一种四摆臂高速取固晶机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种四摆臂高速取固晶机构，包括主固定座，所述主固定座左右两端分别设置有摆臂结构，所述摆臂结构包括摆臂旋转座，所述摆臂旋转座底部设置有两组摆臂机械手；所述摆臂旋转座左右两侧分别竖直设置有交叉导轨，所述交叉导轨上滑动设置有滑座，所述滑座底部设置有传动结构；所述摆臂旋转座前侧设置有伺服马达，所述伺服马达的输出端设置有偏心杆；所述伺服马达上方通过支撑座向上设置有直线导轨，所述直线导轨上滑动设置有Z轴固定板，所述Z轴固定板顶部水平设置有连杆；此机构结构紧凑，占用空间较小，使用方便；两组摆臂结构使产能相对于单摆臂提高40％左右，整体实用性好。用性好。用性好。

【技术实现步骤摘要】
一种四摆臂高速取固晶机构


[0001]本技术属于半导体封装设备
，尤其涉及一种四摆臂高速取固晶机构。

技术介绍

[0002]在现有技术中通常需要从蓝膜上摘取晶元以便进行固晶操作，目前所使用的取固晶机构多为单摆臂取固晶机构，产能较低；并且机械手在取晶过程中容易出现定位不准确取空的情况，实用性较差。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种四摆臂高速取固晶机构。
[0004]本技术的的目的可以通过以下技术方案来实现：
[0005]一种四摆臂高速取固晶机构，包括主固定座1，所述主固定座1左右两端分别设置有摆臂结构2，所述摆臂结构2包括与所述主固定座1固定连接的摆臂旋转座3，所述摆臂旋转座3底部设置有两组摆臂机械手4；所述摆臂旋转座3左右两侧分别竖直设置有交叉导轨5，所述交叉导轨5上滑动设置有滑座6，所述滑座6底部设置有传动结构7，所述滑座6通过所述传动结构7与所述摆臂机械手4相连接；所述摆臂旋转座3前侧设置有伺服马达8，所述伺服马达8的输出端设置有偏心杆9；所述伺服马达8上方通过支撑座向上设置有直线导轨10，所述直线导轨10上滑动设置有Z轴固定板11，所述Z轴固定板11与所述偏心杆9远离所述伺服马达8的一端贯穿连接；所述Z轴固定板11顶部水平设置有连杆12，所述连杆12与所述滑座6相连接；所述伺服马达8通过所述连杆12连接所述滑座6与所述摆臂机械手4控制连接。
[0006]优选的，所述主固定座1顶部覆盖两组所述摆臂结构2上方设置有防护壳盖。
[0007]优选的，所述两组摆臂结构2分别位于所述主固定座1左右两端呈对称设置。
[0008]优选的，所述每组摆臂结构2中的两组摆臂机械手4互相垂直交叉设置。
[0009]优选的，所述每组摆臂结构2中分别设置有两组滑座6和两组传动结构7，所述两组滑座6通过所述两组传动结构7分别与所述两组摆臂机械手4相连接。
[0010]优选的，所述伺服马达8具体为交流式伺服电机。
[0011]本技术的有益效果：此机构结构紧凑，占用空间较小，使用方便；两组摆臂结构充分利用伺服马达的高速度，高定位功能，控制摆臂机械手在极短的时间精确移动取晶，产能相对于单摆臂提高40％左右，整体实用性好。
附图说明
[0012]图1为本技术四摆臂高速取固晶机构的整体的立体结构示意图；
[0013]图2为本技术四摆臂高速取固晶机构的左视图；
[0014]图3为本技术四摆臂高速取固晶机构中伺服马达、偏心杆、直线导轨、Z轴固定
板、连杆之间的立体的连接示意图；
[0015]图中：1、主固定座；2、摆臂结构；3、摆臂旋转座；4、摆臂机械手；5、交叉导轨；6、滑座；7、传动结构；8、伺服马达；9、偏心杆；10、直线导轨；11、Z轴固定板；12、连杆。
具体实施方式
[0016]结合附图所示，本技术的技术方案作进一步的描述：
[0017]如图1
‑
3图示所述可知，一种四摆臂高速取固晶机构，包括主固定座1，所述主固定座1左右两端分别设置有摆臂结构2，所述摆臂结构2包括与所述主固定座1固定连接的摆臂旋转座3，所述摆臂旋转座3底部设置有两组摆臂机械手4；所述摆臂旋转座3左右两侧分别竖直设置有交叉导轨5，所述交叉导轨5上滑动设置有滑座6，所述滑座6底部设置有传动结构7，所述滑座6通过所述传动结构7与所述摆臂机械手4相连接；所述摆臂旋转座3前侧设置有伺服马达8，所述伺服马达8的输出端设置有偏心杆9；所述伺服马达8上方通过支撑座向上设置有直线导轨10，所述直线导轨10上滑动设置有Z轴固定板11，所述Z轴固定板11与所述偏心杆9远离所述伺服马达8的一端贯穿连接；所述Z轴固定板11顶部水平设置有连杆12，所述连杆12与所述滑座6相连接；所述伺服马达8通过所述连杆12连接所述滑座6与所述摆臂机械手4控制连接。
[0018]在具体使用时，在本技术左右两端的摆臂结构2下方分别放置蓝膜晶元，伺服马达8通过偏心杆9驱动Z轴固定板11在直线导轨10上移动，同时通过连杆12带动滑座6在交叉导轨5上移动，使摆臂机械手4水平上下移动到蓝膜晶元的位置和180
°
转动取晶并移走；重复上述步骤，直至取完整片蓝膜上的晶元。
[0019]本实施例中优选的，所述主固定座1顶部覆盖两组所述摆臂结构2上方设置有防护壳盖，保护机构内部清洁，防止掉落物品影响摆臂结构2运行。
[0020]本实施例中优选的，所述两组摆臂结构2分别位于所述主固定座1左右两端呈对称设置，结构紧凑，节省占地空间。
[0021]本实施例中优选的，所述每组摆臂结构2中的两组摆臂机械手4互相垂直交叉设置，两组摆臂机械手4分别可180
°
转动取晶，可覆盖整个取晶面。
[0022]本实施例中优选的，所述每组摆臂结构2中分别设置有两组滑座6和两组传动结构7，所述两组滑座6通过所述两组传动结构7分别与所述两组摆臂机械手4相连接，两组摆臂机械手4分别独立移动，灵活度高。
[0023]本实施例中优选的，所述伺服马达8具体为交流式伺服电机，此电机具有高速度和高定位的特点，可驱动摆臂机械手4快速精准移动取晶，提高取晶工作效率。
[0024]最后应说明的是：
[0025]首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
[0026]其次：本技术公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本技术同一实施例及不同实施例可以相互组合；
[0027]最后：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种四摆臂高速取固晶机构，其特征在于：包括主固定座(1)，所述主固定座(1)左右两端分别设置有摆臂结构(2)，所述摆臂结构(2)包括与所述主固定座(1)固定连接的摆臂旋转座(3)，所述摆臂旋转座(3)底部设置有两组摆臂机械手(4)；所述摆臂旋转座(3)左右两侧分别竖直设置有交叉导轨(5)，所述交叉导轨(5)上滑动设置有滑座(6)，所述滑座(6)底部设置有传动结构(7)，所述滑座(6)通过所述传动结构(7)与所述摆臂机械手(4)相连接；所述摆臂旋转座(3)前侧设置有伺服马达(8)，所述伺服马达(8)的输出端设置有偏心杆(9)；所述伺服马达(8)上方通过支撑座向上设置有直线导轨(10)，所述直线导轨(10)上滑动设置有Z轴固定板(11)，所述Z轴固定板(11)与所述偏心杆(9)远离所述伺服马达(8)的一端贯穿连接；所述Z轴固定板(11)顶部水平设置有连杆(12)，所述连杆(12)与所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永胜，张晓飞，
申请(专利权)人：奥特马无锡电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：