一种拼接式旋转银靶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种拼接式旋转银靶，其特征在于：包括位于中间的不锈钢管和外层的银靶材管，所述的银靶材管与所述不锈钢管表面的结合度大于98%，所述的银靶材管由若干节分节管通过端面的封端结构依次连接而成。本实用新型专利技术所设计的旋转银靶通过将多节短尺寸的、结构稳定的筒状的分节管通过端面的封端结构紧密的拼接在一起获得的，这种通过采用小尺寸拼接的方式所获得银靶能够有效的避免纵向裂缝的缺陷，而且装配方便。而且装配方便。而且装配方便。

【技术实现步骤摘要】
一种拼接式旋转银靶


[0001]本技术属于金属靶材领域，具体涉及一种拼接式旋转银靶。

技术介绍

[0002]旋转银靶位于外层的银膜层的厚度一般在1cm作用，对于一个长达数米的银膜层现有技术中主要通过在平面基础上进行设计完成制作，这种方法所制作的旋转银靶的银膜层由于内外径的径差，在平面转向曲面环的过程中，容易在拼接处容易产生纵向的裂缝，尤其是位于银靶内部的纵向裂缝，这种缺陷使得银靶在使用过程中不仅影响最终所镀器件的表面的金属膜的质量，而且还会使银靶提前报废，增加生产成本和资源的浪费。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本技术提出一种拼接式旋转银靶。
[0004]实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：
[0005]一种拼接式旋转银靶，包括位于中间的不锈钢管和外层的银靶材管，所述的银靶材管与所述不锈钢管表面的结合度大于98%，所述的银靶材管由若干节分节管通过端面的封端结构依次连接而成。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述的封端结构为距离分节管内壁1
‑
2mm区域所设置的若干对相互配合凸点和凹槽。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述的分节管包括位于两端的端节管和位于中间的中间节管，所述的端节管包括位于非连接端的第一区域和位于与中间节管相连的连接端的第二区域，所述的第二区域的厚度等于所述中间节管的厚度，小于第一区域的厚度，由第一区域过渡到第二区域的端节管表面的倾斜度为174
°‑
177
°
>。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述的第二区域或中间节管的厚度为8
‑
13mm。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述的银靶材管由至少13节分节管连接而成，单节分节管的管长为20
‑
30cm。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述的不锈钢管的长度大于所述银靶材管的长度，所述不锈钢管的两端超出所述银靶材管的部分设有卡扣环。
[0011]本技术的有益效果：本技术所设计的旋转银靶通过将多节短尺寸的、结构稳定的筒状的分节管通过端面的封端结构紧密的拼接在一起获得的，这种通过采用小尺寸拼接的方式所获得银靶能够有效的避免纵向裂缝的缺陷，而且装配方便。
附图说明
[0012]图1为所制作的旋转银靶的结构示意图；
[0013]图2为旋转银靶的剖面结构示意图；
[0014]图3为端节管的剖面结构示意图；
[0015]图4为分节管端面的结构示意图；
[0016]其中：1
‑
不锈钢管，101
‑
卡扣环，2
‑
银靶材管，20
‑
分节管，201
‑
端节管，201_1
‑
第一区域，201_2
‑
第二区域，202
‑
中间节管，21
‑
封端结构。
具体实施方式
[0017]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0018]下面结合附图对本技术的应用原理作详细的描述。
[0019]如图所示的本技术所设计的一种拼接式旋转银靶，包括位于中间的不锈钢管1和外层的银靶材管2，所述的银靶材管2与所述不锈钢管1表面的结合度大于98%，所述的银靶材管2由若干节分节管20通过端面的封端结构21依次连接而成。
[0020]具体的，所述的封端结构21为距离分节管内壁1
‑
2mm区域所设置的若干对相互配合凸点和凹槽，通过封端结构一方面实现分节管的卡合对接，另一方面封端结构所设置的位置通常达到更换靶材的使用极限，因此对镀膜产品的质量影响较小。
[0021]为了方便银靶的安装，所述的分节管20包括位于两端的端节管201和位于中间的若干节中间节管202，所述的端节管201包括位于非连接端的第一区域201_1和位于连接端的第二区域201_2，所述的第二区域201_2和所述中间节管202的厚度等于旋转银靶所设置的厚度。所述第一区域201_1一方面是便于安装时的区分，另一方面在溅射装置中施加在靶材两端的电压有异于中间端，因此为了保证镀件膜厚的均匀，故第一区域201_1的厚度设计时需大于所述的第二区域201_2的厚度，另第一区域201_1过渡到第二区域201_2的端节管201表面的倾斜度为174
°‑
177
°
。
[0022]所述的第二区域201_2或中间节管202的厚度为8
‑
13mm。
[0023]为了便于制作分节管，单节分节管的管长一般控制在20
‑
30cm。所述的银靶材管2由至少13节分节管20连接而成，可根据所制作银靶的需求设置合适数目的分节管。
[0024]所述的不锈钢管1的长度大于所述银靶材管2的长度，所述不锈钢管1的两端超出所述银靶材管2的部分设有用于安装到溅镀设备中的卡扣环101。
[0025]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拼接式旋转银靶，其特征在于：包括位于中间的不锈钢管和外层的银靶材管，所述的银靶材管与所述不锈钢管表面的结合度大于98%，所述的银靶材管由若干节分节管通过端面的封端结构依次连接而成。2.根据权利要求1所述的一种拼接式旋转银靶，其特征在于：所述的封端结构为距离分节管内壁1
‑
2mm区域所设置的若干对相互配合凸点和凹槽。3.根据权利要求1所述的一种拼接式旋转银靶，其特征在于：所述的分节管包括位于两端的端节管和位于中间的中间节管，所述的端节管包括位于非连接端的第一区域和位于与中间节管相连的连接端的第二区域，所述的第二区域的厚度等于所述中间节管的厚度，小于第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林玉，
申请(专利权)人：昆山嘉美荣材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：