紫外线照射装置制造方法及图纸

提供一种包括主要的发光波长属于190nm以上且230nm以下的波长域即第一波长域的准分子灯、呈现高的启动性的紫外线照射装置。紫外线照射装置具备：灯壳体，至少在1个面上形成有光取出面；准分子灯，被收容在灯壳体的内侧，发出属于第一波长域的紫外线；以及启动辅助光源，被配置在能够将主要的发光波长属于250nm以上且300nm以下的第二波长域的紫外线向准分子灯照射的位置。照射的位置。照射的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】紫外线照射装置


[0001]本专利技术涉及紫外线照射装置，特别涉及包括准分子灯(excimer lamp)的紫外线照射装置。

技术介绍

[0002]以往，准分子灯由于在低温状态、黑暗状态或长时间的休止状态后启动点亮时需要较高的电压，所以有点亮用电源大型化的问题。对此，在下述专利文献1中，提出了如下的紫外线照射装置，具备放射390nm的紫外线的UV－LED作为启动辅助光源，通过将来自该UV－LED的射出光向准分子灯照射而进行启动辅助。
[0003]专利文献1中，作为实施方式而记载有将Xe气体作为发光气体(放电用气体)的发光波长为172nm的准分子灯。此外，在专利文献1中，作为可以用作准分子灯的发光气体(放电用气体)，除了Xe以外还简单地列举了各种材料。具体而言，作为发光气体与发光波长的组合，列举出了在Ar气体中为126nm，在Kr气体中为146nm，在ArBr气体中为165nm，在ArF气体中为193nm，在KrCl气体中为222nm，在XeI气体中为253nm，在XeCl气体中为308nm，在XeBr气体中为283nm，在KrBr气体中为207nm。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2017－68944号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的课题
[0008]主要的发光波长为190nm以上、230nm以下的波长域(以下称作“第一波长域”)的紫外线即使被相对于人体的皮肤照射，也被皮肤的角质层吸收，而不行进到比其靠内侧(基底层侧)。由于角质层中包含的角质细胞作为细胞是死亡的状态，所以几乎不存在例如被照射了波长254nm的紫外线的情况那样被棘层、颗粒层、真皮等活着的细胞吸收而DNA被破坏的风险。
[0009]此外，可知该第一波长域的紫外线存在对于照射对象物的杀菌效果。因此，期待在以光杀菌作用为起始的各种用途中利用具备发出上述第一波长域的紫外线的准分子灯的紫外线照射装置。
[0010]但是，本专利技术人进行了专门研究，关于发出属于第一波长域的紫外线的准分子灯，确认了启动性不怎么高。
[0011]如上述那样，在专利文献1中，除了172nm的Xe准分子灯以外，也记载有关于发出属于第一波长域的波长的紫外线的准分子灯。但是，根据本专利技术人的研究，封入了KrCl气体的主要的发光波长为222nm的准分子灯(以下称作“KrCl准分子灯”)在390nm的紫外线下完全不点亮。
[0012]本专利技术鉴于上述问题，目的是提供一种包括主要的发光波长属于190nm以上且
230nm以下的波长域(第一波长域)的准分子灯、呈现较高的启动性的紫外线照射装置。
[0013]用来解决课题的手段
[0014]有关本专利技术的紫外线照射装置的特征在于，具备：灯壳体，至少在1个面上形成光取出面；准分子灯，被收容在上述灯壳体的内侧，发出主要的发光波长属于190nm以上且230nm以下的第一波长域的紫外线；以及启动辅助光源，被配置在能够将主要的发光波长属于250nm以上且300nm以下的第二波长域的紫外线对于上述准分子灯照射的位置。
[0015]在本说明书中所述的“主要的发光波长”，是指在对于某个波长λ在发光波谱上规定了
±
10nm的波长区域Z(λ)的情况下、对于发光波谱内的全积分强度呈现40％以上的积分强度的波长区域Z(λi)中的波长λi。例如在被封入了包含KrCl、KrBr、ArF的发光气体的准分子灯等那样，半值宽度很窄并且仅在特定的波长下呈现光强度的光源中，通常因为具有相对强度最高的波长(主峰值波长)从而也可以作为主要的发光波长。
[0016]本专利技术人进行专门研究的结果，确认了在利用365nm的UV－LED作为KrCl准分子灯的启动辅助光源的情况下，即使待机1分钟以上，KrCl准分子灯也不点亮。此外，本专利技术人进行专门研究的结果，确认了在利用280nm的UV－LED作为KrCl准分子灯的启动辅助光源的情况下，KrCl准分子灯瞬间(1秒以内)点亮。
[0017]在发出主要的发光波长为190nm以上且230nm以下的波长域(第一波长域)的紫外线的准分子灯的情况下，包含Cl、Br、F等的卤素气体作为发光气体。卤素由于阴电性较高，所以电子附着性较高。因此，考虑到通过卤素使放电所需要的电子附着，结果与Xe准分子灯相比，放电难以开始。
[0018]如上述那样，紫外线的波长越短则其能量越高。因此，可以期待通过将比365nm短的波长的紫外线对主要的发光波长属于第一波长域的准分子灯照射，从而提高对于该准分子灯的启动性。根据本专利技术人的专门研究，确认了通过在上述准分子灯的启动辅助用中使用主要的发光波长属于250nm以上且300nm以下的第二波长域的紫外线，上述准分子灯的启动性提高。关于更详细的理由，在“具体实施方式”的项中后述。
[0019]即，根据上述结构的紫外线照射装置，能够在具备发出主要的发光波长属于190nm以上且230nm以下的第一波长域的紫外线的准分子灯的同时提高启动性。
[0020]也可以是上述紫外线照射装置在上述灯壳体内、从上述准分子灯放射的紫外线所穿过的部位，具备使上述第一波长域的紫外线实质上透射、将上述第二波长域的紫外线实质上反射的第一光学滤波器。
[0021]在本说明书中，光学滤波器“使紫外线实质上透射”，是指透射过光学滤波器的紫外线的强度相对于入射到光学滤波器中的紫外线的强度是60％以上。此外，在本说明书中“将紫外线实质上反射”，是指光学滤波器反射的紫外线的强度相对于入射到光学滤波器的紫外线的强度是80％以上。
[0022]另外，实际上，根据相对于光学滤波器入射的紫外线的入射角，光学滤波器的紫外线的透射率及反射率变化。这里，从准分子灯及启动辅助光源射出的紫外线虽然具有一定的发散角而行进，但行进的全部的光线中的相对于光射出面以0
°
附近的角度行进的光线的强度最强，随着发散角从0
°
离开而强度下降。因此，对于以入射角20
°
以内入射到光学滤波器的紫外线的强度呈现60％以上的透射率的光学滤波器，也可以作为使上述紫外线实质上透射的机构来对待。同样，对于以入射角30
°
以内入射到光学滤波器的紫外线的强度呈现
90％以上的反射率的光学滤波器也可以作为将上述紫外线实质上反射的机构来对待。
[0023]考虑到主要的发光波长属于250nm以上且300nm以下的第二波长域的紫外线与主要的发光波长属于190nm以上且230nm以下的第一波长域的紫外线不同，有可能对人体带来某种影响。由此，在例如人存在于相同空间中的时间段等，将该第二波长域的紫外线与第一波长域的紫外线一起向紫外线照射装置的外部放射是不优选的。
[0024]相对于此，根据上述紫外线照射装置，对于从准分子灯射出的第一波长域的紫外线实质上使其透射、另一方面对于从启动辅助光源射出的第二波长域的紫外线实质上反射的第一光学滤波器，被配置在灯壳体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种紫外线照射装置，其特征在于，具备：灯壳体，至少在1个面上形成光取出面；准分子灯，被收容在上述灯壳体的内侧，发出主要的发光波长属于190nm以上且230nm以下的第一波长域的紫外线；以及启动辅助光源，被配置在能够将主要的发光波长属于250nm以上且300nm以下的第二波长域的紫外线对于上述准分子灯照射的位置。2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，在上述灯壳体内且从上述准分子灯放射的紫外线所通过的部位，具备使上述第一波长域的紫外线实质上透射、将上述第二波长域的紫外线实质上反射的第一光学滤波器。3.如权利要求1或2所述的紫外线照射装置，其特征在于，上述第一光学滤波器被配置在上述灯壳体的光取出面。4.如权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，上述准分子灯被封入了包含KrCl或KrBr的发光气体。5.如权利要求1～4中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，上述启动辅助光源是包含射出上述第二波长域的紫外线的光射出面的LED光源。6.如权利要求5所述的紫外线照射装置，其特征在于，上述准分子灯具有形成在构成该准分子灯的管体的外壁、并且在...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳生英昭，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：