一种高压放电等离子体源的自动清洁设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种高压放电等离子体源的自动清洁设备，涉及废气处理技术领域。包括：等离子产生体、高压电流表、高压等离子体电源、控制器、感应加热电源和湿度传感器；其中，控制器根据湿度传感器、高压电流表和高压等离子体电源的参数，控制感应加热电源对等离子产生体进行加热。本发明专利技术实现了对高压放电等离子体源的高效、及时、安全的自动清洁，从而保证高压放电等离子体设备的长期稳定工作。

【技术实现步骤摘要】
一种高压放电等离子体源的自动清洁设备
本技术涉及废气处理
，具体而言，涉及一种一种高压放电等离子体源的自动清洁设备及控制系统。
技术介绍
随着社会的发展，人类生活水平的提高，人类活动所造成的环境污染日趋严重。人类每年所排放的VOCs的量也逐年增多，严重影响了人们的健康，VOCs的污染控制已刻不容缓。等离子技术作为一种处理VOCs的高新技术，以其能耗低、效率高、设备简单等优点，受到人们的广泛关注。等离子体的发生技术主要有：直流电晕放电法和脉冲电晕放电法。然而，直流电晕放电法和脉冲电晕放电法的低温等离子废气处理设备在处理VOCs时，普遍存在两个问题：(1)废气湿度大时电极上的放电状态会从辉光放电(产生等离子体)变成了电弧放电，等离子体产生率大大下降，同时电流急剧增大，容易损坏高压电源；(2)等离子体高压放电电极容易沉积废气处理的中间产物，形成结焦层，影响等离子产生，进而因焦油层燃烧而导致的火灾。
技术实现思路
本技术的目的在于，针对上述现有技术中等离子废气处理设备的不足，提供一种高压放电等离子体源的自动清洁方法及装置，以解决现有技术中低温等离子废气处理设备在处理VOCs时存在净化效率低以及安全性差的问题。为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案如下：第一方面，本技术实施例提供了一种高压放电等离子体源的自动清洁设备，其特征在于，包括：等离子产生体、高压电流表、高压等离子体电源、控制器、感应加热电源和湿度传感器；其中，所述控制器根据所述湿度传感器、所述高压电流表和所述高压等离子体电源，控制所述感应加热电源对所述等离子产生体进行加热。优选的，所述感应加热电源采用电感应加热方式加热。优选的，所述等离子产生体表面设置有不锈钢管。优选的，若所述高压等离子体电压处于第一阈值范围内，且所述高压电流表电流小于第二阈值，所述控制器控制所述感应加热电源进行一次加热。优选的，若所述湿度传感器数值大于或等于第三阈值，所述控制器控制所述感应加热电源进行加热至预设温度。本技术的有益效果是：一种高压放电等离子体源的自动清洁设备，涉及废气处理
包括：等离子产生体、高压电流表、高压等离子体电源、控制器、感应加热电源和湿度传感器；其中，所述控制器根据所述湿度传感器、所述高压电流表和所述高压等离子体电源，控制所述感应加热电源对所述等离子产生体进行加热。也就是说，本技术过对等离子体电极的各项参数的测量结果与阈值比对，从而基于控制器控制感应加热电源对等离子体进行加热，实现了对高压放电等离子体源的高效、及时、安全的自动清洁，从而保证高压放电等离子体设备的长期稳定工作。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。图1为本技术一实施例提供的高压放电等离子体源的自动清洁设备装示意图。图标：1-等离子产生体、2-高压电流表、3-高压等离子体电源、4-控制器、5-感应加热电源和6-湿度传感器。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。这里，对本技术中的相关名词进行解释：等离子体：是处于电离状态的气体，又叫做电浆，等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性。它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。图1为本技术一实施例提供的高压放电等离子体源的自动清洁设备示意图，对本技术实施例所提供的高压放电等离子体源的自动清洁设备进行详细说明。图1为本技术一实施例提供的高压放电等离子体源的自动清洁设备示意图，如图1所示，该高压放电等离子体源的自动清洁设备，包括：等离子产生体1、高压电流表2、高压等离子体电源3、控制器4、感应加热电源5和湿度传感器6。其中，控制器根据湿度传感器、高压电流表和高压等离子体电源，控制感应加热电源对等离子产生体进行加热。等离子体的放电原理：利用微波电子回旋共振(ECR)技术来维持对反应气体的辉光放电，对控制薄膜的成分和镀膜内应力的较为灵活，它具有运行气压低(10-1Pa量级)、等离子体密度高(1011～1012cm-3)、电离度高(约10％)、反应粒子活性高、离子能量低、无高能粒子损伤、且无内电极放电、没有污染、磁场约束、减少等离子体与反应室壁的相互作用、薄膜杂质含量少等许多其它工艺无法相比的优点，因而具有低温下制备均匀、致密、光滑、纯净的高品质功能性薄膜的巨大潜力。高压电流表2与等离子产生体1的正极连接，用于测量等离子体电极上产生的电流；高压等离子体电源3的一个电极与高压电流表2连接，高压等离子体电源3的另一个电极与等离子产生体1的一端连接，用于测量等离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高压放电等离子体源的自动清洁设备，其特征在于，包括：等离子产生体、高压电流表、高压等离子体电源、控制器、感应加热电源和湿度传感器；/n其中，所述控制器根据所述湿度传感器、所述高压电流表和所述高压等离子体电源的参数，控制所述感应加热电源对所述等离子产生体进行加热。/n

【技术特征摘要】
1.一种高压放电等离子体源的自动清洁设备，其特征在于，包括：等离子产生体、高压电流表、高压等离子体电源、控制器、感应加热电源和湿度传感器；
其中，所述控制器根据所述湿度传感器、所述高压电流表和所述高压等离子体电源的参数，控制所述感应加热电源对所述等离子产生体进行加热。


2.根据权利要求1所述的高压放电等离子体源的自动清洁设备，其特征在于，所述感应加热电源采用电感应加热方式加热。


3.根据权利要求1所述的高压放电等离...

【专利技术属性】
技术研发人员：马中发，王露，阮俞颖，
申请(专利权)人：陕西青朗万城环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61