全自动正面金属腐蚀装置制造方法及图纸

全自动正面金属腐蚀装置。涉及一种半导体湿法加工设备，尤其涉及全自动正面金属腐蚀装置。提供了一种结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率的全自动正面金属腐蚀装置。包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；所述直线驱动机构竖向设置；所述横杆的一端与所述直线驱动机构固定连接，通过所述直线驱动机构上下运动；所述横杆的另一端与所述空心架体的顶部固定连接；所述片架支撑台固定设置在所述空心架体的底部；所述滚轮水平活动设置，通过所述滚轮传动机构在所述片架支撑台的中部位置带动片架上的硅片转动。本实用新型专利技术具有结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率等特点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
全自动正面金属腐蚀装置


[0001]本技术涉及一种半导体湿法加工设备，尤其涉及全自动正面金属腐蚀装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造行业中，随着产线生产力的提高，湿法腐蚀技术得到更广泛的运用，湿法腐蚀的效率要求也越来越高，工程师在优化工艺流程的同时，也需要对湿法设备进行全面改造。原有的湿法腐蚀工艺是将若干硅片依次放入片架的卡槽内，通过移动架支撑片架在盛有腐蚀液的腐蚀槽内腐蚀，在腐蚀过程中，NiAg/NiAl腐蚀生成物H2易阻挡在硅片表面，影响酸和硅片的接触，使反应变慢。

技术实现思路

[0003]本技术针对以上问题，提供了一种结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率的全自动正面金属腐蚀装置。
[0004]本技术的技术方案是：包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；
[0005]所述直线驱动机构竖向设置；
[0006]所述横杆的一端与所述直线驱动机构固定连接，通过所述直线驱动机构上下运动；
[0007]所述横杆的另一端与所述空心架体的顶部固定连接；
[0008]所述片架支撑台固定设置在所述空心架体的底部；
[0009]所述滚轮水平活动设置，通过所述滚轮传动机构在所述片架支撑台的中部位置带动片架上的硅片转动。
[0010]所述直线驱动机构包括支撑框架、丝杠、丝杠螺母、连接板和一对导轨；
[0011]一对所述导轨竖向固定设置在所述支撑框架上；
[0012]所述丝杠竖向设置在所述支撑框架的中部，位于一对所述导轨之间，并通过电机一驱动旋转；
[0013]所述丝杠螺母与所述丝杠相适配，套设在所述丝杠上；
[0014]所述连接板与所述丝杠螺母固定连接，通过一对所述导轨在所述丝杠上升降运动。
[0015]所述直线驱动机构为气缸、油缸或电动推杆。
[0016]所述滚轮传动机构包括齿轮一、齿轮二、齿轮三和齿轮驱动电机；
[0017]齿轮驱动电机固定设置在所述横杆的腔体内；
[0018]所述滚轮传动机构活动设置在所述空心架体内；
[0019]所述齿轮一通过齿轮驱动电机在所述空心架体内旋转，并与所述齿轮二相啮合；
[0020]所述齿轮二活动设置在所述空心架体内，并与所述齿轮三相啮合；
[0021]所述齿轮三活动设置在所述空心架体内，通过转轴一与所述滚轮固定连接。
[0022]所述滚轮传动机构包括同步轮一、同步轮二和同步带；
[0023]所述同步轮一活动设置在所述空心架体内，靠近顶部位置，并通过固定设置在所述横杆的腔体内的同步轮电机带动旋转；
[0024]所述同步轮一通过同步带带动同步轮二旋转；
[0025]所述同步轮二活动设置在所述空心架体内，靠近底部位置，通过转轴二带动所述片架支撑台上的滚轮转动。
[0026]所述片架支撑台为两个，对称设置在所述空心架体上。
[0027]本技术中包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；若干硅片依次竖向放置于片架中与之对应的卡位中；硅片的底部一小部分从片架中伸出，滚轮设置在片架支撑台上，与硅片的底部相适配，旋转带动硅片在腐蚀液中转动，提高腐蚀能力，不断旋转可以使金属与药液更充分地反应。直线驱动机构的升降运动，带动硅片在腐蚀液中上下运动，并能实现自动出腐蚀液（酸液）的功能。本技术具有结构紧凑、使用简便，提高腐蚀速率等特点。
附图说明
[0028]图1是本技术的结构示意图，
[0029]图2是图1中直线驱动机构的侧面结构示意图；
[0030]图中1是直线驱动机构，11是支撑框架，12是丝杠，13是连接板，14是导轨，2是横杆，3是空心架体，4是片架支撑台，5是滚轮，6是滚轮传动机构，61是齿轮一，62是齿轮二，63是齿轮三。
具体实施方式
[0031]本技术如图1
‑
2所示，包括直线驱动机构1、横杆2、空心架体3、片架支撑台4、滚轮5和滚轮传动机构6；
[0032]所述直线驱动机构1竖向设置；
[0033]所述横杆2的一端与所述直线驱动机构1固定连接，通过所述直线驱动机构1上下运动；
[0034]所述横杆2的另一端与所述空心架体3的顶部固定连接；
[0035]所述片架支撑台4固定设置在所述空心架体3的底部；
[0036]所述滚轮5水平活动设置，通过所述滚轮传动机构6在所述片架支撑台4的中部位置带动片架上的硅片转动。
[0037]若干硅片依次竖向放置于片架中与之对应的卡位中；硅片的底部一小部分从片架中伸出，滚轮5设置在片架支撑台4上，与硅片的底部相适配，旋转带动硅片在腐蚀液中转动，提高腐蚀能力，不断旋转可以使金属与药液更充分地反应。直线驱动机构1的升降运动，带动硅片在腐蚀液中上下运动，并能实现自动出腐蚀液（酸液）的功能。
[0038]所述直线驱动机构1包括支撑框架11、丝杠12、丝杠螺母、连接板13和一对导轨14；
[0039]一对所述导轨14竖向固定设置在所述支撑框架11上；
[0040]所述丝杠12竖向设置在所述支撑框架11的中部，位于一对所述导轨14之间，并通过电机一驱动旋转；
[0041]所述丝杠螺母与所述丝杠12相适配，套设在所述丝杠12上；
[0042]所述连接板13与所述丝杠螺母固定连接，通过一对所述导轨14在所述丝杠12上升降运动。横杆2的一端与连接板13固定连接，通过电机一旋转，带动丝杠12转动，实现连接板13的升降，最终带动横杆2下方的片架支撑台4的升降。
[0043]进一步扩展，所述直线驱动机构1为气缸、油缸或电动推杆。
[0044]气缸、油缸或电动推杆竖向设置，其缸体部分与设备固定连接，横杆2的一端与其活塞杆的端部固定连接，即可实现片架支撑台4的升降功能。
[0045]所述滚轮传动机构6包括齿轮一61、齿轮二62、齿轮三63和齿轮驱动电机；
[0046]齿轮驱动电机固定设置在所述横杆2的腔体内；
[0047]所述滚轮传动机构6活动设置在所述空心架体3内；
[0048]所述齿轮一61通过齿轮驱动电机在所述空心架体3内旋转，并与所述齿轮二62相啮合；
[0049]所述齿轮二62活动设置在所述空心架体3内，并与所述齿轮三63相啮合；
[0050]所述齿轮三63活动设置在所述空心架体3内，通过转轴一与所述滚轮5固定连接。
[0051]齿轮三63通过转轴一活动设置在空心架体3上，转轴一的端部伸入片架支撑台4内，带动滚轮5在片架支撑台4上旋转。
[0052]所述滚轮传动机构6包括同步轮一、同步轮二和同步带；
[0053]所述同步轮一活动设置在所述空心架体3内，靠近顶部位置，并通过固定设置在所述横杆2的腔体内的同步轮电机带动旋转；
[0054]所述同步轮一通过同步带带动同步轮二旋转；
[0055]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.全自动正面金属腐蚀装置，其特征在于，包括直线驱动机构、横杆、空心架体、片架支撑台、滚轮和滚轮传动机构；所述直线驱动机构竖向设置；所述横杆的一端与所述直线驱动机构固定连接，通过所述直线驱动机构上下运动；所述横杆的另一端与所述空心架体的顶部固定连接；所述片架支撑台固定设置在所述空心架体的底部；所述滚轮水平活动设置，通过所述滚轮传动机构在所述片架支撑台的中部位置带动片架上的硅片转动。2.根据权利要求1所述的全自动正面金属腐蚀装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括支撑框架、丝杠、丝杠螺母、连接板和一对导轨；一对所述导轨竖向固定设置在所述支撑框架上；所述丝杠竖向设置在所述支撑框架的中部，位于一对所述导轨之间，并通过电机一驱动旋转；所述丝杠螺母与所述丝杠相适配，套设在所述丝杠上；所述连接板与所述丝杠螺母固定连接，通过一对所述导轨在所述丝杠上升降运动。3.根据权利要求1所述的全自动正面金属腐蚀装置，其特征在于，所述直线驱动机构为气缸、油缸或电动推杆。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐红梅，季恒健，王毅，
申请(专利权)人：扬州扬杰电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：