一种顶针及半导体芯片制造设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种顶针及半导体芯片制造设备，涉及半导体芯片制造技术领域。本实用新型专利技术包括底板、转盘和滑板，转盘上表面固定连接有第一滑轨，第一滑轨上表面设置有移动板，移动板上表面固定连接有第二滑轨，第二滑轨上表面设置有支撑板，支撑板上表面固定连接有工作台和电动伸缩杆，滑板与滑槽滑动配合，工作台内部设置有固定槽，工作台下表面设置有通孔，电动伸缩杆上表面固定连接有安装板，安装板上表面固定连接有顶针。本实用新型专利技术通过一种顶针及半导体芯片制造设备，有效的保护了芯片，提高了芯片的精密度，防止灰尘腐蚀芯片，若取下芯片，便于工作人员取下芯片，提高了工作效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种顶针及半导体芯片制造设备


[0001]本技术属于半导体芯片制造
，特别是涉及一种顶针及半导体芯片制造设备。

技术介绍

[0002]现如今，随着科技的发展，半导体芯片已经被人们广泛采用，芯片是未来众多高技术产业的食粮，芯片设计制造技术成为世界主要大国竞争的最重要领域之一，光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种，有用于生产芯片的光刻机，有用于封装的光刻机，还有用于LED制造领域的投影光刻机，半导体芯片在加工过程中有很多的缺陷，当半导体芯片放置在工作台上的时候，需要对芯片进行位置的调整，由于芯片比较精密，因此尽量少的触碰芯片，这样降低了芯片的损害，由于工作台长期暴露在空气表面，因此工作台上会有很多灰尘，这样会使灰尘腐蚀芯片，增加了对芯片的损坏程度，针对上述问题提出一种顶针及半导体芯片制造设备。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种顶针及半导体芯片制造设备，解决现有的在调整芯片位置的时候损坏芯片和工作台表面灰尘腐蚀芯片的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0005]本技术为一种顶针及半导体芯片制造设备，包括底板、转盘和滑板，所述底板上表面设置有凹槽，便于安装转盘，所述转盘设置在凹槽内部，转盘便于调整芯片的角度，所述转盘上表面固定连接有第一滑轨，方便移动板移动，所述第一滑轨上表面设置有移动板，所述移动板下表面固定连接有第一限位板，防止移动板脱离第一滑轨，所述移动板上表面固定连接有第二滑轨，便于移动支撑板，所述第二滑轨上表面设置有支撑板，所述支撑板下表面固定连接有第二限位板，防止支撑板脱离第二滑轨，所述支撑板上表面固定连接有工作台和电动伸缩杆，工作台便于放置芯片，电动伸缩杆便于移动顶针，所述工作台上表面设置有滑槽，方便滑板移动，所述滑板设置在滑槽内部，所述滑板与滑槽滑动配合，所述工作台内部设置有固定槽，便于固定芯片，所述工作台下表面设置有通孔，方便顶针将芯片顶出，便于工作人员取下芯片，所述电动伸缩杆上表面固定连接有安装板，便于固定顶针，所述安装板上表面固定连接有顶针，便于将芯片从固定槽中顶出。
[0006]进一步地，所述滑板下表面固定连接有毛刷，所述毛刷下表面与工作台相抵，便于将固定槽内的灰尘清除干净。
[0007]进一步地，所述顶针为位置与通孔相适应，便于顶针将固定槽内的芯片顶出。
[0008]进一步地，所述底板下表面固定连接有支腿，方便支撑底板。
[0009]进一步地，所述底板上表面固定连接有固定板，所述固定板上表面固定连接有光刻机本体，为了加工半导体芯片。
[0010]进一步地，所述第一限位板和第二限位板均为“n”形板体结构，所述第一限位板与
第一滑轨滑动配合，所述第二限位板与第二滑轨滑动配合，便于移动板在第一滑轨上移动，便于支撑板在第二滑轨上移动。
[0011]本技术具有以下有益效果：
[0012]本技术通过一种顶针及半导体芯片制造设备，通过转动转盘和移动移动板及支撑板，对工作台进行同一平面多角度移动，实现了不直接触碰芯片从而调整半导体芯片的位置，有效的保护了芯片，提高了芯片的精密度，通过移动滑板，使滑板能够遮挡灰尘落入工作台上，当滑板移动的同时带动毛刷移动，能够进一步清洁工作台表面，从而使工作台表面洁净，防止灰尘腐蚀芯片，若取下芯片，电动伸缩杆推动顶针上移，从而使芯片上移，便于工作人员取下芯片，提高了工作效率。
[0013]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为一种顶针及半导体芯片制造设备的结构示意图；
[0016]图2为一种顶针及半导体芯片制造设备的俯视结构示意图；
[0017]图3为一种顶针及半导体芯片制造设备的正式结构剖面图；
[0018]图4为一种顶针及半导体芯片制造设备的局部放大图。
[0019]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0020]1、底板；2、支腿；3、转盘；4、第一滑轨；5、第一限位板；6、移动板；7、第二滑轨；8、第二限位板；9、支撑板；10、工作台；11、固定板；12、滑板；13、毛刷；14、固定槽；15、通孔；16、电动伸缩杆；17、安装板；18、顶针；19、光刻机本体。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]请参阅图1
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4所示，本技术为一种顶针及半导体芯片制造设备，包括底板1、转盘3和滑板12，底板1上表面设置有凹槽，便于安装转盘3，转盘3设置在凹槽内部，转盘3便于调整芯片的角度，转盘3上表面固定连接有第一滑轨4，方便移动板6移动，第一滑轨4上表面设置有移动板6，移动板6下表面固定连接有第一限位板5，防止移动板6脱离第一滑轨4，移动板6上表面固定连接有第二滑轨7，便于移动支撑板9，第二滑轨7上表面设置有支撑板9，支撑板9下表面固定连接有第二限位板8，防止支撑板9脱离第二滑轨7，支撑板9上表面固定
连接有工作台10和电动伸缩杆16，工作台10便于放置芯片，电动伸缩杆16便于移动顶针18，工作台10上表面设置有滑槽，方便滑板12移动，滑板12设置在滑槽内部，滑板12与滑槽滑动配合，工作台10内部设置有固定槽14，便于固定芯片，工作台10下表面设置有通孔15，方便顶针18将芯片顶出，便于工作人员取下芯片，电动伸缩杆16上表面固定连接有安装板17，便于固定顶针18，安装板17上表面固定连接有顶针18，便于将芯片从固定槽14中顶出。
[0024]滑板12下表面固定连接有毛刷13，毛刷13下表面与工作台10相抵，便于将固定槽14内的灰尘清除干净。
[0025]顶针18为位置与通孔15相适应，便于顶针将固定槽14内的芯片顶出。
[0026]底板1下表面固定连接有支腿2，方便支撑底板1。
[0027]底板1上表面固定连接有固定板11，固定板11上表面固定连接有光刻机本体19，为了加工半导体芯片。
[0028]第一限位板5和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种顶针及半导体芯片制造设备，包括底板(1)、转盘(3)和滑板(12)，其特征在于：所述底板(1)上表面设置有凹槽，所述转盘(3)设置在凹槽内部，所述转盘(3)上表面固定连接有第一滑轨(4)，所述第一滑轨(4)上表面设置有移动板(6)，所述移动板(6)下表面固定连接有第一限位板(5)，所述移动板(6)上表面固定连接有第二滑轨(7)，所述第二滑轨(7)上表面设置有支撑板(9)，所述支撑板(9)下表面固定连接有第二限位板(8)，所述支撑板(9)上表面固定连接有工作台(10)和电动伸缩杆(16)，所述工作台(10)上表面设置有滑槽，所述滑板(12)设置在滑槽内部，所述滑板(12)与滑槽滑动配合，所述工作台(10)内部设置有固定槽(14)，所述工作台(10)下表面设置有通孔(15)，所述电动伸缩杆(16)上表面固定连接有安装板(17)，所述安装板(17)上表面固定连接有顶针...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹小华，
申请(专利权)人：詹小华，
类型：新型
国别省市：