一种用于真空腔室的门体结构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室开口处的本体，所述真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，所述安装部上设有多个固定气缸，所述固定气缸朝向真空腔室的方向设置，当所述本体封闭所述开口时，所述固定气缸的端部抵触在所述本体上，将所述本体压紧在真空腔室的外壁上；所述本体底部连接有导向装置，所述导向装置分别于所述本体和真空腔室连接，位于所述开口下方的位置处。本发明专利技术具有结构简单、拆装便捷、连接稳固以及状态切换效率高的优点，有效地解决了现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空腔室的门体结构


[0001]本专利技术涉及真空腔室门体结构
，尤其涉及一种用于真空腔室的门体结构。

技术介绍

[0002]金属的镀膜工艺需要将镀膜腔室采用真空泵将腔室进行抽真空处理，然后通过门体结构上的观察窗观看金属的镀膜情况。目前，金属的镀膜生产线的腔室门体结构主要是的用于将金属钢卷以及送料车送入镀膜腔室内后，密封镀膜腔室，致使镀膜腔室可以进行抽真空处理，以便后续的镀膜。
[0003]由于传统的真空镀膜生产线的门体结构与镀膜腔室的连接处均要设置连接结构，导致门体结构在实现打开镀膜腔室上料和密封镀膜腔室镀膜的状态切换时需要人工对连接结构进行安装和拆卸，费时费力。
[0004]因此，有必要研究一种能够只需门体结构与镀膜腔室的开口重合即可实现门体结构与镀膜腔室的连接和密封的门体结构，解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术目的在于提供一种用于真空腔室的门体结构，用以解决现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供的一种用于真空腔室的门体结构，具体实施方案如下：
[0007]一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室开口处的本体，所述真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，所述安装部上设有多个固定气缸，所述固定气缸朝向真空腔室的方向设置，当所述本体封闭所述开口时，所述固定气缸的端部抵触在所述本体上，将所述本体压紧在真空腔室的外壁上；所述本体底部连接有导向装置，所述导向装置分别于所述本体和真空腔室连接，位于所述开口下方的位置处。
[0008]目前，现有的真空镀膜生产线的真空腔室的门体结构是通过在门体上设置和真空腔室机械连接的结构实现真空腔室的封闭和打开，将需要镀膜的金属钢带送入真空腔室内，或将镀膜后的金属钢带从真空腔室内取出，每次在打开或封闭真空腔室时，都需要人工将连接门体和真空腔室的机械连接结构拆卸或安装，使得门体和真空腔室实现分离和连接的状态切换，费时费力，不便于镀膜生产线的效率提高。
[0009]本专利技术的一种用于真空腔室的门体结构，相对于现有技术，通过在真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，安装部上设有多个朝向真空腔室设置的固定气缸，固定气缸在本体封闭真空腔室的开口时，用于压紧本体，使得本体抵触在真空腔室的外壁上，在本体和真空腔室分离时，对本体的分离距离进行限制，避免本体与其底部的导向装置脱离，无法通过导向装置带动本体沿真空腔室位移，打开开口放入或取出金属钢带。使得
本体和真空腔室的连接只需通过导向装置带动本体与开口重合，启动固定气缸压紧本体即可，本体和真空腔室的分离，只需关闭固定气缸，通过导向装置带动本体和开口错开即可，结构简单，连接稳固，拆装便捷快速。有效地现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述固定气缸的活塞杆处套接有压块。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述导向装置包括导轨、滑块、挡板以及连接块，所述导轨设于所述真空腔室的外壁上，位于所述开口的下方，所述滑块可活动套设在所述导轨上，所述滑块的上方连接有所述挡板，所述挡板与所述连接块连接，所述连接块设于所述本体的底部。
[0012]进一步地，所述挡板靠近所述本体的一侧设有连接部，所述连接部底部与所述滑块连接，顶部连接所述连接块。
[0013]更进一步地，所述连接块底部设有向两侧延伸的插杆，所述挡板上设有向上延伸的凸块，所述凸块内设有供所述插杆插接的通孔，当所述连接块和所述挡板连接时，所述凸块位于所述连接块的两侧位置处，所述插杆可转动插入所述通孔内。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，所述本体的顶部设有导向槽，所述安装部上设有多个限位杆，所述限位杆端部设有与所述导向槽相配合的滑动轮，所述滑动轮与所述限位杆可转动连接。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，所述安装部的端部设有检测探头，所述检测探头与所述固定气缸电连接，当所述本体封闭所述开口时，所述检测探头检测到本体控制所述固定气缸抵触在所述本体上。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，所述本体和真空腔室的连接处之间设有密封条。
[0017]作为本专利技术的进一步改进，所述本体远离开口的一侧设有凸起部。
[0018]作为本专利技术的进一步改进，所述本体上至少设有一个观察窗，且本体至少有一端上设有推拉杆。
[0019]基于上述技术方案，本专利技术相对于现有技术，具有以下有益效果：
[0020]1.通过在固定气缸的活塞杆上套设压块，增加本体和固定气缸的接触面积，在密封真空腔室时，提高本体与真空腔室的连接稳定性，在本体与真空腔室分离时，提高固定气缸对本体的支撑力。
[0021]2.通过将导向装置设置为导轨滑块结构，避免本体通过滑块在导轨上的位移实现本体和开口之间的重合或错位，使得真空腔室的开启或密封的状态切换方式简单便捷，在一定程度上能够提高镀膜生产线的镀膜效率。
[0022]3.通过在本体上设置凸起部，在导向装置上设置挡板和与挡板可转动连接的连接块，使得本体在固定气缸停止工作撤去压紧力时，在连接块的插杆在通孔内转动的带动下向外倾倒直至连接块抵触在挡板上，使得本体能够与真空腔室自动脱离。
[0023]4.通过在安装部上设置多个限位杆，能够在本体与真空腔室自动脱离时起到限位保护的作用。
[0024]5.通过在本体上设置导向槽，限位杆端部设置可以在导向槽内滑动的滑动轮，提高本体通过导向装置在真空腔室外壁上位移时的稳定性和准确性。
[0025]6.通过在安装部上设置和固定气缸电连接的检测探头，用于检测本体的位置，当检测探头检测到本体与开口重合时，控制固定气缸抵触本体将本体压紧在真空腔室的外壁上，实现本体与真空腔室的自动连接。
附图说明
[0026]图1为本专利技术的主视图；
[0027]图2为本专利技术的侧视图；
[0028]图3为图2的A部分局部放大视图；
[0029]图4为图2的B部分局部放大视图。
具体实施方式
[0030]结合附图说明本专利技术的一种用于真空腔室的门体结构。
[0031]本专利技术的具体实施例1：
[0032]如图1
‑
3所示，该用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室7开口处的本体1，所述本体1用于封闭所述真空腔室7的开口，使得真空腔室7处于密封状态，可进行抽真空处理以及镀膜处理。
[0033]其中，所述真空腔室7的外壁上位于开口的上方位置处设有安装部71，所述安装部71上设有多个固定气缸2。
[0034]当所述本体1与所述开口重合时，所述固定气缸2抵触在本体1的表面上，将本体1压紧在真空腔室7的外壁上。
[0035]当所述本体与所述开口错位时，所述固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室(7)开口处的本体(1)，其特征在于，所述真空腔室(7)的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部(71)，所述安装部(71)上设有多个固定气缸(2)，所述固定气缸(2)朝向真空腔室(7)的方向设置，当所述本体(1)封闭所述开口时，所述固定气缸(2)的端部抵触在所述本体(1)上，将所述本体(1)压紧在真空腔室(7)的外壁上；所述本体(1)底部连接有导向装置(3)，所述导向装置(3)分别于所述本体(1)和真空腔室(7)连接，位于所述开口下方的位置处。2.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述固定气缸(2)的活塞杆处套接有压块(21)。3.根据权利要求1所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述导向装置(3)包括导轨(31)、滑块(32)、挡板(33)以及连接块(34)，所述导轨(31)设于所述真空腔室(7)的外壁上，位于所述开口的下方，所述滑块(32)可活动套设在所述导轨(31)上，所述滑块(32)的上方连接有所述挡板(33)，所述挡板(33)与所述连接块(34)连接，所述连接块(34)设于所述本体(1)的底部。4.根据权利要求3所述的用于真空腔室的门体结构，其特征在于，所述挡板(33)靠近所述本体(1)的一侧设有连接部(332)，所述连接部(332)底部与所述滑块(32)连接，顶部连接所述连接块(34)。5.根据权利要求4所述的用于真空腔室的门体结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘慧丹，陈元，缪朴，袁尧，粟坤乾，
申请(专利权)人：肇庆宏旺金属实业有限公司，
类型：发明
国别省市：