一种接触式传感器制造技术

本发明专利技术涉及半导体及太阳能清洗设备技术领域，具体是一种接触式传感器，其包括感应元件、支架和安装在支架上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与支架接触，检测标的与接触元件的接触带动接触元件旋转，感应元件监测接触元件断开接触支架，感应元件的连接状态改变而向外发送信号；还包括数据处理器，所述数据处理器与感应元件连接，所述数据处理器接收感应元件发送的信号；所述数据处理器连接有指示元件，所述数据处理器控制指示元件发出或显示报警信号；本发明专利技术的有益效果是：接触式传感器检测检测标的，不受环境内雾气、震动影响；提高了检测的可靠性；同时接触式传感器反应灵敏，有效降低因异常带来的设备或产品损害。有效降低因异常带来的设备或产品损害。有效降低因异常带来的设备或产品损害。

【技术实现步骤摘要】
一种接触式传感器


[0001]本专利技术涉及半导体及太阳能清洗设备
，具体是一种接触式传感器。

技术介绍

[0002]在半导体及太阳能槽式自动清洗行业，由于槽体热胀冷缩，常出现机械手不能有效勾取到位于处理槽内的硅片载具，导致硅片载具在悬空移动中掉落，或出现机械手上下移动时处理槽有遗留硅片载具，机械手仍然再次往处理槽内放置硅片载具，导致压篮故障。针对这一异常，为降低异常带来的意外损失。行业内通常会在机械手上安装传感器，目的是确认硅片载具有真实被勾取走，或真实与勾取装置分离。
[0003]受工况环境的影响，检测的方法及传感器的选择局限性较大。市面上设备通常使用的光电传感器或超声波传感器或称重传感器常出现误报警情况，导致设备非正常停机，检测的可靠性低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种接触式传感器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种接触式传感器，所述接触式传感器包括感应元件、支架和安装在支架上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与支架接触，检测标的与接触元件的接触带动接触元件旋转，感应元件监测接触元件断开接触支架，感应元件的连接状态改变而向外发送信号。
[0006]作为本专利技术进一步的方案：所述接触元件包括接触杠杆，所述接触杠杆通过旋转轴铰接安装在所述支架上。
[0007]作为本专利技术再进一步的方案：所述支架远离接触元件的一端设有连接部，所述连接部与机械手连接。
[0008]作为本专利技术再进一步的方案：所述感应元件包括安装在支架上的磁感应件、安装在接触元件顶部与磁感应件接触的磁铁。
[0009]作为本专利技术再进一步的方案：所述磁感应件设有触点，所述触点设置在所述支架相对于接触元件的一侧。
[0010]作为本专利技术再进一步的方案：所述磁感应件包括感应线圈，感应线圈的输出端连接开关电路，触点与磁铁接触连通开关电路。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案：还包括数据处理器，所述数据处理器与感应元件连接，所述数据处理器接收感应元件发送的信号，并向外发出指令。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案：所述数据处理器连接有指示元件，所述数据处理器控制指示元件发出或显示报警信号。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：接触式传感器检测检测标的，不受环境内雾气、震动影响；提高了检测的可靠性；同时接触式传感器反应灵敏，有效降低因异常带来
的设备或产品损害。
附图说明
[0014]图1为本专利技术实施例中接触式传感器感应触发状态的结构示意图。
[0015]图2为本专利技术实施例中接触式传感器初始状态的结构示意图。
[0016]附图中：1
‑
支架、2
‑
感应部、3
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磁铁部、4
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旋转轴、5
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接触杠杆、6
‑
检测标的。
具体实施方式
[0017]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本实施例公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0018]请参阅图1、2，本专利技术实施例中，一种接触式传感器，所述接触式传感器包括感应元件、支架1和安装在支架1上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与支架接触，检测标的6与接触元件的接触带动接触元件旋转，感应元件监测接触元件断开接触支架1，感应元件的连接状态改变而向外发送信号。
[0019]具体的，所述感应元件包括安装在支架1上的磁感应件、安装在接触元件顶部与磁感应件接触的磁铁，所述支架1安装磁感应件的位置形成感应部2，接触元件顶部安装磁铁的位置形成磁铁部3；在对处理槽内的硅片载具进行勾取的过程中，将接触式传感器安装在机械手上。初始状态下，接触元件竖直保持静止，且所述接触元件的顶部与支架接触，使得所述感应部2与磁铁部3接触，感应元件的磁感应件受磁感应作用通电，感应触发状态下，当检测标的6与接触元件的接触带动接触元件旋转后，感应部2与磁铁部3断开，使得感应元件的磁感应件未感应到磁铁而断电；磁感应件的连接状态改变形成电信号被数据处理器接收，数据处理器做出相应操作，相应操作可以是发出声光报警信号的控制指令，提示机械手勾取故障；也可以是直接控制机械手停止工作。接触式传感器检测检测标的，不受环境内雾气、震动影响；提高了检测的可靠性；同时接触式传感器相比于其他传感器反应灵敏，有效降低因异常带来的设备或产品损害。
[0020]请参阅图1、2，本专利技术的一个优选实施例中，所述接触元件包括接触杠杆5，所述接触杠杆5通过旋转轴4铰接安装在所述支架上。
[0021]具体的，所述接触杠杆5的中部偏上位置开设有连接孔，所述旋转轴4插入连接孔与支架铰接；在检测标的6接触到接触杠杆5的下端时，接触杠杆5以旋转轴4为轴心顺时针旋转，同时由于接触杠杆5的旋转使得感应部2与磁铁部3接触断开，进而改变了磁感应件的连接状态；数据处理器根据磁感应件的连接状态改变做出相应反应。
[0022]请参阅图1，本专利技术的一个优选实施例中，所述支架远离接触元件的一端设有连接部，所述连接部与机械手连接。
[0023]所述连接部的外圆周设有螺纹或卡销孔，通过螺纹或卡销孔与机械手连接，在机械手进行硅片载具的勾取时，对机械手进行检测，保证硅片载具的勾取稳定、有效进行。
[0024]请参阅图1，本专利技术的一个优选实施例中，所述磁感应件设有触点，所述触点设置在所述支架相对于接触元件的一侧。
[0025]通过设置触点提高与感应部2与磁铁部3接触灵敏度，使得感应部2与磁铁部3接触断开时的反应更加灵敏，有效降低因检测时延带来的检测标的6或接触式传感器损伤。
[0026]请参阅图1，本专利技术的另一个实施例中，所述磁感应件包括感应线圈，感应线圈的输出端连接开关电路，触点与磁铁接触连通开关电路。
[0027]所述感应线圈、磁铁及开关电路组成磁感应开关，通过磁感应开关的通断判断机械手的工作状态，实现对机械手是否勾取硅片载具的检测。
[0028]请参阅图1，本专利技术的另一个实施例中，还包括数据处理器（PLC），所述数据处理器与感应元件连接，所述数据处理器接收感应元件发送的信号，并向外发出指令。
[0029]当机械手勾取到硅片载具，接触杠杆5底部外表面接触到硅片载具并发生位移，使感应元件的开关电路通断状态改变，产生电信号发给数据处理器，在硅片载具移动的过程中，开关电路的通断状态保持不变。如果发生硅片载具勾取异常，接触杠杆5受重力影响复位，感应部2与磁铁部3的接触恢复；开关电路通断状态改变，产生电信号发给数据处理器；数据处理器判断机械手为无载具状态；数据处理器通过对比及时发出异常报警，同时停止机械手运动。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接触式传感器，其特征在于，所述接触式传感器包括感应元件、支架和安装在支架上的接触元件，所述接触元件受重力作用竖直与支架接触，检测标的与接触元件的接触带动接触元件旋转，感应元件监测接触元件断开接触支架，感应元件的连接状态改变而向外发送信号。2.根据权利要求1所述的接触式传感器，其特征在于，所述接触元件包括接触杠杆，所述接触杠杆通过旋转轴铰接安装在所述支架上。3.根据权利要求1所述的接触式传感器，其特征在于，所述支架远离接触元件的一端设有连接部，所述连接部与机械手连接。4.根据权利要求1所述的接触式传感器，其特征在于，所述感应元件包括安装在支架上的磁感应件、安装在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王相军，梁建，戴洪烨，鱼科军，
申请(专利权)人：上海釜川智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：