渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，包括箱体；所述箱体的内部顶部贯穿有金属薄膜主体，所述金属薄膜主体的两端连接牵引机构；所述箱体的侧壁连通真空泵；所述箱体的内部底部安装蒸发机构，所述蒸发机构水平置于所述金属薄膜主体的底部；所述蒸发机构用以将金属剂蒸镀于所述金属薄膜主体上；所述箱体的内部顶部对称设有第一密封机构、第二密封机构；本发明专利技术能够对金属薄膜进行除尘、除杂处理，提高金属薄膜与蒸镀材料的贴附效果，提高蒸镀层的均匀性和稳定性；第二密封机构能够对金属薄膜进行冷却降温，使得蒸镀后的薄膜能够被金属冷却，能够有效的保证金属薄膜的导电性能、避免金属薄膜受热损伤。热损伤。热损伤。
【技术实现步骤摘要】
渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置
[0001]本专利技术属于金属化薄膜电容器加工
，特别涉及渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置。
技术介绍
[0002]渐变阻金属化薄膜与传统的金属薄膜之间主要结构相同，渐变方阻型金属化聚丙烯薄膜正常区方阻从加厚区向留边处渐变增大(金属层厚度渐变减小)，渐变阻金属化薄膜能够适应电容器极板电流密度的分布趋势，达到电流密度近似均匀分布从而显著提高抗电强度；
[0003]渐变阻金属化薄膜的性能如何与蒸镀操作有着很大的关联，蒸镀过程中影响渐变阻金属化薄膜的因素有很多，其中两个是：1、金属薄膜表面残留有灰尘，导致蒸镀材料与金属薄膜的吸附性下降，蒸镀材料的均匀性和致密性均受到影响，进而影响薄膜的传导效果；2、蒸发源的辐射热量和金属原子沉积在有机薄膜表面瞬间的相变潜热，对有机薄膜会造成过热损伤的危险，从而影响蒸渡后的金属化薄膜电气性能，严重时会造成金属化薄膜受热变形。
技术实现思路
[0004]本专利技术针对现有技术存在的不足，提供了渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，具体技术方案如下：
[0005]渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，包括箱体；所述箱体的内部顶部贯穿有金属薄膜主体，所述金属薄膜主体的两端连接牵引机构；所述箱体的侧壁连通真空泵；所述箱体的内部底部安装蒸发机构，所述蒸发机构水平置于所述金属薄膜主体的底部；所述蒸发机构用以将金属剂蒸镀于所述金属薄膜主体上；
[0006]所述箱体的内部顶部对称设有第一密封机构、第二密封机构，所述金属薄膜主体依次贯穿于所述第一密封机构、第二密封机构，所述第一密封机构、第二密封机构均与所述箱体的内壁形成密封空腔结构，所述第一密封机构用以清理所述金属薄膜主体上的杂质，所述第二密封机构用以降低所述金属薄膜主体的温度。
[0007]进一步地，所述第一密封机构包括第一密封盒、第一排气管；所述第一密封盒置于所述金属薄膜主体的输入处，所述第一密封盒与所述箱体的内壁固定连接，所述第一密封盒的内部安装有第一排气管，所述第一排气管的出口倾斜指向于所述金属薄膜主体的底面，所述第一排气管的入口与供气机构连通，所述第一排气管的出口长度大于所述金属薄膜主体的宽度。
[0008]进一步地，所述第二密封机构包括第二密封盒、第二排气管；所述第二密封盒置于所述金属薄膜主体的输出处，所述第二密封盒与所述箱体的内壁固定连接，所述第二密封盒的内部安装有第二排气管，所述第二排气管的出口倾斜指向于所述金属薄膜主体的底面，所述第二排气管的入口与所述供气机构连通。
[0009]进一步地，所述供气机构包括惰性气体储存罐、抽气泵、主管体、第一分管体以及第二分管体，所述惰性气体储存罐、所述抽气泵以及所述主管体之间依次连通，所述主管体无缝伸入于所述箱体内，所述主管体的出口处并联至第一分管体、第二分管体，所述第一分管体与所述第一排气管连通，所述第二分管体与所述第二排气管连通。
[0010]进一步地，所述真空泵的出口端连通至所述惰性气体储存罐。
[0011]进一步地，所述蒸发机构包括盒体、置物板、气垫以及加热源，所述盒体的设于所述箱体的内部底部，所述盒体的内部滑动连接置物板，所述置物板的表面放置有金属剂，所述置物板的底面设有气垫，所述置物板电性连接加热源，所述主管体的出口处还并联有第三分管体，所述第三分管体的出口连通至所述气垫，所述第三分管体上安装有气体单向阀。
[0012]进一步地，所述第一密封机构还包括第一压座，所述第一压座设于所述第一密封盒的内侧壁顶部，所述第一压座贴合于所述金属薄膜主体的顶面，所述第一压座的底部设有第一夹紧机构，所述第一夹紧机构置于所述金属薄膜主体的底面，所述第一夹紧机构包括第一气动杆和第一夹板，所述第一夹板贴合于所述金属薄膜主体的底面，所述第一夹板的底面设有第一气动杆。
[0013]进一步地，所述第二密封机构还包括第二压座，所述第二压座设于所述第二密封盒的内侧壁顶部，所述第二压座贴合于所述金属薄膜主体的顶面，所述第二压座的底部设有第二夹紧机构，所述第二夹紧机构置于所述金属薄膜主体的底面，所述第二夹紧机构包括第二气动杆和第二夹板，所述第二夹板贴合于所述金属薄膜主体的底面，所述第二夹板的底面设有第二气动杆。
[0014]本专利技术的有益效果是：
[0015]1、通过第一密封机构能够对金属薄膜进行除尘、除杂处理，提高金属薄膜与蒸镀材料的贴附效果，提高蒸镀层的均匀性和稳定性；第二密封机构能够对金属薄膜进行冷却降温，使得蒸镀后的薄膜能够被金属冷却，能够有效的保证金属薄膜的导电性能、避免金属薄膜受热损伤；
[0016]2、利用供气机构提供的惰性气体来实现上述除尘、降温过程，可对金属薄膜无侵蚀、无污染，蒸镀材料不会与气体发生反应，并且能够同时实现除尘、降温两个过程，效率高；配置有密封盒、压座以及夹紧板来保证密封机构内的惰性气体不会外泄，保证箱体内的真空环境；
[0017]3、惰性气体还可分流至气垫处，气垫能够在每次蒸镀结束后上推一次置物板，保证蒸镀材料的上升距离始终处于最佳。
附图说明
[0018]图1示出了本专利技术箱体、置物机构以及导流机构连接结构示意图；
[0019]图2示出了本专利技术的的置物机构结构示意图；
[0020]图3示出了本专利技术的导流机构结构示意图；
[0021]图4示出了本专利技术的双层置物机构结构示意图；
[0022]图5示出了本专利技术的A处放大结构示意图；
[0023]图中所示：1、箱体，2、薄膜主体，3、蒸发机构，31、盒体，32、置物板，33、气垫，34、加热源，4、供气机构，41、惰性气体储存罐，42、抽气泵，43、主管体，44、第一分管体、45、第二分
管体，46、第三分管体，5、真空泵，6、第一密封机构，61、第一密封盒，62、第一排气管， 63、第一压座，7、第一夹紧机构，71、第一气动杆，72、第一夹板，8、第二密封机构，81、第二密封盒，82、第二排气管，83、第二压座，9、第二夹紧机构，91、第二气动杆，92、第二夹板，9a、牵引机构。
具体实施方式
[0024]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0025]渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，包括箱体1；所述箱体1的内部顶部贯穿有金属薄膜主体2，所述金属薄膜主体2的两端连接牵引机构9a；牵引机构9a用以带动金属薄膜主体2不断的收放，使得金属薄膜主体2在箱体 1内不断的移动；
[0026]所述箱体1的侧壁连通真空泵5；所述箱体1的内部底部安装蒸发机构 3，所述蒸发机构3水平置于所述金属薄膜主体2的底部；所述蒸发机构3 用以将金属剂蒸镀于所述金属薄膜主体2上；
[0027]所述箱体1的内部顶部对称设有第一密封机构6、第二密封机构8，所述金属薄膜主体2依次贯穿于所述第一密封机构6、第二密封机构8，所述第一密封机构6、第二密封机构8均与所述箱体1的内壁形本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，其特征在于：包括箱体(1)；所述箱体(1)的内部顶部贯穿有金属薄膜主体(2)，所述金属薄膜主体(2)的两端连接牵引机构(9a)；所述箱体(1)的侧壁连通真空泵(5)；所述箱体(1)的内部底部安装蒸发机构(3)，所述蒸发机构(3)水平置于所述金属薄膜主体(2)的底部；所述蒸发机构(3)用以将金属剂蒸镀于所述金属薄膜主体(2)上；所述箱体(2)的内部顶部对称设有第一密封机构(6)、第二密封机构(8)，所述金属薄膜主体(2)依次贯穿于所述第一密封机构(6)、第二密封机构(8)，所述第一密封机构(6)、第二密封机构(8)均与所述箱体(1)的内壁形成密封空腔结构，所述第一密封机构(6)用以清理所述金属薄膜主体(2)上的杂质，所述第二密封机构(8)用以降低所述金属薄膜主体(2)的温度。2.根据权利要求1所述的渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述第一密封机构(6)包括第一密封盒(61)、第一排气管(62)；所述第一密封盒(61)置于所述金属薄膜主体(2)的输入处，所述第一密封盒(61)与所述箱体(1)的内壁固定连接，所述第一密封盒(61)的内部安装有第一排气管(62)，所述第一排气管(62)的出口倾斜指向于所述金属薄膜主体(2)的底面，所述第一排气管(62)的入口与供气机构(4)连通，所述第一排气管(62)的出口长度大于所述金属薄膜主体(2)的宽度。3.根据权利要求2所述的渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述第二密封机构(8)包括第二密封盒(81)、第二排气管(82)；所述第二密封盒(81)置于所述金属薄膜主体(2)的输出处，所述第二密封盒(81)与所述箱体(1)的内壁固定连接，所述第二密封盒(81)的内部安装有第二排气管(82)，所述第二排气管(82)的出口倾斜指向于所述金属薄膜主体(2)的底面，所述第二排气管(82)的入口与所述供气机构(4)连通。4.根据权利要求3所述的渐变方阻金属化薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述供气机构(4)包括惰性气体储存罐(41)、抽气泵(42)、主管体(43)、第一分管体(44)以及第二分管体(45)，所述惰性气体储存罐(41)、所述抽气泵(42)以及所述主管体(43)之间依次连通，所述主管体(43)无缝伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱婧，
申请(专利权)人：马鞍山悠思电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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