一种用于显示基板的激光修复装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于显示基板的激光修复装置，包括工作平台，用于放置显示基板，在工作平台的一侧安装第一导轨；安装支架，连接第一导轨，在安装支架上还开设有第二导轨，第二导轨第一导轨交叉设置；激光部，置于显示基板上方，并与第二导轨相连接，激光部包括用于短路修复的第一激光元件，第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器，选择其一发生的激光光束作为第一波长激光，在相同能量下，第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于第二激光发生器所发生的第二激光光束具备更短脉宽。本实用新型专利技术的激光修复装置只对包含短路缺陷的局部区域修复，防止像素整体受到损伤，改善显示基板的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于显示基板的激光修复装置
本技术涉及一种用于显示基板的激光修复装置。
技术介绍
以画面形式显示多种信息的图像显示装置作为信息通信时代的核心技术，正在向更薄、更轻、可携带、并具有高性能的方向发展。近年来，追求空间性、便利性的可弯曲的柔性显示器，而在显示器中，控制有机发光层发光量的显示基板备受瞩目。显示基板在制造过程中一旦出现缺陷，则废弃，导致制造单价上升。为了解决这样的问题，一直在试图修复制造过程中产生的缺陷，提高收率，减少制造单价。而，目前所使用的修复方法仅采用单一特性的激光光束照射基板，对短路缺陷进行修复，使得基板上正常薄膜层也被照射到激光光束，导致像素整体损伤。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种用于显示基板的激光修复装置，用于解决上述现有技术中的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种用于显示基板的激光修复装置，包括：工作平台，用于放置显示基板，在所述工作平台的一侧安装第一导轨，所述第一导轨沿第一方向延伸；安装支架，连接所述第一导轨，在所述安装支架上还开设有第二导轨，所述第二导轨沿与第一方向交叉的第二方向延伸；激光部，置于所述显示基板上方，并与所述安装支架的第二导轨相连接，所述激光部包括用于短路修复的第一激光元件，第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器，所述第一激光元件选择所述第一激光发生器或所述第二激光发生器的激光光束作为第一波长激光，在相同能量下，所述第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于所述第二激光发生器所发生的第二激光光束具备更短脉宽。于本技术的一实施例中，所述第一激光发生器是飞秒脉冲器，所述第二激光发生器是皮秒脉冲器。于本技术的一实施例中，所述第一波长激光的激光光束形状为长方形。于本技术的一实施例中，所述激光部还包括用于异物修复的第二激光元件。于本技术的一实施例中，所述第二激光元件所发生的第二波长激光相较于所述第一激光光束发生器具备更短脉宽。于本技术的一实施例中，所述第二波长激光的激光光束为长方形。于本技术的一实施例中，所述第一激光元件还包括：第一反射镜，配置在所述第一激光光束的移动路径上，所述第一反射镜将所述第一激光光束引导至第二反射镜；所述第二反射镜，配置在所述第二激光光束的移动路径上，将所述第二激光光束引导至第一物镜；所述第一物镜，将所述第一激光光束或所述第二激光光束汇聚至所述显示基板。于本技术的一实施例中，所述第二激光元件包括第三激光发生器和第二物镜，所述激光发生器发生所述第二波长激光，所述第二物镜将所述第二波长激光汇聚至所述显示基板。于本技术的一实施例中，在所述第一物镜和所述第二反射镜之间配置有用于调整第一波长激光光束形状的第一光束调整装置。于本技术的一实施例中，在所述第三激光发生器和所述第二物镜之间配置有用于调整第二波长激光光束形状的第二光束调整装置。如上所述，本技术的用于显示基板的激光修复装置，可以只对包含缺陷的局部区域进行修复，可以防止包含缺陷的像素整体受到损伤，改善显示基板的质量。附图说明图1显示为本技术的显示基板的结构示意图。图2显示为图1中发生短路缺陷的区域放大图。图3显示为图1中短路修复的示意图。图4显示为通过短路修复后的显示基板的截面示意图。图5显示为短路修复中第一波长激光倾斜切割的示意图。图6显示为图1中发生异物缺陷的区域放大图。图7显示为图6中异物修复的示意图。图8显示为异物修复中第二波长激光的照射示意图。图9显示为本技术用于显示基板修复的激光修复装置的立体示意图。图10显示为激光修复装置于一实施例中的结构示意图。图11显示为激光修复装置于另一实施例中的结构示意图。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。参考图3至图8，本实施例中的显示基板的激光修复方法，根据显示基板100所包含的缺陷的种类，通过调节激光光束的脉宽进行缺陷修复，在本实施例中，修复方法包括短路修复阶段和异物修复阶段。需要说明的是，在进行缺陷修复之前，需先对缺陷种类进行识别。在本实施例中，薄膜晶体管基板的缺陷包含短路缺陷和异物缺陷。其中，图3所示的缺陷种类为短路缺陷，短路缺陷是在不同应该断开的信号线之间出现搭接部分41形成的短路状态，例如，在不同的栅极扫描线1或不同的数据线20(可以是源极22和漏极21)出现搭接。图6所示的缺陷种类为异物缺陷，异物缺陷是在薄膜层之间不同栅极扫描线1或不同数据线2间引起短路的异物，异物可具有使特定的栅极扫描线1或数据线2不连接的形状，因此，异物42可在第一金属层62、第一绝缘层63、第二金属层64或第二绝缘层65任一薄膜层都可能出现。在本实施例中，缺陷的种类的识别是利用与激光修复装置相连接的获取设备执行，其获取设备是以获取的图像或照明检查装置的结果为基础，同时结合缺陷的形状及以及周边信号线间的连接关系等，确定有缺陷种类为短路缺陷或是异物缺陷。其中，获取设备可以是利用透镜、照相机、照明等组合构成，获取设备根据取得的缺陷及缺陷周边区域的图像得出缺陷种类以及缺陷位置等相关信息，并将相关信息通过有线或无线传输给与之连接的本技术的激光修复装置。如图1和图4所示，显示基板100具有薄膜晶体管基板，薄膜晶体管基板包括玻璃基板61、沉积在玻璃基板上的第一金属层62，第一金属层62形成有多条沿第一方向延伸的栅极扫描线1，同时，第一金属层62的上方还依次设置第一绝缘层63、第二金属层64以及使第二金属层64绝缘的第二绝缘层65，同时，在第二金属层64上层积并形成有多条沿第二方向延伸的数据线2，其中，栅极扫描线1和数据线2交叉形成像素区域，像素区域内设置薄膜晶体管和像素电极3，其中，薄膜晶体管的栅极11、源极22和漏极21分别电性连接栅极扫描线1、像素电极3和数据线2上。短路缺陷发生于位于不同的栅极扫描线1、不同的数据线2之间，或是，在薄膜晶体管的源极22和漏极21之间，短路缺陷主要发生在第一金属层62或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于显示基板的激光修复装置，其特征在于，包括：/n工作平台，用于放置显示基板，在所述工作平台的一侧安装第一导轨，所述第一导轨沿第一方向延伸；/n安装支架，连接所述第一导轨，在所述安装支架上还开设有第二导轨，所述第二导轨沿与第一方向交叉的第二方向延伸；/n激光部，置于所述显示基板上方，并与所述安装支架的第二导轨相连接，所述激光部包括用于短路修复的第一激光元件，/n第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器，所述第一激光元件选择所述第一激光发生器或所述第二激光发生器的激光光束作为第一波长激光，/n在相同能量下，所述第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于所述第二激光发生器所发生的第二激光光束具备更短脉宽。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于显示基板的激光修复装置，其特征在于，包括：
工作平台，用于放置显示基板，在所述工作平台的一侧安装第一导轨，所述第一导轨沿第一方向延伸；
安装支架，连接所述第一导轨，在所述安装支架上还开设有第二导轨，所述第二导轨沿与第一方向交叉的第二方向延伸；
激光部，置于所述显示基板上方，并与所述安装支架的第二导轨相连接，所述激光部包括用于短路修复的第一激光元件，
第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器，所述第一激光元件选择所述第一激光发生器或所述第二激光发生器的激光光束作为第一波长激光，
在相同能量下，所述第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于所述第二激光发生器所发生的第二激光光束具备更短脉宽。


2.根据权利要求1所述的用于显示基板的激光修复装置，其特征在于：所述第一激光发生器是飞秒脉冲器，所述第二激光发生器是皮秒脉冲器。


3.根据权利要求1所述的用于显示基板的激光修复装置，其特征在于：所述第一波长激光的激光光束形状为长方形。


4.根据权利要求1所述的用于显示基板的激光修复装置，其特征在于：所述激光部还包括用于异物修复的第二激光元件。


5.根据权利要求4所述的用于显示基板的激光修复装置，其特征在于：所述第二激光元...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹏程，凌步军，袁明峰，孙月飞，赵有伟，滕宇，冯高俊，冷志斌，吕金鹏，
申请(专利权)人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32