一种光桌检查台制造技术

技术编号:27947545 阅读:25 留言:0更新日期:2021-04-02 14:31
本实用新型专利技术公开了一种光桌检查台,包括座台、荧光灯组件、吹气装置以及检查座,座台的上表面开设有第一透光孔,座台内设置有中空结构,检查座放置于座台的上表面,荧光灯组件和吹气装置均安装于中空结构处,荧光灯组件位于检查座的下方并朝检查座的方向照射,吹气装置位于荧光灯组件的下方并朝背对荧光灯组件的一面吹气。本实用新型专利技术通过荧光灯组件朝该检查座照射从而实现对被检查的匀胶铬版打光以便于可以更清晰地观察匀胶铬版的情况,同时,由于吹气装置是朝背对荧光灯组件的一面吹气的,因此可以及时有效地将该荧光灯组件散发的热量排走,使得本实用新型专利技术的光桌检查台可以实现对匀胶铬版进行更高精度的检测。

【技术实现步骤摘要】
一种光桌检查台
本技术涉及匀胶铬版生产的
,具体涉及一种光桌检查台。
技术介绍
随着社会的迅速发展,人们对各种各样的光学制品的需求也越来越大,对于光学制品的质量以及精度要求也越来越高。众所周知,光刻掩膜版(又称光罩),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(IntegratedCircuit,集成电路)、FPD(FlatPanelDisplay,平板显示器)、PCB(PrintedCircuitBoards,印刷电路板)、MEMS(MicroElectroMechanicalSystems,微机电系统)等。因此,对透明基版上覆盖的膜层(以下简称镀膜基版)质量有很高的要求,且生产中属于100%全检模式,而现有的对匀胶铬版进行检查的时候是通过将匀胶铬版放置于桌面上,然后简单地通过人眼对其表面观察检测,不但会使得桌面上的颗粒物粘附于匀胶铬版上从而污染匀胶铬版,且在外界光源不足的情况下容易导致人眼不能很好地对匀胶铬版进行观察。因此,亟需一种光桌检查台来解决上述问题。
技术实现思路
本项技术是针对现在的技术不足,提供一种光桌检查台。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是:一种光桌检查台,包括座台、荧光灯组件、吹气装置以及检查座,所述座台的上表面开设有第一透光孔,所述座台内设置有中空结构,所述检查座放置于所述座台的上表面,所述荧光灯组件和所述吹气装置均安装于所述中空结构处,所述荧光灯组件位于所述检查座的下方并朝所述检查座的方向照射,所述吹气装置位于所述荧光灯组件的下方并朝背对所述荧光灯组件的一面吹气。作进一步改进,所述检查座包括板体以及固定于所述板体上的支撑件,所述支撑件至少有四个,四个所述支撑件围出用于承载匀胶铬版或者另一检查座的放置空间,所述板体上还开设有供所述荧光灯组件穿透用的第二透光孔,所述第二透光孔与所述放置空间相对。作进一步改进,所述第二透光孔的两侧各向外延伸并形成有供取放用的取放孔。作进一步改进,所示支撑件面对所述第二透光孔的一侧向内凹陷形成有与匀胶铬版的角位相对齐的凹陷部。作进一步改进,所述光桌检查台还包括至少四个用于承托所述板体的安装座,所述安装座分别固定于所述第一透光孔的周侧。作进一步改进,所述荧光灯组件包括若干根并排布置的荧光灯管,相邻两根所述荧光灯管之间间隔10毫米。作进一步改进,所述光桌检查台还包括图像采集装置、安装架以及驱动装置,所述安装架和所述驱动装置均固定于所述座台上,所述图像采集装置滑设于所述安装架上,所述驱动装置的输出端与所述图像采集装置连接并驱使该图像采集装置沿所述安装架滑动。作进一步改进,还包括用于遮盖所述取放孔的盖板。作进一步改进,所述凹陷部的外轮廓呈圆形。本技术的有益效果:由于座台的上表面开设有第一透光孔,座台内设置有中空结构,检查座放置于座台的上表面,荧光灯组件和吹气装置均安装于中空结构处,荧光灯组件位于检查座的下方并朝检查座的方向照射,吹气装置位于荧光灯组件的下方并朝背对荧光灯组件的一面吹气,因此在使用本技术的光桌检查台的时候,可以先将检查座放置于座台上,然后通过荧光灯组件朝该检查座照射从而实现对被检查的匀胶铬版打光以便于可以更清晰地观察匀胶铬版的情况,同时,由于吹气装置是朝背对荧光灯组件的一面吹气的,因此可以及时有效地将该荧光灯组件散发的热量排走。下面结合附图与具体实施方式,对本技术进一步说明。附图说明图1为本技术的光桌检查台的结构示意图;图2为本技术的座台的俯视图;图3为本技术的检查座的俯视图;图4为本技术的支撑件的俯视图。图中:100.光桌检查台,10.座台,20.荧光灯组件,30.吹气装置,40.检查座,10a.第一透光孔,10b.中空结构,21.荧光灯管,41.板体,42.支撑件,42a.放置空间,41a.第二透光孔,41b.取放孔,421.凹陷部,70.图像采集装置,80.安装架,90.驱动装置,50.安装座,60.盖板。具体实施方式以下所述仅为本技术的较佳实施例,并不因此而限定本专利技术的保护范围。请参考图1,本技术的光桌检查台100包括座台10、荧光灯组件20、吹气装置30以及检查座40。座台10的上表面开设有第一透光孔10a,座台10内设置有中空结构10b,检查座40放置于座台10的上表面,荧光灯组件20和吹气装置30均安装于中空结构10b处,荧光灯组件20位于检查座40的下方并朝检查座40的方向照射,吹气装置30位于荧光灯组件20的下方并朝背对荧光灯组件20的一面吹气。具体地,荧光灯组件20包括若干根并排布置的荧光灯管21,相邻两根荧光灯管21之间间隔10毫米,通过采用荧光灯管可以实现光源的均匀照射,且通过两根荧光灯管21之间间隔10毫米可以保证光源的强度符合预设要求。请参考图3和图4,检查座40包括板体41以及固定于板体41上的支撑件42。支撑件42至少有四个,四个支撑件42围出用于承载匀胶铬版或者另一检查座40的放置空间42a,板体41上还开设有供荧光灯组件20穿透用的第二透光孔41a,第二透光孔41a与放置空间42a相对。较优的是,第二透光孔41a的两侧各向外延伸并形成有供取放用的取放孔41b,因此当操作人员将另一匀胶铬版放置于支撑件42上的时候,双手可以分别插置于两个取放孔41b内而不会被匀胶铬版压住,更加有利于操作人员的操作。具体地,光桌检查台100还包括至少四个用于承托板体41的安装座50,安装座50分别固定于第一透光孔10a的周侧,因此在实际的使用过程中,可将板体41放置于安装座50上,然后再将匀胶铬版放置于支撑件42上以便于对匀胶铬版进行检测。当然,在其他实施例中,检查座40的数量还可以为两个或者两个以上多个,例如,可将第二个尺寸更小的检查座40的板体41放置于第一个检查座40的支撑件42上,然后将匀胶铬版放置于该第二个尺寸更小的检查座40的支撑件42上,当不限于此。值得注意的是,本技术的光桌检查台100还包括用于遮盖取放孔41b的盖板60,因此在实际使用时可以通过该盖板60遮盖住取放孔41b,以避免荧光灯组件20的光源穿过该取放孔41b而漏光。具体地,安装座50的顶面与座台10的顶面相互平齐,且当板体41放置于安装座50上时,板体41的顶面与座台10相平齐。请参考图4,所示支撑件42面对第二透光孔41a的一侧向内凹陷形成有与匀胶铬版的角位相对齐的凹陷部421。较优的是,凹陷部421的外轮廓呈圆形。因此当将匀胶铬版或者另一板体41放置于支撑件42上时,匀胶铬版或者另一板体41的边角位置与支撑件42之间会有间隙从而不会受损。请参考图1和图2,光桌检查台100还包括图像采集装置70、安装架80以及驱动装置90,安装架80和驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光桌检查台,其特征在于:包括座台、荧光灯组件、吹气装置以及检查座,所述座台的上表面开设有第一透光孔,所述座台内设置有中空结构,所述检查座放置于所述座台的上表面,所述荧光灯组件和所述吹气装置均安装于所述中空结构处,所述荧光灯组件位于所述检查座的下方并朝所述检查座的方向照射,所述吹气装置位于所述荧光灯组件的下方并朝背对所述荧光灯组件的一面吹气。/n

【技术特征摘要】
1.一种光桌检查台,其特征在于:包括座台、荧光灯组件、吹气装置以及检查座,所述座台的上表面开设有第一透光孔,所述座台内设置有中空结构,所述检查座放置于所述座台的上表面,所述荧光灯组件和所述吹气装置均安装于所述中空结构处,所述荧光灯组件位于所述检查座的下方并朝所述检查座的方向照射,所述吹气装置位于所述荧光灯组件的下方并朝背对所述荧光灯组件的一面吹气。


2.根据权利要求1所述的光桌检查台,其特征在于:所述检查座包括板体以及固定于所述板体上的支撑件,所述支撑件至少有四个,四个所述支撑件围出用于承载匀胶铬版或者另一检查座的放置空间,所述板体上还开设有供所述荧光灯组件穿透用的第二透光孔,所述第二透光孔与所述放置空间相对。


3.根据权利要求2所述的光桌检查台,其特征在于:所述第二透光孔的两侧各向外延伸并形成有供取放用的取放孔。


4.根据权利要求2所述的光桌检查台,其特征在于:所示支撑件...

【专利技术属性】
技术研发人员:李由根李娜萧训山
申请(专利权)人:东莞市宏诚光学制品有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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