用于清洗机的喷淋装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋装置包括安装支架和喷淋管路，喷淋管路安装于安装支架上，喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，喷淋管路用于通过喷淋孔对待清洗件与承载装置接触的区域进行清洗。上述技术方案可以解决目前在清洗硅片等待清洗件的过程中，待清洗件与承载装置相互接触的位置处容易残留药液，进而对待清洗件的良品率产生不利影响的问题。

【技术实现步骤摘要】
用于清洗机的喷淋装置
本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种用于清洗机的喷淋装置。
技术介绍
在半导体的加工过程中，硅片等半导体产品在酸性药液中进行工艺后，还需在水中进行清洗，以洗掉残留于硅片表面的酸性药液。在清洁的过程中，硅片可以被放置在花篮等承载装置上，由于硅片和承载装置相互接触的位置不易被清洗干净，导致残存的酸性药液会腐蚀硅片，对硅片的良品率产生不利影响。
技术实现思路
本技术公开一种用于清洗机的喷淋装置，以解决目前在清洗硅片等清洗件的过程中，待清洗件与承载装置相互接触的位置处容易残留药液，进而对待清洗件的良品率产生不利影响的问题。为了解决上述问题，本技术采用下述技术方案：本技术提供一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋装置包括安装支架和喷淋管路，所述喷淋管路安装于所述安装支架上，所述喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，所述喷淋管路用于通过所述喷淋孔对所述待清洗件与所述承载装置接触的区域进行清洗。本技术采用的技术方案能够达到以下有益效果：本申请公开的喷淋装置可以喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋管路安装在安装支架上，且喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，在喷淋管路中通入清洗液体的情况下，清洗液体可以自喷淋孔被喷出，以借助自喷淋孔喷出的喷淋液体对待清洗件与承载装置接触的区域进行清洗，使得待清洗件与承载装置相互接触的区域也能够被清洗得更为彻底，提升待清洗件的良品率。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例公开的喷淋装置的结构示意图；图2为本技术实施例公开的喷淋装置中喷淋管路的放大示意图；图3为本技术实施例公开的喷淋装置在另一方向上的结构示意图；图4为本技术实施例公开的喷淋装置的使用状态示意图；图5为本技术实施例公开的喷淋装置在另一方向上的使用状态示意图；图6为本技术实施例公开的喷淋装置中局部结构的放大图。附图标记说明：100-安装支架、110-第一架体、120-第二架体、130-第三架体、140-弹性固定圈、141-拆装口；210-进液管、220-第一出液管、230-第二出液管、231-第二喷淋孔；300-通断阀；400-流量控制阀；500-承载装置；600-待清洗件。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。以下结合附图，详细说明本技术各个实施例公开的技术方案。如图1-图6所示，本技术公开一种喷淋装置，喷淋装置可以安装在清洗机上。喷淋装置包括安装支架100和喷淋管路，喷淋装置在通入纯水等清洁液体时，可以对放置在承载装置上的硅片等待清洗件600进行清洗，承载装置具体可以为花篮。其中，安装支架100可以采用塑料、木头或金属等材料制成，其尺寸和结构可以根据喷淋管路的结构对应设计，以为喷淋管路提供稳定的支撑作用。喷淋管路安装在安装支架100上，可以防止喷淋装置工作过程中，因出现喷淋管路运动等情况，而影响清洗工作的正常进行。具体地，喷淋管路可以采用塑料或金属等材料制成，其管径可以根据实际需求确定。可选地，喷淋管路为硬质结构件，这可以进一步防止喷淋管路在工作过程中出现位置移动的情况。喷淋管路可以通过绑带或金属丝等固定在安装支架100上，或者，在喷淋管路与安装支架100均采用金属材料制成的情况下，还可以通过焊接等方式将喷淋管路固定在安装支架100上。再比如，还可以借助固定件使喷淋管路可靠地被安装在安装支架100上。喷淋管路设有至少一个喷淋孔，在清洗工作过程中，纯水等清洁液体可以通入送至喷淋管路中，随着清洁液体的持续输入，清洁液体可以自喷淋孔被喷出，以对待清洗件600与承载装置500接触的区域进行清洗。可选地，在布设喷淋装置的过程中，可以根据喷淋管路上喷淋孔所在的位置，对应选定喷淋管路与待清洗件600的相对位置，以保证自喷淋孔中喷出的清洗液体能够被喷淋至待清洗件600与承载装置500接触的区域。例如，喷淋孔的数量可以为多个，且使多个喷淋孔均位于喷淋管路的上侧，多个喷淋孔沿喷淋管路间隔分布，在借助上述结构的喷淋装置对待清洗件600进行清洗工作时，可以将喷淋管路固定在待清洗件600的下方，且根据待清洗件600与承载装置500相互接触的位置，将喷淋管路固定在某一固定位置，保证喷淋孔喷出的清洁液体基本均可以喷淋至待清洗件600上，完成对待清洗件600的清洗工作，尤其是对待清洗件600与承载装置500相互接触的区域。具体地，喷淋孔可以采用钻加工或扎孔等工艺形成，喷淋孔的孔径和数量可以根据液压和喷淋距离等实际因素确定。可选地，喷淋孔的数量与单次清洗的待清洗件600的数量相同，且根据支撑在承载装置500上的多个待清洗件600中相邻的两个待清洗件600之间的间距，确定相邻的两个喷淋孔之间的间距，这使得多个喷淋孔能够与多个被清洗的待清洗件600一一对应，保证多个待清洗件600的被清洗效果均相对较好。需要说明的是，喷淋孔位于喷淋管路的上侧指的是，在喷淋管路处于正常工作状态时，喷淋孔的轴线所在的方向为重力方向，从而在清洗待清洗件600的过程中，可以将喷淋装置放置在盛放待清洗件600的承载装置500的下方，使自喷淋孔喷出的清洗液体可以喷向位于喷淋管路上方的承载装置500，以对放置在承载装置500上的待清洗件600进行清洗。另外，在待清洗件600的清洗过程中，通常可以将盛放有待清洗件600的承载装置500放置在水池中，在这种情况下，本申请公开的喷淋装置也可以被放置在水池的底部，自喷淋孔被喷出的清洗液体可以提升水池内的清洗液体的流动性，通过将喷淋装置放置在待清洗件600与承载装置500相互接触的区域周围，也能够保证待清洗件600可以被清洗得更为彻底，提升待清洗件600的良品率。进一步地，喷淋管路包括进液管210和出液管，进液管210的一端设有进液口，出液管的一端为封堵端，进液管210的另一端与出液管的另一端连通，各喷淋孔均位于出液管。可选地，喷淋孔的数量为多个，出液管为直管结构件，以使出液管上的多个喷淋孔与待清洗件600之间的间距基本相同，保证多个喷淋孔喷出的清洗液体对不同位置处的待清洗件600的清洗效果也基本相同。另外，在出液管为直管结构件的情况下，还便于出液管的安放工作的进行。出液管安装在安装支架100上，进液管210向出液管背离安装支架100的方向延伸，这使得进液管210的布置难度相对较本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，其特征在于，包括安装支架(100)和喷淋管路，所述喷淋管路安装于所述安装支架(100)上，所述喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，所述喷淋管路用于通过所述喷淋孔对所述待清洗件与所述承载装置接触的区域进行清洗。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，其特征在于，包括安装支架(100)和喷淋管路，所述喷淋管路安装于所述安装支架(100)上，所述喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，所述喷淋管路用于通过所述喷淋孔对所述待清洗件与所述承载装置接触的区域进行清洗。


2.根据权利要求1所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管路包括进液管(210)和出液管，所述进液管(210)的一端设有进液口，所述出液管的一端为封堵端，所述进液管(210)的另一端与所述出液管的另一端连通，各所述喷淋孔均位于所述出液管，所述出液管安装于所述安装支架(100)上，所述进液管(210)向所述出液管背离所述安装支架(100)的方向延伸。


3.根据权利要求2所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述出液管包括第一出液管(220)和第二出液管(230)，所述第一出液管(220)和所述第二出液管(230)平行设置且均位于所述承载装置的外面，所述第一出液管(220)和所述第二出液管(230)之间通过连接管路连通，所述进液管(210)的所述另一端与所述连接管路的一端连通。


4.根据权利要求3所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，多个所述喷淋孔包括设置于所述第一出液管(220)的第一喷淋孔和设置于所述第二出液管(230)的第二喷淋孔(231)，所述第一喷淋孔与所述第二喷淋孔(231)相对于所述待清洗件的中轴线对称设置。


5.根据权利要求3所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，多个所述喷淋孔包括设置于所述第一出液管(220)的第一喷淋孔和设置于所述第二出液管(230)的第二喷淋孔(231)，所述第一喷淋孔位于所述第一出液管(220)靠近所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王笑非，初国超，李岩，王智，赵宏宇，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11