具有高温脱附的控制系统及其方法技术方案

一种具有高温脱附的控制系统及其方法，主要当通过该浓度探测仪器进行探测所排放浓度的数值，且超过预设值时，则通过该可程序控制器发出信号给第二温度控制系统的第二温度控制器，让该第二温度控制器能启动该第二加热装置进行升温加热，并将通过该第一热气输送管路所输送的高温热气能通过与该第一热气输送管路所连接的一第一热气旁通管路来输送到该第二加热装置内再加热，再通过该第二热气输送管路来将加热后的高温热气输送至该吸附转轮的高温脱附区进行高温脱附，从而使所探测的排放浓度的数值能达到预设值内，而具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果。

【技术实现步骤摘要】
具有高温脱附的控制系统及其方法
本专利技术涉及一种具有高温脱附的控制系统及其方法，尤其涉及一种具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。目前在厂区安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备大多采用吸附转轮方式来吸附挥发性有机气体(VOC)，但在使用一段时间后，常有高沸点物质不易脱附而残留在吸附转轮上，直接影响了吸附转轮的吸附效能，因此，目前处理方式都是委托外面专业厂商来定期进行洗涤吸附转轮，以确保吸附转轮的运作效率和气流流畅度。另外，在处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备中进入吸附转轮的脱附温度大多是先设定好，一方面是确保进入吸附转轮的脱附温度能达到脱附的效能，另一方面则是保护吸附转轮的运转功能，但是，在吸附转轮的长期运转下，必须要长期监控脱附温度，当温度太高时需要降低温度，当温度太低时需要提升温度，否则容易造成脱附效能降低，使得由该烟囱所排放的浓度上升，进而达不到原来所设定的处理效率。因此，本专利技术人有鉴于上述缺陷，期望能提出一种具有自动调控温度的效能的具有高温脱附的控制系统及其方法，令使用者可轻易操作组装，是潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本专利技术人所欲研发的专利技术动机。
技术实现思路
本专利技术的主要目的，在于提供一种具有高温脱附的控制系统及其方法，主要当通过该浓度探测仪器进行探测所排放浓度的数值，且超过预设值时，则通过该可程序控制器发出信号给第二温度控制系统的第二温度控制器，让该第二温度控制器能启动该第二加热装置进行升温加热，并将通过该第一热气输送管路所输送的高温热气能通过与该第一热气输送管路所连接的一第一热气旁通管路来输送到该第二加热装置内再加热，再通过该第二热气输送管路来将加热后的高温热气输送至该吸附转轮的高温脱附区进行高温脱附，从而使所探测的排放浓度的数值能达到预设值内，而具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果，进而增加整体的实用性。本专利技术的另一目的，在于提供一种具有高温脱附的控制系统及其方法，通过该浓度探测仪器设有一第一探测管线及一第二探测管线，而该第一探测管线及第二探测管线具有两种的实施方式，其中第一种实施方式是该第一探测管线与该废气进气管路连接，而该第二探测管线与该烟囱连接，以能探测该废气进气管路内的有关碳氢化合物的浓度的数值，以及经过处理后要从烟囱所排放的碳氢化合物的浓度的数值。另外第二种实施方式是该第一探测管线与该废气进气管路连接，该第二探测管线与该净气排放管路连接，以能探测该废气进气管路内的有关碳氢化合物的浓度的数值，以及经过该吸附转轮的吸附区吸附后所经过该净气排放管路内的碳氢化合物的浓度的数值。从而，将未经过处理的碳氢化合物的浓度的数值与该经过处理后的碳氢化合物的浓度的数值进行判断，以作为启动该第二加热装置进行升温加热的依据，让通过该第一热气输送管路所连接的第一热气旁通管路输送过来的高温热气能进行升温加热，再送入该吸附转轮的高温脱附区进行高温脱附，且通过将进入高温脱附区的高温热气能再提升到一定温度(例如300℃)，使该吸附转轮能拥有更高温度的热气的输入，让整体的处理效能由以往的95％提升至97％以上，进而增加整体的使用性。本专利技术的再一目的，在于提供一种具有高温脱附的控制系统及其方法，通过该脱附浓缩气体管路设有一脱附浓缩控制阀门，及该第一热气旁通管路设有一第一热气旁通控制阀门，以能形成比例风门，让该脱附浓缩控制阀门及该第一热气旁通控制阀门能调控进出的风量，使当经过处理后的碳氢化合物的浓度的数值达到预设值时，就调整该脱附浓缩控制阀门的出风量大一些，且该第一热气旁通控制阀门的出风量则少一点，让通过该第一热气旁通控制阀门来进入该第二加热装置的高温热气能减少，反之，当经过处理后的碳氢化合物的浓度的数值未达到预设值时，就调整该脱附浓缩控制阀门的出风量小一些，且该第一热气旁通控制阀门的出风量则多一点，让通过该第一热气旁通控制阀门来进入该第二加热装置的高温热气能增多，借此，具有自动调控风量的效能，以达到高温脱附的效果，进而增加整体的操作性。为了能够更进一步了解本专利技术的特征、特点和
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本专利技术。附图说明图1为本专利技术的实施方式的主要步骤流程图；图2为本专利技术的第一种实施结构的系统结构示意图；图3为本专利技术的第一种实施结构的另一系统结构示意图；图4为本专利技术的第二种实施结构的系统结构示意图；图5为本专利技术的第二种实施结构的另一系统结构示意图。【附图标记说明】A、一侧B、另一侧10、焚烧装置101、蓄热式焚烧炉11、入口12、出口20、吸附转轮201、吸附区202、冷却区203、脱附区204、高温脱附区21、废气进气管路211、废气连通管路2111、废气连通控制阀门22、净气排放管路221、风机23、冷却气进气管路24、冷却气输送管路25、第一热气输送管路26、第二热气输送管路27、脱附浓缩气体管路271、风机272、脱附浓缩控制阀门28、高温脱附浓缩气体管路29、第一热气旁通管路291、第一热气旁通控制阀门30、第一加热装置40、第二加热装置50、第一温度控制系统51、第一温度计52、第一温度控制器60、第二温度控制系统61、第二温度计62、第二温度控制器70、可程序控制器80、浓度探测仪器81、第一探测管线82、第二探测管线90、烟囱S100、输入待吸附的气体S110、输入用来冷却的气体S120、输送高温热气进行脱附S130、探测所排放浓度的数值S140、启动第二加热装置升温S150、进入高温脱附区再脱附具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术作进一步的详细说明。请参阅图1～5，为本专利技术实施例的示意图，而本专利技术的具有高温脱附的控制系统及其方法的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理，通过本专利技术的设计，以使所探测的排放浓度的数值能达到预设值内，而具有自动调控温度的效能，以增加挥发性有机废气的处理效率，并达到减少污染物排放的效果。而本专利技术的具有高温脱附的控制系统，主要通过一焚烧装置10、一吸附转轮20、一第一加热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有高温脱附的控制系统，包括：/n一焚烧装置；/n一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接，该脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置连接，该高温脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的一侧连接，该高温脱附浓缩气体管路的另一端与该脱附浓缩气体管路连接；/n一第一加热装置，该冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接，该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接；/n一第二加热装置，该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路，该第一热气旁通管路的另一端与该第二加热装置连接，该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接；/n一第二温度控制系统，该第二温度控制系统与该第二加热装置进行连接，该第二温度控制系统设有一第二温度计及一第二温度控制器，该第二温度计的一端与该第二热气输送管路连接，该第二温度计的另一端与该第二温度控制器电性连接；/n一可程序控制器，该可程序控制器与该第二温度控制系统的第二温度控制器电性连接；/n一浓度探测仪器，该浓度探测仪器与该可程序控制器电性连接；以及/n一烟囱，该净气排放管路的另一端与该烟囱连接。/n...

【技术特征摘要】
20191009 TW 1081365901.一种具有高温脱附的控制系统，包括：
一焚烧装置；
一吸附转轮，该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区，该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路，该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧，该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接，该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接，该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接，该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接，该第二热气输送管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接，该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接，该脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置连接，该高温脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的一侧连接，该高温脱附浓缩气体管路的另一端与该脱附浓缩气体管路连接；
一第一加热装置，该冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接，该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接；
一第二加热装置，该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路，该第一热气旁通管路的另一端与该第二加热装置连接，该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接；
一第二温度控制系统，该第二温度控制系统与该第二加热装置进行连接，该第二温度控制系统设有一第二温度计及一第二温度控制器，该第二温度计的一端与该第二热气输送管路连接，该第二温度计的另一端与该第二温度控制器电性连接；
一可程序控制器，该可程序控制器与该第二温度控制系统的第二温度控制器电性连接；
一浓度探测仪器，该浓度探测仪器与该可程序控制器电性连接；以及
一烟囱，该净气排放管路的另一端与该烟囱连接。


2.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该浓度探测仪器进一步设有一第一探测管线及一第二探测管线，该第一探测管线与该废气进气管路连接，该第二探测管线与该烟囱连接。


3.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该浓度探测仪器进一步设有一第一探测管线及一第二探测管线，该第一探测管线与该废气进气管路连接，该第二探测管线与该净气排放管路连接。


4.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该脱附浓缩气体管路进一步设有一脱附浓缩控制阀门，以控制该脱附浓缩气体管路的风量。


5.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该第一热气旁通管路进一步设有一第一热气旁通控制阀门，以控制该第一热气旁通管路的风量。


6.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该第一加热装置进一步与一第一温度控制系统连接，该第一温度控制系统设有一第一温度计及一第一温度控制器，该第一温度计的一端与该第一热气输送管路连接，该第一温度计的另一端与该第一温度控制器电性连接。


7.如权利要求6所述的具有高温脱附的控制系统，其中该第一温度控制器进一步与该可程序控制器电性连接。


8.如权利要求6所述的具有高温脱附的控制系统，其中该第一温度控制系统的第一温度控制器进一步与该第一加热装置相互传递信号。


9.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该第二温度控制系统的第二温度控制器进一步与该第二加热装置相互传递信号。


10.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该焚烧装置进一步为直燃式焚烧炉(TO)、触媒炉或蓄热式焚烧炉(RTO)的其中之一。


11.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该蓄热式焚烧炉(RTO)设有入口及出口，该入口与该脱附浓缩气体管路连接，该出口则连接至该烟囱。


12.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该第一加热装置与该第二加热装置进一步为加热器、管道加热器或热交换器的其中之一，该加热器采用电热丝、电热管或电热片的其中之一，该管道加热器采用气体燃料或液体燃料的其中之一。


13.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该废气进气管路进一步设有一废气连通管路，该废气连通管路与该冷却气进气管路连接，该废气连通管路进一步设有一废气连通控制阀门，以控制该废气连通管路的风量。


14.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该脱附浓缩气体管路进一步设有一风机。


15.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统，其中该净气排放管路进一步设有一风机。


16.一种具有高温脱附的控制方法，设...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，李政逊，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，上海华懋环保节能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71