真空泵减压装置和减压真空泵制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种真空泵减压装置和减压真空泵，该真空泵减压装置设有进气通道端、排气通道端和减压腔，通过在减压腔设置气体加速模块，使气体加速区内的气体流速大于气体流入区内的气体流速，根据伯努利原理(气体流速越大，压强越小)，通过速度变化，使原本压强相近的进气通道端和排气通道端产生正压强差，两端产生的压强差带动进气通道端的气体流速变大。从而缓解了进气通道端的排气阻力，使真空泵的转子转动速率下降，从而预防了真空泵的过度磨损，延长了真空泵的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
真空泵减压装置和减压真空泵
本专利技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种真空泵减压装置和减压真空泵。
技术介绍
近年来，半导体行业飞速发展，市场对半导体的产品质量和生产效率提出了更高的要求。因此，生产企业必须不断改进和完善自身的生产设备和工艺水平才能适应新的市场需求。目前，对于半导体器件的加工所常用的技术手段是诸如刻蚀和物理气象沉积等加工工艺。由于上述工艺对于工艺腔室的洁净度和真空度的要求非常高，因此，需要借助机械泵、分子泵等真空泵设备使工艺腔室内的气压从大气压降低至真空状态。据统计，超过90％的真空泵更换是由于真空泵的排气端气压过高，导致主泵的转子转动速度过快导致的磨损或过载，普遍的预防保养方式是定义固定时间做更换(Overhaul)来降低风险，而真空泵的更换需要耗费大量的人力、金钱和机台使用时间资源。
技术实现思路
基于此，有必要针对真空泵排气端压力过大导致主泵磨损或过载的技术问题，提供一种真空泵减压装置和减压真空泵。为了实现本专利技术的目的，本专利技术采用如下技术方案：一种真空泵减压装置，设有：进气通道端；排气通道端；减压腔，所述减压腔连接所述进气通道端和所述排气通道端，所述减压腔内设有预定气流路径，所述进气通道端输出的气体沿所述预定气流路径进入所述排气通道端，且所述进气通道端与所述排气通道端存在正压强差。下面进一步对技术方案进行说明：在其中一个实施例中，所述减压腔内设有挡板；所述挡板用于限定所述预定气流路径，并将所述预定气流路径划分为靠近所述进气通道端的气体流入区和靠近排气通道端的气体加速区。在其中一个实施例中，所述减压腔还包括气体加速模块，所述气体加速模块用于控制所述气体加速区内气体的流动速度，所述气体流入区内气体流速小于所述气体加速区内气体流速。在其中一个实施例中，所述挡板靠近所述气体加速区一侧的面与所述减压腔的内壁间的夹角范围为45°至90°，所述挡板在所述夹角范围内转动。在其中一个实施例中，所述挡板还将所述预定气流路径划分出气体引导区，所述气体引导区位于所述气体流入区与所述气体加速区之间，用于引导气体从所述气体流入区进入所述气体加速区，且所述气体加速模块不控制所述气体引导区内气体的流速。在其中一个实施例中，所述气体加速模块设有阀门，用于控制所述气体加速区内气体的流动速度。在其中一个实施例中，所述减压腔还包括集尘组件，所述集尘组件设置在所述挡板与气体流入区的重叠的范围内。在其中一个实施例中，所述减压腔外壁上设置有可开闭的排尘口，所述排尘口贴合所述集尘组件，用于所述集尘组件排尘。在其中一个实施例中，所述排尘口设有透明镜。本专利技术的技术方案还提供了一种减压真空泵，包括前述的真空泵减压装置，所述真空泵减压装置的进气通道端与真空泵的排气端连接。上述真空泵减压装置，通过设置气体加速模块，使气体加速区内的气体流速大于气体流入区内的气体流速，根据伯努利原理(气体流速越大，压强越小)，通过速度变化，使原本压强相近的进气通道端和排气通道端产生正压强差，两端产生的压强差带动进气通道端的气体流速变大。从而缓解了进气通道端的排气阻力，使真空泵的转子转动速率下降，从而预防了真空泵的过度磨损，延长了真空泵的使用寿命。上述减压真空泵，通过真空泵减压装置，加速进气通道端的气体流动速度，降低进气通道端的气体压强。随着真空泵的排气端的气体压强的减小，真空泵的排气阻力也会同时减小，使真空泵的转子转动速率下降，从而预防了真空泵的过度磨损，延长了真空泵的使用寿命。附图说明图1为一个实施例中的真空泵减压装置的结构框图；图2为一个实施例中的减压腔的截面结构示意图；图3为另一个实施例中的减压腔的截面结构示意图；图4为真空泵的结构示意图；图5为传统使用方法的真空泵的主泵压强示意图；图6为一个实施例中连接真空泵减压装置的真空泵的主泵压强示意图；图7为一个实施例中的减压真空泵的结构框图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的可选的实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体地实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。图1为一个实施例中的真空泵减压装置的结构框图。在本实施例中，真空泵减压装置设有进气通道端110、减压腔120和排气通道端130。减压腔120，所述减压腔120连接所述进气通道端110和所述排气通道端130。如图2所示，所述减压腔内设有预定气流路径122，所述进气通道端110输出的气体沿所述预定气流路径122进入所述排气通道端130，且所述进气通道端110与所述排气通道端130存在正压强差。减压腔120的形状不限，可以是球形、圆柱形或者矩形等规则形状，也可以是异形体等不规则形状。减压腔120的气体容积与进气通道端110的口径、真空泵的抽气速度相匹配，在实际使用中，可以根据使用环境和减压需求选择适当的减压腔120的形状和尺寸。排气通道端130，用于连接尾气收集装置，使减压腔120与尾气收集装置连通，将减压腔120内的气体排出。排气通道端130的口径与进气通道端110的口径相当，排气通道端130与尾气收集装置为活动连接，具体地可以是螺纹连接、卡扣连接和铆接中的一种。在图2所示的实施例中，减压腔120的腔体内设有挡板121，所述挡板121设置在进气通道端110和排气通道端130之间，用于限定所述预定气流路径122，并将所述预定气流路径122划分为靠近所述进气通道端的气体流入区123和靠近排气通道端的气体加速区124。挡板121和减压腔120的内壁之间部分连接、部分间隔，使气体流入区123和气体加速区124连通，气体可以经由连通的通道从气体流入区123流入到气体加速区124。进一步地，真空泵减压装置100还包括气体加速模块140，所述气体加速模块140用于控制所述气体加速区124内气体的流动速度，所述气体流入区123内气体流速小于所述气体加速区124内气体流速。当气体加速区124内的气体受到气体加速模块140的外力作用，气体流动速度变快时，气体流动速度和气体加速区124内的压强会满足如下的伯努利方程：由此可知，在气体密度ρ、重力加速度g和腔体的高度h保持不变的前提下，如果气体流动速度v变快，该区域内的压强p会相应减小。对应在本实施例中，通过设置气体加速模块140，使气体加速区123内的气体流速大于气体流入区124内的气体流速，根据伯努利原理(气体流速越大，压强越小)，使原本压强相近的进气通道端110和排气通道端130产生正压强差，两端产生的压强本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.真空泵减压装置，其特征在于，所述真空泵减压装置设有：/n进气通道端；/n排气通道端；/n减压腔，所述减压腔连接所述进气通道端和所述排气通道端，所述减压腔内设有预定气流路径，所述进气通道端输出的气体沿所述预定气流路径进入所述排气通道端，且所述进气通道端与所述排气通道端存在正压强差。/n

【技术特征摘要】
1.真空泵减压装置，其特征在于，所述真空泵减压装置设有：
进气通道端；
排气通道端；
减压腔，所述减压腔连接所述进气通道端和所述排气通道端，所述减压腔内设有预定气流路径，所述进气通道端输出的气体沿所述预定气流路径进入所述排气通道端，且所述进气通道端与所述排气通道端存在正压强差。


2.根据权利要求1所述的真空泵减压装置，其特征在于，所述减压腔内设有挡板；所述挡板用于限定所述预定气流路径，并将所述预定气流路径划分为靠近所述进气通道端的气体流入区和靠近排气通道端的气体加速区。


3.根据权利要求2所述的真空泵减压装置，其特征在于，所述减压腔还包括气体加速模块，所述气体加速模块用于控制所述气体加速区内气体的流动速度，所述气体流入区内气体流速小于所述气体加速区内气体流速。


4.根据权利要求2所述的真空泵减压装置，其特征在于，所述挡板靠近所述气体加速区一侧的面与所述减压腔的内壁间的夹角范围为45°至90°，所述挡板在所述夹角范围内转动。


5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34