蒸镀用掩模及其制备方法技术

实施例的蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除蒸镀区域以外的非蒸镀区域，所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开的多个有效部和除有效部以外的非有效部，所述有效部包括：多个小表面孔，形成在一表面上；多个大表面孔，形成在与所述一表面相反的另一表面上；通孔，连通所述小表面孔和所述大表面孔；以及岛部，位于多个所述通孔之间，所述非有效部包括彼此隔开的多个第一槽，所述第一槽彼此隔开配置，所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10％～60％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀用掩模及其制备方法
实施例涉及一种蒸镀用掩模及其制备方法。
技术介绍
显示装置正被应用于多种设备。例如，显示装置不仅应用于诸如智能手机、平板电脑等小型设备，还应用于诸如电视、监视器、公共显示器(PublicDisplay)等大型设备。尤其是，最近对于500PPI(每英寸像素：PixelPerInch)以上的超高清晰度UHD(UltraHighDefinition)的需求正在增加，并且高清晰度显示装置正应用于小型设备以及大型设备。因此，对于用于实现低电力及高清晰度的技术的关注度也在提高。通常使用的显示装置按照驱动方法可以粗分为LCD(液晶显示器：LiquidCrystalDisplay)以及OLED(有机发光二极管：OrganicLightEmittingDiode)等。作为一种利用液晶(LiquidCrystal)驱动的显示装置，LCD是具有在所述液晶的下部配置有包括CCFL(冷阴极荧光灯：ColdCathodeFluorescentLamp)或LED(发光二极管：LightEmittingDiode)等光源的结构且以利用配置于所述光源上的所述液晶来调节从所述光源发出的光的量的方式驱动的显示装置。另外，作为一种利用有机物驱动的显示装置，OLED无需单独的光源，有机物自身能够起到光源的作用，从而以低电力驱动。另外，OLED能够表现无限的对比度，并具有比LCD快约1000倍以上的响应速度，而且可视角优秀，因此，作为能够替代LCD的显示装置而备受瞩目。尤其是，在OLED中，发光层所包含的所述有机物能够通过被称作精细金属掩模(FMM，FineMetalMask)的蒸镀用掩模蒸镀于基板上，并且蒸镀的所述有机物能够形成为与形成于所述蒸镀用掩模上的图案对应的图案，以起到像素的作用。所述蒸镀用掩模通常由包括铁(Fe)及镍(Ni)的因瓦合金(Invar)金属板制备。其中，所述金属板的一表面和另一表面上形成连通所述一表面和另一表面的通孔，所述通孔能够形成在与像素图案对应的位置。因此，红色(Red)、绿色(Green)以及蓝色(Blue)等有机物能够通过所述金属板的通孔蒸镀在基板上，且在基板上形成像素图案。所述蒸镀用掩模可包括蒸镀区域的有效部和除所述有效部以外的非有效部。并且，所述有效部可包括位于中心的有效区域和包围所述有效区域的外缘区域。所述非有效部是所述有效部的所述外缘区域的周围区域。另一方面，蒸镀用掩模的非蒸镀区域中能够形成分散应力的多个槽。多个所述槽可通过蚀刻等蚀刻工艺来形成，其中，形成多个所述槽时可能发生由蚀刻引起的应力，由于这种应力，蒸镀用掩模发生弯曲，从而降低利用蒸镀用掩模的蒸镀效率和蒸镀品质。因此，需要用于解决上述问题的新的蒸镀用掩模及其制备方法。
技术实现思路
技术问题实施例旨在提供一种蒸镀用掩模及其制备方法，能够均匀地形成没有蒸镀不良的约500PPI以上的高清晰度或者约800PPI以上的超高清晰度(UHD级别)的图案。技术方案实施例的蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除蒸镀区域以外的非蒸镀区域，所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开的多个有效部和除有效部以外的非有效部，所述有效部包括：多个小表面孔，形成在一表面上；多个大表面孔，形成在与所述一表面相反的另一表面上；通孔，连通所述小表面孔和所述大表面孔；以及岛部，位于多个所述通孔之间，所述非有效部包括彼此隔开的多个第一槽，所述第一槽彼此隔开配置，所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10％～60％。专利技术效果形成于所述非有效部的多个槽能够提高蒸镀用掩模的真直度。即，在所述蒸镀用掩模的非蒸镀部形成多个槽时，由于被轧制的蒸镀用掩模的特性，可能发生蒸镀用掩模的弯曲。即，在所述蒸镀用掩模的非蒸镀部形成多个槽时，所述蒸镀用掩模的上部与下部的尺寸差异变大，因此，由于这种差异而蒸镀用掩模发生弯曲，从而能够减小蒸镀用掩模的真直度。因此，通过在所述非有效部形成具有特定形状且具有规定面积以上的多个槽，能够使蒸镀用掩模的弯曲现象最小化。即，通过将在所述蒸镀用掩模的非蒸镀部形成多个槽时产生的应力有效地分散于多个所述槽，使由应力引起的基板弯曲现象最小化，从而能够增加蒸镀用掩模的真直度。附图说明图1至图3是用于说明使用实施例的蒸镀用掩模在基板上蒸镀有机物质的工艺的概念图。图4是示出实施例的蒸镀用掩模的俯视图的图。图5是示出实施例的蒸镀用掩模的俯视图的图。图6是示出实施例的蒸镀用非有效部的俯视图的图。图7是示出实施例的蒸镀用非有效部的俯视图的图。图8是示出蒸镀用掩模的有效部的俯视图的图。图9是示出蒸镀用掩模的有效部的俯视图的照片。图10是将图8或者图9中的A-A'的剖面图和B-B'的剖面图重叠示出的图。图11是示出实施例的蒸镀用掩模的另一俯视图的图。图12是示出实施例的蒸镀用掩模的图8或者图9的B-B'方向的剖面图。图13是示出实施例的蒸镀用掩模的制备工艺的多个图。图14和图15是示出通过实施例的蒸镀用掩模形成的蒸镀图案的多个图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的优选实施例进行详细说明。但是，本专利技术的技术思想不限于所说明的一部分实施例，而是能够实现为其他多种形态，并且能够在本专利技术的技术思想范围内对多个实施例的多个构成要素中的一个以上选择性地进行结合、代替后使用。另外，本专利技术的实施例中所使用的术语(包括技术及科学术语)只要未明确地进行特别的定义，便能够解释为本领域技术人员通常所理解的含义，并且在词典上定义的术语等通常所使用的术语能够通过考虑相关技术在上下文中的含义来解释其含义。另外，本专利技术的实施例中所使用的术语用于说明多个实施例，并非旨在限制本专利技术。在本说明书中，只要没有在句子中特别提及，单数型就可以包括复数型，当记载为“A以及(和)B、C中的至少一个(或一个以上)”时，可以包括能够由A、B、C组合的所有组合中的一个以上。另外，在对本专利技术实施例的构成要素进行说明时，可以使用第一、第二、A、B、(a)、(b)等术语。这些术语仅用于区分该构成要素与另一构成要素，该构成要素的本质或次序或顺序不限于该术语。并且，当记载为某一构成要素与另一构成要素“连接”、“结合”或“接合”时，不仅包括该构成要素与该另一构成要素直接连接、结合或接合的情况，还包括通过位于该构成要素与该另一构成要素之间的又一构成要素来“连接”、“结合”或“接合”的情况。另外，当记载为形成或配置于各个构成要素的“上(之上)或下(之下)”时，上(之上)或下(之下)不仅包括两个构成要素彼此直接接触的情况，还包括一个以上的另一构成要素形成或配置于两个构成要素之间的情况。另外，当表示为“上(之上)或下(之下)”时，以一个构成要素为基准，不仅包括上侧方向，还包括下侧方向。以下，参照附图对实施例的蒸镀用掩模进行说明。图1至图3是用于说明使用实施例的蒸镀用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀用掩模，为用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模，其特征在于，/n所述蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除蒸镀区域以外的非蒸镀区域，/n所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开的多个有效部和除有效部以外的非有效部，/n所述有效部包括：/n多个小表面孔，形成在一表面上；/n多个大表面孔，形成在与所述一表面相反的另一表面上；/n通孔，连通所述小表面孔和所述大表面孔；以及/n岛部，位于多个所述通孔之间，/n所述非有效部包括彼此隔开的多个第一槽，/n所述第一槽彼此隔开配置，/n所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10％～60％。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180904 KR 10-2018-01053281.一种蒸镀用掩模，为用于OLED像素蒸镀的金属材料的蒸镀用掩模，其特征在于，
所述蒸镀用掩模包括用于形成蒸镀图案的蒸镀区域和除蒸镀区域以外的非蒸镀区域，
所述蒸镀区域包括沿长度方向隔开的多个有效部和除有效部以外的非有效部，
所述有效部包括：
多个小表面孔，形成在一表面上；
多个大表面孔，形成在与所述一表面相反的另一表面上；
通孔，连通所述小表面孔和所述大表面孔；以及
岛部，位于多个所述通孔之间，
所述非有效部包括彼此隔开的多个第一槽，
所述第一槽彼此隔开配置，
所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的10％～60％。


2.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其特征在于，
所述第一槽的面积占所述非有效部的总面积的30％～50％。


3.根据权利要求1所述的蒸镀用掩模，其特征在于，
所述第一槽的形状与所述通孔的形状不同。


4.根据权利要求2所述的蒸镀用掩模，其特征在于，
所述第一槽包括曲...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓源，严太寅，曹守铉，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR