一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置，它包括大理石平面（2），在大理石平面（2）均布有一组气孔，在每个气孔上均连接有气管（3），所述的气管（3）与真空管（11a）并联，在真空管（11a）上设有进气阀（4）其特征在于：真空管（11a）一端连通有罐体（9），在罐体（9）上设有喷淋装置和排污管（10），所述的罐体（9）通过出气管（5a）与真空发生器（11）连通。本发明专利技术结构简单、使用方便，可以在现有设备上改造，且改造成本低廉，对研磨液起隔离作用避免研磨液吸入真空发生器。

【技术实现步骤摘要】
一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置
：本专利技术涉及玻璃面研磨
，具体地说就是一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置。
技术介绍
：大尺寸基板面研磨一般采用托盘表面粘贴吸附垫，吸附垫吸附玻璃非加工面，保持玻璃加工面向上的方法实现大尺寸面研磨。玻璃托盘背面粘贴缓冲密封材料，在研磨机的大理石表面开有环形凹槽，用于形成环形真空吸附管路。大理石中心开有真空抽吸口连接真空管道，真空管道连接真空泵或真空发生器。研磨机工作状态时玻璃托盘托付玻璃运行到大理石上方，打开真空管道阀门，托盘被真空吸附在大理石表面,托盘背面粘贴缓冲密封材料可以起到密封作用。研磨结束机台流片状态时关闭真空阀门，真空泄压，托盘托付玻璃传送到下一个工序。在实际生产中由于托盘翘曲、托盘背面缓冲密封材料破损等原因，不可避免的有部分研磨液被吸入真空管道，在真空管道内沉积，导致真空管道半径缩小，降低真空抽速甚至逐渐堵塞真空管道。严重时混有研磨液的气体流入真空发生装置导致真空发生装置报废。
技术实现思路
：本专利技术就是为了克服现有技术中的不足，一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置。本申请提供以下技术方案：一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置，它包括大理石平面，在大理石平面上均布有一组气孔，在每个气孔上均连接有气管，所述的气管与真空管并联，在真空管上设有进气阀其特征在于：真空管一端连通有罐体，在罐体上设有喷淋装置和排污管，在罐体上连通有出气管，所述出气管一端与真空发生器连通。在上述技术方案的基础上，还可以有以下进一步的技术方案：所述的喷淋装置包括在罐体内的顶部安装有喷淋头，在喷淋头上连通有进水管，在进水管上安装有对应配合的进水阀，在进水管一端与水源连通。所述的真空管与罐体连通口的水平高度低于出气管与罐体的连通口的水平高度。在所述罐体下部设有收窄部，所述的排污管与收窄部的底部连通，在排污管上安装有对应配合的排污阀。专利技术优点：本专利技术结构简单、使用方便，可以在现有设备上改造，且改造成本低廉，对研磨液起隔离作用避免研磨液吸入真空发生器，而且本装置还可以对吸入的研磨液进行冲洗，有效的避免了研磨液再罐体内的沉积。附图说明：图1是本专利技术的结构式图。具体实施方式：如图1所示，一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置，它包括大理石平面2，在大理石平面2均布有一组气孔，在每个气孔上均连接有气管3，所述的气管3下端均与真空管11a并联，在真空管11a上设有一个对应配合的进气阀4。在大理石平面2一侧设有一个罐体9，所述进气阀4一侧的真空管11a端部与罐体9中下部的连通口连通。在连通口下方的罐体9上设有锥状的收窄部9a，在收窄部9a底部安装有与罐体内连通的排污管10，在排污管10上安装有对应配合的排污阀7。在罐体9的内部顶部安装有喷淋装置，所述的喷淋装置包括在罐体9内的顶部安装有喷淋头14，在喷淋头14上连通有进水管14a，在进水管14a上安装有对应配合的进水阀6，在进水管14一端与水源13连通。在罐体9上部的另一个连通口上连通有出气管5a，在出气管5a上安装有对应配合的出气阀5，在出气阀5一侧的出气管5a一端与真空发生器11连通。所述的进气阀4、排污阀7、进水阀6以及出气阀5均为电磁阀，设置一个控制模块，所述的控制模块通过导线与进气阀4、排污阀7、进水阀6、出气阀5以及真空发生器11形成电信号控制配合。工作过程：玻璃基板在托盘1的托举移动大理石平面2后，控制模块控制排污阀7和进水阀6关闭，进气阀4和出气阀5以及真空发生器11开启。气孔处成负压状态，而后将托盘1牢牢吸附在大理石平面2上。而后研磨机开始对玻璃进行研磨，这时机台渗漏的研磨液在真空抽吸的作用下沿真空管道进入罐体9，在重力作用下大部分向下流入隔离罐底部，由于出气管5a的连通口水平位置较高，所以少量研磨液只会喷溅在罐体内壁上而无法进入出气管5a，这就避免了研磨液进入真空发生器11的情况发生。当玻璃基板的研磨结束后，研磨机处于流片状态时，通过控制模块关闭进气阀4和出气阀5。而后先打开进水阀6，使得水源内的水流入进水管14a而后在喷淋头14的作用下均匀的喷撒到罐体9的内壁上，冲洗罐体内部的研磨液约3-5秒后，再打开排污阀7，混有研磨液的废水在进水压力和重力的共同作用下从排污口10排出。而后控制模块控制排污阀7与进水阀6关闭，即完成一个工作循环。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置，它包括大理石平面（2），在大理石平面（2）上均布有一组气孔，在每个气孔上均连接有气管（3），所述的气管（3）与真空管（11a）并联，在真空管（11a）上设有进气阀（4）其特征在于：真空管（11a）一端连通有罐体（9），在罐体（9）上设有喷淋装置和排污管（10），在罐体（9）上连通有出气管（5a），所述出气管（5a）一端与真空发生器（11）连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置，它包括大理石平面（2），在大理石平面（2）上均布有一组气孔，在每个气孔上均连接有气管（3），所述的气管（3）与真空管（11a）并联，在真空管（11a）上设有进气阀（4）其特征在于：真空管（11a）一端连通有罐体（9），在罐体（9）上设有喷淋装置和排污管（10），在罐体（9）上连通有出气管（5a），所述出气管（5a）一端与真空发生器（11）连通。


2.根据权利要求1中所述的一种用于研磨机真空管道的研磨液清洁装置，其特征在于：所述的喷淋装置包括在罐体（9）内的顶部安装有喷淋头（14），在喷淋头（...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱永迁，张启良，朱猛，权立振，
申请(专利权)人：蚌埠中光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34