喷嘴及基板清洗装置制造方法及图纸

提供一种喷嘴及基板清洗装置，以提高将包含微小气泡的液体向基板喷洒时的均匀性。喷嘴具备：中空的壳体；以及多个板材，该多个板材设置于该壳体内，并将所述中空划分为多个空间，在该壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被该板材划分出的空间中的最上方的空间连通，在各该板材设置有多个贯通孔，在该壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴及基板清洗装置与关联申请的相互参照本申请主张2019年10月4日申请的日本专利申请第2019-183439号及2020年8月20日申请的日本国专利申请第2020-139153号的优先权，并通过参照编入其全部内容。
本技术涉及一种喷嘴及基板清洗装置。
技术介绍
生成微小气泡(例如，微气泡)的喷嘴被使用于基板处理工序。例如，在国际公开WO2011/052111中，对于四边形状的基板，在头主体配置多个圆筒形状的喷射喷嘴，并将该喷射喷嘴相对于基板的移动方向垂直地配置，从而从喷射喷嘴向基板喷洒臭氧微气泡水。专利技术所要解决的技术问题但是，由于喷射喷嘴等间隔配置，因此存在在喷射喷嘴间产生空白区域，从而无法实现将包含微小气泡(例如，微气泡)的液体均匀地喷洒到喷洒对象物(例如基板)上这样的问题。
技术实现思路
本技术是鉴于上述问题而做出的，希望提供一种能够提高将包含微小气泡的液体向喷洒对象物(例如基板)喷洒时的均匀性的喷嘴及基板清洗装置。一实施方式的喷嘴生成微小气泡，具备：中空的壳体；以及多个板材，该多个板材设置于所述壳体内，并将所述壳体内划分为多个空间，在所述壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被所述板材划分出的空间中的最上方的空间连通，在各所述板材设置有多个贯通孔，在所述壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。一实施方式的基板清洗装置具备上述所记载的喷嘴。附图说明图1A是第一实施方式的基板清洗装置的概略结构图。图1B是第一实施方式的喷嘴的概略立体图。图2A是取下配管4的情况下的喷嘴1的概略立体图。图2B是图2A的箭头A1的向视图。图2C是图2A的纵截面B的剖视图。图2D是第一实施方式的第一变形例的纵剖视图。图2E是第一实施方式的第二变形例的纵剖视图。图2F是表示垫片184b、194b为分开的部件的情况下，第一实施方式的第二变形例的喷嘴1a2的一部分的组装工序的示意图。图2G是表示垫片184b、194b是一体物的情况下，第一实施方式的第二变形例的喷嘴1a2的一部分的组装工序的示意图。图3A是板材21的俯视图的一例。图3B是板材22的俯视图的一例。图3C是板材23的俯视图的一例。图3D是用于说明狭缝16的实现方法的其他例的图。图4A是表示液体从第一实施方式的喷嘴被排出的状态的示意图。图4B是被排出的液体的图样。图5是表示从第一实施方式的喷嘴向基板排出包含微小气泡的液体的状态的示意图。图6是表示从第一实施方式的喷嘴向基板排出包含微小气泡的液体的状态示意图。图7A是变形例1的板材21b的俯视图。图7B是变形例1的板材22b的俯视图。图7C是变形例1的板材23b的俯视图。图8A是变形例2的板材21c的俯视图。图8B是变形例2的板材22c的俯视图。图8C是变形例2的板材23c的俯视图。图9A是第二实施方式的喷嘴的概略立体图。图9B是图9A的纵截面C的剖视图。图10是第三实施方式的喷嘴的概略立体图。图11A是第四实施方式的喷嘴的概略立体图。图11B是图11A的纵截面D的剖视图。图12A是第五实施方式的喷嘴的概略立体图。图12B是图12A的纵截面E的剖视图。图13A是第六实施方式的喷嘴的概略立体图。图13B是第六实施方式的变形例的喷嘴的概略立体图。图14是第一比较例的喷嘴的概略立体图与表示向基板上的喷洒模式的图。图15是第二比较例的喷嘴的概略立体图。图16是第三比较例的喷嘴的概略立体图。图17是第四比较例的喷嘴的概略立体图。符号说明1、1a1、1a2、1b、1c、1d、1e、1f喷嘴10基板清洗装置100喷嘴101头管102微气泡发生喷嘴110喷嘴111微气泡发生喷嘴112头管120喷嘴121微气泡发生喷嘴122臂部件123支柱130喷嘴131微气泡发生喷嘴132臂部件133支柱15流入口16狭缝17、17a、17b、17d、17g壳体171、171a、171b顶板部件175、175a、175b支承部件181、182、183、184、181a、182a、183a、184a、181b、182b、183b、184b垫片191、192、193、194、191a、192a、193a、194a、191b、192b、193b、194b垫片2臂部件21、21a、21b、21c板材22、22a、22b、22c板材23、23a、23b、23c板材3支柱4配管41电热部件5配线51红外线照射器52臂部件6配管7配管71流路形成部件8生成器81头管82微小气泡生成喷嘴83开口85狭缝86整流单元86g整流单元9支承部件具体实施方式以下，在各实施方式中，参照附图进行说明。但是，存在省略不必要的详细的说明的情况。例如，存在省略对已知事项的详细说明、对实质上相同的结构的重复说明的情况。这是为了避免以下的说明变得不必要的冗长，而使本领域技术人员容易理解。一实施方式的第一形态的喷嘴生成微小气泡，并具备：中空的壳体；以及多个板材，该多个板材设置于所述壳体内，并将所述壳体内划分为多个空间，在所述壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被所述板材划分出的空间中的最上方的空间连通，在各所述板材设置有多个贯通孔，在所述壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。根据该结构，通过板材而被气液分离的液体与气体气泡在通过各板材的过程中，其气泡尺寸被微小化，在到达被板材划分出的空间中的最下方的空间时，生成了包含微小气泡的液体。该包含微小气泡的液体经由狭缝被排出。由此，能够提高将包含微小气泡的液体向喷洒对象物(例如基板)喷洒时的均匀性。一实施方式的第二形态的喷嘴是在第一形态的喷嘴中，所述板材是多个，在多个板材中的与第一板材相比设置于下方的第二板材中，贯通孔的数量比第一板材的贯通孔的数量多，及/或贯通孔的大小小于等于第一板材的贯通孔的大小。根据该结构，能够使气泡尺寸微小化。一实施方式的第三形态的喷嘴，是在第一或第二形态的喷嘴中，具备加热单元，该加热单元对所述壳体或所述气体溶解液进行加热。根据该结构，通过对向喷洒对象物(例如基板)喷洒之前的液体进行加热而有意地降低气体溶解度，从而促进了气泡的生成。另外，根据该结构，向喷嘴供给之前的气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种喷嘴，生成微小气泡，该喷嘴的特征在于，具备：/n中空的壳体；以及/n多个板材，该多个板材设置于所述壳体内，并将所述壳体内划分为多个空间，/n在所述壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被所述板材划分出的空间中的最上方的空间连通，/n在各所述板材设置有多个贯通孔，/n在所述壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。/n

【技术特征摘要】
20191004 JP 2019-183439;20200820 JP 2020-1391531.一种喷嘴，生成微小气泡，该喷嘴的特征在于，具备：
中空的壳体；以及
多个板材，该多个板材设置于所述壳体内，并将所述壳体内划分为多个空间，
在所述壳体的上表面或侧面设置有流入口，该流入口供气体溶解液流入且与被所述板材划分出的空间中的最上方的空间连通，
在各所述板材设置有多个贯通孔，
在所述壳体的下表面设置有狭缝，该狭缝与被所述板材划分出的空间中的最下方的空间连通。


2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，
所述板材是多个，
在多个板材中的与第一板材相比设置于下方的第二板材中，贯通孔的数量比第一板材的贯通孔的数量多，及/或贯通孔的大小小于等于第一板材的贯通孔的大小。


3.根据权利要求1或2所述的喷嘴，其特征在于，
具备加热单元，该加热单元对所述壳体或所述气体溶解液进行加热。


...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川洋一，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP