现了在旋出单晶棒的过程中进行加料操作，有效缩短了旋出单晶棒和加料操作共同消耗的时间，提升了生产效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
新型单晶炉


[0001]本申请涉及单晶硅制备
，尤其涉及一种新型单晶炉。

技术介绍

[0002]传统的直拉单晶炉包括一个主炉室和一个副炉室，副炉室设置于主炉室的上方。操作时，需要通过副炉室将硅料填充至主炉室内的坩埚中，并通过一系列工艺流程拉制出单晶棒。单晶棒通过副炉室旋出后，再次通过副炉室由上至下向坩埚中填充硅料，并再次循环进行单晶棒拉制工艺。
[0003]对于现有的上述单晶炉，在完成一棒单晶拉制后，需要先将单晶棒取出后才能向坩埚中再次加料。这一过程极大地浪费了生产工时，降低了生产效率。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种新型单晶炉，以解决上述传统单晶炉生产效率低的问题。
[0005]本申请提供了一种新型单晶炉，包括主炉室和副炉室，所述副炉室与所述主炉室连通，其特征在于，所述新型单晶炉还包括料室，所述料室上设置有加料口，所述料室通过所述加料口与所述主炉室连通；
[0006]所述料室中设置有加料机构，所述加料机构可伸缩地穿设在所述加料口中，用于穿过所述加料口并向所述主炉室内的坩埚中加料。
[0007]在一种可能的实现方式中，所述加料机构包括料隧和滑轨，所述料隧与所述滑轨滑动相连，所述料隧通过所述滑轨可伸缩地穿设在所述加料口中。
[0008]在一种可能的实现方式中，所述料隧中形成有料槽，所述料槽的截面形状为弧形或矩形。
[0009]在一种可能的实现方式中，所述加料机构还包括保温机构，所述保温机构滑动设置在所述料隧上，所述保温机构能够与所述加料口密封配合。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述保温机构包括保温结构和推杆，所述推杆和所述保温结构可拆卸连接。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述保温结构上设置有轴向连通的导向孔和转动孔，所述导向孔的一侧露出所述保温结构的端面，所述转动孔的径向尺寸大于所述导向孔的径向尺寸；
[0012]所述推杆的一端设置有连接部，所述连接部穿过所述导向孔后卡接至所述转动孔中。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述料隧中形成有料槽，所述保温结构与所述料槽滑动相连；
[0014]所述保温结构的侧壁上设置有凸台，所述保温结构通过所述凸台搭接于所述料槽的边缘。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述主炉室中固定设置有保温盒和保温盖板，所述保温盒上设置有加料通道和密封通道，所述加料通道与所述加料口对接，所述密封通道与所述加料通道连通；
[0016]所述保温盖板上设置有密封塞，所述密封塞与所述密封通道密封配合，用于打开或封堵所述加料通道。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述主炉室上在与所述加料口对齐的位置处设置有隔热阀。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述料室中还设置有震动平台和震动发生器，所述震动发生器的动力端与所述震动平台相连，所述震动平台与所述料隧相连。
[0019]在一种可能的实现方式中，所述料室中还设置有加料桶，所述加料桶设置在所述料隧的上方，所述加料桶的底部设置有出料孔，所述出料孔与所述料隧位置相对。
[0020]在一种可能的实现方式中，所述料室设置在所述主炉室的一侧，所述加料桶上远离所述主炉室的一侧壁面为竖直平面，且所述壁面形成所述出料孔的侧壁。
[0021]在一种可能的实现方式中，所述加料桶中设置有加热器。
[0022]在一种可能的实现方式中，所述料室中还设置有碎料机构，所述碎料机构设置在所述加料桶和所述料隧之间。
[0023]在一种可能的实现方式中，所述碎料机构包括驱动机构、主动辊和被动辊，所述主动辊上设置有第一齿，所述被动辊上设置有第二齿，所述第一齿与所述第二齿啮合；
[0024]所述驱动机构用于驱动所述主动辊和所述被动辊相向转动。
[0025]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0026]本申请提供的新型单晶炉，通过设置料室，实现了在旋出单晶棒的过程中进行加料操作，有效缩短了旋出单晶棒和加料操作共同消耗的时间，提升了生产效率。
[0027]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
附图说明
[0028]图1为本申请实施例提供的新型单晶炉的结构示意图；
[0029]图2为料隧的结构示意图；
[0030]图3为一种实施例中保温结构的结构示意图；
[0031]图4为保温结构的半剖视图(一)；
[0032]图5为保温结构的半剖视图(二)；
[0033]图6为另一种实施例中保温结构的结构示意图；
[0034]图7为推杆的结构示意图；
[0035]图8为保温盒的结构示意图；
[0036]图9为保温盒的半剖视图；
[0037]图10为保温盖板的结构示意图；
[0038]图11为料室的结构示意图；
[0039]图12为碎料机构的示意图。
[0040]附图标记：
[0041]1‑
主炉室；
[0042]11
‑
坩埚；
[0043]2‑
副炉室；
[0044]3‑
料室；
[0045]31
‑
加料口；
[0046]32
‑
加料机构；
[0047]321
‑
料隧；
[0048]3211
‑
料槽；
[0049]3212
‑
边缘；
[0050]322
‑
滑轨；
[0051]33
‑
加料桶；
[0052]331
‑
出料孔；
[0053]34
‑
震动平台；
[0054]4‑
保温结构；
[0055]41
‑
导向孔；
[0056]42
‑
转动孔；
[0057]43
‑
第一台阶面；
[0058]44
‑
凸台；
[0059]5‑
推杆；
[0060]51
‑
连接部
[0061]52
‑
第二台阶面；
[0062]6‑
保温盒；
[0063]61
‑
加料通道；
[0064]62
‑
密封通道；
[0065]7‑
保温盖板；
[0066]71
‑
密封塞；
[0067]8‑
碎料机构；
[0068]81
‑
主动辊；
[0069]82
‑
被动辊。
[0070]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
具体实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉，包括主炉室(1)和副炉室(2)，所述副炉室(2)与所述主炉室(1)连通，其特征在于，所述新型单晶炉还包括料室(3)，所述料室(3)上设置有加料口(31)，所述料室(3)通过所述加料口(31)与所述主炉室(1)连通；所述料室(3)中设置有加料机构(32)，所述加料机构(32)可伸缩地穿设在所述加料口(31)中，用于穿过所述加料口(31)并向所述主炉室(1)内的坩埚(11)中加料。2.根据权利要求1所述的新型单晶炉，其特征在于，所述加料机构(32)包括料隧(321)和滑轨(322)，所述料隧(321)与所述滑轨(322)滑动相连，所述料隧(321)通过所述滑轨(322)可伸缩地穿设在所述加料口(31)中。3.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料隧(321)中形成有料槽(3211)，所述料槽(3211)的截面形状为弧形或矩形。4.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于，所述加料机构还包括保温机构，所述保温机构滑动设置在所述料隧(321)上，所述保温机构能够与所述加料口(31)密封配合。5.根据权利要求4所述的新型单晶炉，其特征在于，所述保温机构包括保温结构(4)和推杆(5)，所述推杆(5)和所述保温结构(4)可拆卸连接。6.根据权利要求5所述的新型单晶炉，其特征在于，所述保温结构(4)上设置有轴向连通的导向孔(41)和转动孔(42)，所述导向孔(41)的一侧露出所述保温结构(4)的端面，所述转动孔(42)的径向尺寸大于所述导向孔(41)的径向尺寸；所述推杆(5)的一端设置有连接部(51)，所述连接部(51)穿过所述导向孔(41)后卡接至所述转动孔(42)中。7.根据权利要求5所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料隧(321)中形成有料槽(3211)，所述保温结构(4)与所述料槽(3211)滑动相连；所述保温结构(4)的侧壁上设置有凸台(44)，所述保温结构(4)通过所述凸台(44)搭接于所述料槽(3211)的边缘(3212)。8.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员：欧子杨，白枭龙，张昕宇，
申请(专利权)人：浙江晶科能源有限公司，
类型：发明
国别省市：