减少玻璃基板检测缺陷的传送装置制造方法及图纸

技术编号:28115984 阅读:18 留言:0更新日期:2021-04-18 18:30
本实用新型专利技术公开一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,用于玻璃基板的干燥,包括传送单元,其还包括至少一对热风刀组件,所述热风刀组件包括用于输出热风的上风刀和用于输出热风的下风刀,所述上风刀的风刀口朝向待干燥的玻璃基板的上表面,所述下风刀的风刀口朝向待干燥的玻璃基板的下表面。传送单元的上下分别设置上风刀、下风刀。从上风刀和下风刀送出热风的吹干玻璃基板,不牺牲良率的情况下,大大降低在检测流程中AOI非真实缺陷(FALSE DEFECT)的检出,同时增加的热风刀组可以对玻璃基板再次吹干,确保玻璃基板表面无水渍残留。留。留。

【技术实现步骤摘要】
减少玻璃基板检测缺陷的传送装置


[0001]本技术涉及平板显示的
,尤其涉及一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置。

技术介绍

[0002]近十年以来,平板显示工业经历了几次跃迁,每一次跃迁都带来技术上的变革及工艺上的新的更加严苛的要求。新的工艺提升后,玻璃基板在经过显影单元、风干单元、传送单元后,会在AOI单元检测出大量的非真实缺陷(False Defect)。
[0003]经过反复实验发现,该非真实缺陷实则为水痕,即为干燥单元的风刀吹干后残留在玻璃基板上的水渍缺陷。目前的解决办法有两个:一个是玻璃基板经过AK单元后在传送单元静置约30秒左右再进入AOI单元;第二是AOI不检测。前者会影响到设备的产能,后者则会带来异常品的风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种不影响设备产能的同时,又不会带来异常品风险的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置。
[0005]本技术公开一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,用于玻璃基板的传送,包括传送单元,其还包括至少一对热风刀组件,所述热风刀组件包括用于输出热风的上风刀和用于输出热风的下风刀,所述上风刀的风刀口朝向待传送的玻璃基板的上表面,所述下风刀的风刀口朝向待传送的玻璃基板的下表面。
[0006]进一步的,还包括用于固定安装所述热风刀组件的固定座,所述固定座包括相互固定连接的安装板和固定板,所述固定板用于安装于减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的主体,所述上风刀和下风刀均固定于所述安装板。
[0007]进一步的,安装板上开设有调节槽,所述上风刀和下风刀均固定于所述调节槽,所述上风刀和下风刀之间的间距沿调节槽可调。
[0008]进一步的,所述传送单元对应所述热风刀组件处设有压紧组件。
[0009]进一步的,所述压紧组件包括位于待传送玻璃基板上方的压轮组,和位于待传送玻璃基板下方的支撑轮组。
[0010]进一步的,还包括用于传送热风的送风组件,所述送风组件包括送风管路以及加热器,经由所述加热器加热后的热风的其中一路送至所述上风刀出风,另外一路送至所述下风刀出风。
[0011]进一步的,所述加热器与上风刀之间的管路设有上调节阀,所述加热器与下风刀之间的管路设有下调节阀。
[0012]进一步的,所述上调节阀与上风刀之间的管路设有上压力计,所述下调节阀与下风刀之间的管路设有下压力计。
[0013]进一步的,所述加热器的出风管路上还设有过滤器。
[0014]进一步的,所述加热器进风管路上还设有用于检测进风流量的流量计。
[0015]本技术的有益效果是:本技术所保护的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的传送单元的上下两侧分别设置上风刀、下风刀。从上风刀和下风刀送出热风的吹干玻璃基板,不牺牲良率的情况下,大大降低AOI非真实缺陷(FALSE DEFECT)的检出,同时增加的热风刀组可以对玻璃基板再次吹干,确保玻璃基板表面无水渍残留。
附图说明
[0016]图1是现有技术图示。
[0017]图2是是本技术所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的结构示意图。
[0018]图3是本技术所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的热风刀组件的立体图。
[0019]图4是本技术所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的热风刀组件的正面视图。
[0020]图5是本技术所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的部分结结构示意图。
具体实施方式
[0021]下面结合具体实施例和说明书附图对本技术做进一步阐述和说明。
[0022]请参阅图2,一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置包括传送单元10、至少一对热风刀组件20。所述热风刀组件20包括用于输出热风的上风刀22和用于输出热风的下风刀24。所述上风刀22的风刀口朝向待传送的玻璃基板的上表面,所述下风刀24的风刀口朝向待传送的玻璃基板的下表面。
[0023]请结合图3、图4,传送单元10的上下两侧分别设置上风刀22、下风刀24。从上风刀22和下风刀24送出热风的吹干玻璃基板,在不牺牲良率的情况下,大大降低AOI非真实缺陷的检出,同时增加的热风刀组可以对玻璃基板再次吹干,确保玻璃基板表面无水渍残留。
[0024]减少玻璃基板检测缺陷的传送装置还包括用于固定安装所述热风刀组件20的固定座40。所述固定座40包括相互固定连接的安装板42和固定板44,所述固定板44用于安装于干燥装置的主体。所述上风刀22和下风刀24均固定于所述安装板42。
[0025]安装板42上开设有调节槽46,所述上风刀22和下风刀24均可调节的固定于所述调节槽46,所述上风刀22和下风刀24之间的间距沿调节槽46可调。可调节上风刀22和下风刀24在调节槽46内的间距根据不同玻璃基板厚度相应的调节,最大程度达到干燥效果。
[0026]本实施例中,所述传送单元10对应所述热风刀组件20处设有压紧组件50。所述压紧组件50包括位于待传送玻璃基板100上方的压轮组52,和位于待传送玻璃基板100下方的支撑轮组54。由于热风组件的热风从上风刀22、下风刀24喷发时,气流会导致玻璃基板进行轻微的抖动,压紧组件50通过压轮组52与支撑轮组54,可确保玻璃基板平稳顺畅的通过热风刀组件。具体的,本实施例中,压紧组件50包括4个压轮组52和20个支撑轮组54。
[0027]请再次结合图2,减少玻璃基板检测缺陷的传送装置还包括用于传送热风的送风组件60,所述送风组件60包括送风管路62以及加热器64,经由所述加热器64加热后的热风的其中一路送至所述上风刀22出风,另外一路送至所述下风刀24出风。
[0028]所述加热器64与上风刀22之间的管路设有上调节阀61,所述加热器64与下风刀24之间的管路设有下调节阀63。所述上调节阀61与上风刀22之间的管路设有上压力计65,所述下调节阀63与下风刀24之间的管路设有下压力计66。所述加热器64的出风管路上还设有过滤器67。上调节阀61和上压力计65两者共同精确控制上风刀22的流量。下调节阀63和下压力计66两者共同精确控制下风刀24的流量。
[0029]所述加热器64进风管路上还设有用于检测进风流量的流量计68,以及调节空气进入的调压阀69。流量计68和调压阀69两者共同作用控制热风刀组件20的总流量。
[0030]以下结合图示说明整体具体的流程为:
[0031]由外部输入的压缩洁净空气经由调压阀69和流量计68,进入加热器64进行加热,加热温度可以依据工艺所需在60℃~150℃之间精确调节,温度可以精确到
±
0.5℃。加热后的压缩洁净空气再经过一个过滤器67,以确保压缩洁净空气的洁净度。经过加热器64加热和过滤器67过滤后的压缩洁净空气分成两路进入上风刀22、下风刀24。
[0032]本技术技术方案的传送单元10的上下分别设置上风刀22、下风刀24。从上风刀22和下风刀24送出热风的吹干玻璃基本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,用于玻璃基板的传送,包括传送单元,其特征在于,还包括至少一对热风刀组件,所述热风刀组件包括用于输出热风的上风刀和用于输出热风的下风刀,所述上风刀的风刀口朝向传送的玻璃基板的上表面,所述下风刀的风刀口朝向传送的玻璃基板的下表面。2.如权利要求1所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,其特征在于,还包括用于固定安装所述热风刀组件的固定座,所述固定座包括相互固定连接的安装板和固定板,所述固定板用于安装于减少玻璃基板检测缺陷的传送装置的主体,所述上风刀和下风刀均固定于所述安装板。3.如权利要求2所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,其特征在于,所述安装板上开设有调节槽,所述上风刀和下风刀均固定于所述调节槽,所述上风刀和下风刀之间的间距沿所述调节槽可调。4.如权利要求1所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,其特征在于,所述传送单元对应所述热风刀组件处设有压紧组件。5.如权利要求4所述的减少玻璃基板检测缺陷的传送装置,其特征在于,所述压...

【专利技术属性】
技术研发人员:闭矩波吴奥明
申请(专利权)人:深圳亿博尔电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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