基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置制造方法及图纸

技术编号:28117029 阅读:24 留言:0更新日期:2021-04-19 11:15
本发明专利技术专利提供了基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置,它包括填充温敏液体甲苯的小孔、金属金层、石墨烯孔、按规则排列的两层小空气孔和大空气孔、石英基底和完美匹配层;各个空气孔在石英基底上以填充温敏液体甲苯的小孔为中心规则排列;在石英基底外设置完美匹配层,在填充温敏液体甲苯的小孔外包覆金属金层。通过Comsol模拟仿真计算,当空气孔间距为2.4μm、填充温敏液体甲苯的小孔的直径为2.5μm、金属金层厚度为35nm、石墨烯孔和按规则排列的小空气孔的直径为1.2μm、按规则排列的大空气孔的直径为2.0μm、石英基底的折射率为1.45、工作波长为1150nm

【技术实现步骤摘要】
基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置


[0001]本专利技术属于光纤传感
,具体涉及基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置。

技术介绍

[0002]与传统光学器件相比,微结构光纤具有高双折射,超高非线性,极低的约束损耗,无休止的单模运算等优势。其中,光子晶体光纤(PCF)是最理想的微结构光纤。近年来,具有高双折射和非线性特性的PCF在通信和超连续介质应用中获得广泛的关注。由于PCF的制作工艺复杂,尺寸精度大等困难,无法实现大批量生产加工,只能通过仿真软件对其结构及性质进行研究。基于表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)是一种物理光学现象,它由金属材料和电介质的交界面产生。因为共振波长的变化极为敏感,所以可以利用这种变化进行传感,从而使得SPR-PCF结合的传感性能更为良好,进而对基于SPR-PCF的提高温度测量精度的装置的研究具有很大的竞争力。
[0003]目前,SPR-PCF传感的相关研究方面,已有方形结构的设计被提出,但并不具有实用性且精度较低。因此,设计一种具有高精度且实用化的基于SPR的双折射及温度测量方法及装置就显得尤为重要。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置,是为了改善现有双折射数值小、温度测量精度低及实用化等问题。
[0005]本专利技术为解决其技术问题所采用的技术方案如下:技术方案:基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置,其特征在于:它包括填充温敏液体甲苯的小孔(1)、金属金层(2)、石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)、第二层小空气孔(5)、第一层大空气孔(6)、第二层大空气孔(7)、石英基底(8)和完美匹配层(9);所述石英基底(8)上以填充温敏液体甲苯的小孔(1)为中心规则排列有石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4),第二层小空气孔(5),第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7),石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4)交叉排列,石墨烯孔(3)的直径、第一层小空气孔(4)的直径与第二层小空气孔(5)的直径相同,第一层大空气孔(6)的直径和第二层大空气孔(7)的直径相同;所述石英基底(8)外设置完美匹配层(9),在填充温敏液体甲苯的小孔(1)外包覆金属金层(2);所述填充温敏液体甲苯的小孔(1)和金属金层(2)构成传感通道,金属金层表面激发的等离子体模与基模在特定的波长范围内达到相位匹配,引发波谱中的一系列共振损耗峰;所述石墨烯孔(3)环绕在填充温敏液体甲苯的小孔(1)的四周,以降低光能量在该装置内的额外损耗。
[0006]石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4)、第二层小空气孔(5)、第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7)中,相邻气孔之间的距离为2.4μm-2.8μm。
[0007]填充温敏液体甲苯的小孔(1)的直径为2.5μm,金属金层(2)的厚度为25nm-45nm,石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)和第二层小空气孔(5)的直径为1.2μm-1.5μm,第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7)的直径为2.0μm-2.5μm,石英基底(8)的折射率为1.41-1.45。
[0008]通过Comsol模拟仿真计算,当空气孔间距为2.4μm,填充温敏液体甲苯的小孔(1)的直径为2.5μm,金属金层(2)厚度为35nm,石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)和第二层小空气孔(5)的直径为1.2μm,第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7)的直径为2.0μm,石英基底(8)的折射率为1.45,工作波长为1150nm-1350nm时,温度分辨率达到0.005291℃,平均温度灵敏度为-6.93571nm/℃,双折射达到0.0384。
[0009]本专利技术专利的有益效果是,将上述的PCF接入测温系统中,其温度的分辨率最高可达到0.005291℃,双折射最大值为0.0384。
附图说明
[0010]图1为基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置结构图。
[0011]图2为基于SPR的提高双折射及温度测量精度的系统示意图。
[0012]图3-图6为仿真得到的从基模到SPR模式的能量分布图。
[0013]图7为仿真得到的基模、表面等离子体模有效折射率实部以及基模损耗谱与入射波长的关系。
[0014]图8为仿真得到的温度传感器的灵敏度曲线。
具体实施方式
[0015]以下实施例将结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0016]如图1所示,基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置,其特征在于:它包括填充温敏液体甲苯的小孔(1)、金属金层(2)、石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)、第二层小空气孔(5)、第一层大空气孔(6)、第二层大空气孔(7)、石英基底(8)和完美匹配层(9);所述石英基底(8)上以填充温敏液体甲苯的小孔(1)为中心规则排列有石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4),第二层小空气孔(5),第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7),石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4)交叉排列,石墨烯孔(3)的直径、第一层小空气孔(4)的直径与第二层小空气孔(5)的直径相同,第一层大空气孔(6)的直径和第二层大空气孔(7)的直径相同;所述石英基底(8)外设置完美匹配层(9),在填充温敏液体甲苯的小孔(1)外包覆金属金层(2);所述填充温敏液体甲苯的小孔(1)和金属金层(2)构成传感通道,金属金层表面激发的等离子体模与基模在特定的波长范围内达到相位匹配,引发波谱中的一系列共振损耗峰;所述石墨烯孔(3)环绕在填充温敏液体甲苯的小孔(1)的四周,以降低光能量在该装置内的额外损耗。
[0017]进一步的,石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4)、第二层小空气孔(5)、第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7)中,相邻气孔之间的距离为2.4μm-2.8μm。
[0018]进一步的,填充温敏液体甲苯的小孔(1)的直径为2.5μm,金属金层(2)的厚度为25nm-45nm,石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)和第二层小空气孔(5)的直径为1.2μm-1.5μ
m,第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7)的直径为2.0μm-2.5μm,石英基底(8)的折射率为1.41-1.45。
[0019]通过Comsol模拟仿真计算,当空气孔间距为2.4μm,填充温敏液体甲苯的小孔(1)的直径为2.5μm,金属金层(2)厚度为35nm,石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)和第二层小空气孔(5)的直径为1.2μm,第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7)的直径为2.0μm,石英基底(8)的折射率为1.45,工作波长为1150nm-1350nm时,温度分辨率达到0.005291℃,平均温度灵敏度为-6.93571nm/℃,双折射达到0.0384。
[0020]工作原理:如图2所示,ASE光源(10)连接PCF(11)进入光谱仪(12)中。由于填充温敏液体甲苯的折射率随温度变化本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置,其特征在于:它包括填充温敏液体甲苯的小孔(1)、金属金层(2)、石墨烯孔(3)、第一层小空气孔(4)、第二层小空气孔(5)、第一层大空气孔(6)、第二层大空气孔(7)、石英基底(8)和完美匹配层(9);所述石英基底(8)上以填充温敏液体甲苯的小孔(1)为中心规则排列有石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4),第二层小空气孔(5),第一层大空气孔(6)和第二层大空气孔(7),石墨烯孔(3)和第一层小空气孔(4)交叉排列,石墨烯孔(3)的直径、第一层小空气孔(4)的直径与第二层小空气孔(5)的直径相同,第一层大空气孔(6)的直径和第二层大空气孔(7)的直径相同;所述石英基底(8)外设置完美匹配层(9),在填充温敏液体甲苯的小孔(1)外包覆金属金层(2);所述填充温敏液体甲苯的小孔(1)和金属金层(2)构成传感通道,金属金层表面激发的等离子体模与基模在特定的波长范围内达到相位匹配,引发波谱中的一系列共振损耗峰;所述石墨烯孔(3)环绕在填充温敏液体甲苯的小孔(1)的四周,以降低光能量在该装置内的额外损耗。2.根据权利要求1所述的基于SPR的提高双折射及温度测量精度的方法及装置,其特征在于:石墨烯孔(3...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈涛梁涵夏振涛杨添宇陈姣姣
申请(专利权)人:哈尔滨理工大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1