装载端口装置及装载端口装置的驱动方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。

【技术实现步骤摘要】
装载端口装置及装载端口装置的驱动方法
本专利技术涉及一种装载端口装置以及装载端口装置的控制方法。
技术介绍
在半导体的制造工序中，使用称为FOUP或FOSB等的晶圆(wafer)搬运容器，进行各处理装置之间的晶圆的搬运。这样的晶圆搬运容器具有存取晶圆的主开口以及封闭主开口的盖部，晶圆搬运容器内的晶圆被保管于通过盖部而密闭的空间内。在打开晶圆搬运容器的盖部而从晶圆搬运容器内部取出晶圆，或者从晶圆的主开口导入清洁化气体的情况下，使用将晶圆搬运容器连接于开口的装载端口(loadport)装置。通过使用装载端口装置，能够将晶圆搬运容器的内部空间经由开口而气密地连接于称为微环境(minienvironment)的另一空间，并且可以将容器内的晶圆从半导体工厂内的其它的空间隔离，并从晶圆搬运容器内存取。另外，提出了一种装载端口装置，其防止晶圆搬运容器的位置偏移，并且具有适当地将晶圆搬运容器连结于框架开口的夹部。这样的装载端口装置通过使装载端口装置的卡合部卡合于晶圆搬运容器的凸缘部，从而能够维持晶圆搬运容器与框架开口的适当的连结状态。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2019-62104号公报在现有的装载端口装置中，由于晶圆搬运容器的变形或微小的载置位置的偏移等，尽管使凸缘夹部动作，但存在卡合部无法正常地卡合于晶圆搬运容器的凸缘部的情况。当为凸缘夹部无法卡合于晶圆搬运容器的凸缘部的状态时，在将晶圆搬运容器的盖部开放并且连结晶圆搬运容器与微环境的搬运室等时，存在容器内和搬运室内的气体向外部漏出的问题。
技术实现思路
本专利技术鉴于这样的实际状况，提供一种装载端口装置等，其能够在打开晶圆搬运容器的盖部时，防止内部的气体从连结部分向外部漏出的问题。为了实现上述目的，本专利技术所涉及的装载端口装置，是将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口的装载端口装置，具有：载置部，其具有设置所述晶圆搬运容器并相对于所述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从所述载置部向上方直立，并形成有所述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围所述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在所述卡合部进行将所述卡合部卡合于所述凸缘部的卡合动作和将所述卡合部从所述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将所述凸缘夹部所进行的所述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。由于本专利技术所涉及的装载端口装置具有能够将凸缘夹部进行的卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测的检测部，因此，检测部可以检测尽管使凸缘夹部动作，但卡合部无法正常地卡合于晶圆搬运容器的凸缘部的状态。因此，这样的装载端口装置尽管凸缘夹部进行了异常卡合动作，但能够防止未识别其而继续控制，并且能够在打开晶圆搬运容器的盖部等时防止内部的气体从连结部分向外部漏出的问题。另外，例如，也可以是所述卡合部相对于形成于所述凸缘部并向所述凸缘部的外径方向开口的被卡合部，从上方或侧方卡合。这样的凸缘夹部与例如将晶圆搬运容器整体从晶圆搬运容器的后方压向框架部的机构相比在小型化的观点上是有利的。另外，例如，也可以是所述驱动部具有连接于所述卡合部并沿着第一方向往返动作的第一动作部分，也可以是所述卡合部具有沿着与所述第一方向不同的第二方向动作并与所述凸缘部卡合和脱离的第二动作部分。驱动部的第一动作部分和卡合部的第二动作部分的动作的方向不同，从而可以防止凸缘夹部与晶圆搬运容器的动线干涉，并且可以将凸缘夹部的卡合部以少的移动量卡合于凸缘部。另外，例如，也可以是所述第一动作部分往返动作的所述第一方向与所述卡合部将所述凸缘部压向所述框架部的第三方向大致正交。由于这样的装载端口装置可以通过小型的凸缘夹部使将凸缘部压向框架部的力作用，因此可以可靠地防止从连结部分的内部气体的漏出。另外，例如，也可以是所述驱动部具有能够移动沿着第一方向的第一位置、第二位置和第三位置的第一动作部分，当所述第一动作部分位于所述第一位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行脱离动作，当所述第一动作部分位于所述第二位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述正常卡合动作，当所述第一动作部分位于所述第三位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述异常卡合动作，也可以是所述检测部将所述第一动作部分位于所述第二位置与所述第一动作部分位于所述第一位置以及所述第三位置的情况区别地检测。由于这样的装载端口装置通过检测部检测驱动部中的第一动作部分的位置来判断卡合部进行正常卡合动作，因而可以实现可靠性高的检测。另外，例如，也可以是所述检测部具有所述发光部和能够对所述发光部的光进行受光的所述受光部，也可以是所述第一动作部分具有检测用动作部，所述检测用动作部具有将所述发光部的光朝向所述受光部的第一部分、以及将所述发光部的光遮蔽或吸收、或者朝向与所述受光部不同的方向的第二部分。这样的装载端口装置使用光学传感器检测检测用动作部，从而可以将卡合部进行的卡合动作区别为正常卡合动作和异常卡合动作而高精度地检测。另外，例如，也可以是本专利技术所涉及的凸缘夹部具有空开规定的间隔而配置的至少两个所述凸缘夹部，也可以是所述检测部的所述发光部的光能够经由各个所述凸缘夹部的所述检测用动作部所具有的至少两个所述第一部分而入射于所述受光部。这样的装载端口装置由一个检测部检测至少两个凸缘夹部进行正常卡合动作，从而可以简化装置并更可靠地防止内部的气体向外部漏出的问题。另外，例如，也可以具有安装于所述框架部中的所述载置部侧的面，并且覆盖所述凸缘夹部的至少一部分的罩部。具有这样的罩部的装载端口装置可以通过罩部来保护凸缘夹部。另外，这样的凸缘夹部的配置有助于装载端口装置的小型化。另外，例如，也可以是本专利技术所涉及的装载端口装置具有：门，其卡合于安装于所述晶圆搬运容器的所述主开口的盖部，并且开闭所述主开口和所述框架开口；门驱动部，其驱动所述门；以及联锁机构，其仅在所述检测部检测出所述正常卡合动作时，能够使所述门驱动部打开所述门。这样的装载端口装置利用联锁机构，尽管凸缘夹部进行了异常卡合动作，但能够防止打开晶圆搬运容器的盖部，能够更加可靠地防止内部的气体向外部漏出的问题。本专利技术所涉及的装载端口装置的驱动方法具有：将载置于载置台的晶圆搬运容器移动至所述晶圆搬运容器接近框架开口的连结位置的步骤；以进行凸缘夹部的卡合部相对于所述晶圆搬运容器的凸缘部卡合的卡合动作的方式，驱动所述凸缘夹部的驱动部的步骤；检测所述卡合部的卡合动作是否为正常卡合动作的步骤；以及将安装于所述晶圆搬运容器的主开口的盖部和所述框架开口打开的步骤，仅在检测出所述正常卡合动作时，能够执行打开所述盖部和所述框架开口的步骤。根据这样的装载端口装置的控制方法，尽管凸缘夹部进行了异常卡合动作，但能够防止打开晶圆搬运容器的盖，能够可靠地防止本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装载端口装置，其特征在于，/n是将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口的装载端口装置，/n具有：/n载置部，其具有设置所述晶圆搬运容器并相对于所述框架开口相对移动的载置台；/n框架部，其从所述载置部向上方直立，并形成有所述框架开口；/n凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围所述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在所述卡合部进行将所述卡合部卡合于所述凸缘部的卡合动作和将所述卡合部从所述凸缘部脱离的脱离动作；以及/n检测部，其能够将所述凸缘夹部所进行的所述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。/n

【技术特征摘要】
20191007 JP 2019-1847511.一种装载端口装置，其特征在于，
是将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口的装载端口装置，
具有：
载置部，其具有设置所述晶圆搬运容器并相对于所述框架开口相对移动的载置台；
框架部，其从所述载置部向上方直立，并形成有所述框架开口；
凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围所述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在所述卡合部进行将所述卡合部卡合于所述凸缘部的卡合动作和将所述卡合部从所述凸缘部脱离的脱离动作；以及
检测部，其能够将所述凸缘夹部所进行的所述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。


2.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
所述卡合部相对于形成于所述凸缘部并向所述凸缘部的外径方向开口的被卡合部，从上方或侧方卡合。


3.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
所述驱动部具有连接于所述卡合部并沿着第一方向往返动作的第一动作部分，
所述卡合部具有沿着与所述第一方向不同的第二方向动作并与所述凸缘部卡合和脱离的第二动作部分。


4.根据权利要求3所述的装载端口装置，其特征在于，
所述第一动作部分往返动作的所述第一方向与所述卡合部将所述凸缘部压向所述框架部的第三方向大致正交。


5.根据权利要求1所述的装载端口装置，其特征在于，
所述驱动部具有能够移动沿着第一方向的第一位置、第二位置和第三位置的第一动作部分，当所述第一动作部分位于所述第一位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部分开，当所述第一动作部分位于所述第二位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述正常卡合动作，当所述第一动作部分位于所述第三位置时，所述卡合部相对于所述凸缘部进行所述异常卡合动作，
所述检...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿部知史，长谷川弘，加藤望，五十岚宏，岩本忠将，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP