光学反射元件制造技术

光学反射元件(100)具备：反射体(110)，在第一旋转轴(101)周围旋转摆动；第一连接体(121)，沿着第一旋转轴(101)而被配置，与反射体(110)连结，具有被配置于包含第一旋转轴的位置的槽部；第一振动体(141)，被配置于与第一旋转轴(101)交叉的方向，与第一连接体(121)的基端部连结；第二振动体(142)，被配置于第一旋转轴(101)的相反侧；第一驱动体(151)，与第一振动体(141)连结，使第一振动体(141)振动；第二驱动体(152)，与第二振动体连结；和第二连接体(122)，将第一振动体(141)以及第二振动体(142)相对于第一基体(161)可振动地连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学反射元件
本公开涉及使激光等的照射位置往复运动的光学反射元件。
技术介绍
现有的使激光的照射位置往复运动的光学反射元件例如专利文献1所示，具备：反射体，反射激光等；连接体，与该反射体连接并且自己扭转从而使反射体旋转摆动；两根臂状的振动体，为了使连接体产生往复的扭转而在与反射体的旋转轴交叉的方向延伸；驱动体，具备使这些振动体分别振动的压电元件等。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-244602号公报
技术实现思路
-专利技术要解决的课题-这种光学反射元件相比于通过电机来使多面镜旋转的反射元件小型并且轻型，使反射体旋转摆动的电力也较少。但是，在产生较强振动的车等安装光学反射元件的情况下，干扰振动传递至反射体，不能进行稳定的驱动。因此，本公开的目的在于，提供一种即使在产生干扰振动的情况下也能够稳定地驱动并且耐久性高的光学反射元件。-解决课题的手段-为了达成上述目的，作为本申请专利技术之一的光学反射元件具备：反射体，以第一旋转轴为中心而旋转摆动，对光进行反射；第一连接体，沿着所述第一旋转轴而被配置，前端部与所述反射体连结，具有被配置于包含所述第一旋转轴的位置的槽部；第一振动体，在与所述第一旋转轴交叉的方向延伸，与所述第一连接体的基端部连结；第二振动体，相对于所述第一旋转轴而在所述第一振动体的相反侧，在与所述第一旋转轴交叉的方向延伸，与所述第一连接体的基端部连结；第一驱动体，与所述第一振动体的前端部连结，经由所述第一振动体来使所述第一连接体旋转摆动；第二驱动体，与所述第二振动体的前端部连结，经由所述第二振动体来使所述第一连接体旋转摆动；和第二连接体，将所述第一振动体以及所述第二振动体相对于第一基体可振动地连接。-专利技术效果-通过本公开，能够提供一种即使在产生干扰振动的情况下也能够稳定地驱动并且耐久性高的光学反射元件。附图说明图1是表示实施方式1所涉及的光学反射元件的俯视图。图2是表示实施方式1所涉及的光学反射元件的立体图。图3是表示光学反射元件的第一变形例的俯视图。图4是表示光学反射元件的第二变形例的立体图。图5是从长边方向表示第一连接体的剖视图。图6是表示光学反射元件的第三变形例的俯视图。图7是表示实施方式2所涉及的光学反射元件的俯视图。图8是表示实施方式3所涉及的光学反射元件的俯视图。图9是表示光学反射元件的另一个例子的立体图。具体实施方式接下来，参照附图来对本公开所涉及的光学反射元件的实施方式进行说明。另外，以下说明的实施方式均表示概括性的或者具体性的例子。以下的实施方式中所示的数值、形状、材料、结构要素、结构要素的配置位置以及连接方式、步骤、步骤的顺序等是一个例子，并不是旨在限定本公开。此外，以下的实施方式中的结构要素之中，针对表示最上位概念的独立权利要求中未记载的结构要素，被说明为任意的结构要素。此外，附图是为了表示本公开而进行了适当强调、省略、比例的调整的示意性的附图，可能与实际的形状、位置关系、比例不同。(实施方式1)图1是表示实施方式1所涉及的光学反射元件的俯视图。图2是表示实施方式1所涉及的光学反射元件的立体图。光学反射元件100是周期性地变更激光等光的反射角度来周期性地扫描光的照射位置的装置，如图1、图2所示，具备：反射体110、作为连接体的第一连接体121、第二连接体122、作为振动体的第一振动体141、第二振动体142、作为驱动体的第一驱动体151、第二驱动体152、作为基体的第一基体161。此外，在本实施方式的情况下，反射体110的一部分、连接体、振动体的一部分、基体是通过从一个基板去除不要部分而一体成形的。具体地，例如，使用半导体制造过程中使用的蚀刻技术来去除硅基板的不要部分从而反射体110的一部分、连接体、振动体的一部分、基体被一体地成形。光学反射元件100是所谓的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems，微机电系统)。此外，光学反射元件100具备作为监视器元件的第一监视器元件171、第二监视器元件172。这里，构成基板的材料并不被特别限定，优选是金属、结晶体、玻璃、树脂等具有机械性强度以及高杨氏模量的材料。具体来讲，示例硅、钛、不锈钢、艾林瓦、黄铜合金等的金属或合金。若使用这些金属、合金等，则能够实现振动特性、加工性优良的光学反射元件100。反射体110是以第一旋转轴101为中心来旋转摆动(反复旋转振动)并反射光的部分。反射体110的形状并不被特别限定，但在本实施方式的情况下，是矩形的板状，在表面具备能够以高反射率来对反射对象的光进行反射的反射部111。反射部111的材质能够任意选定，例如，能够示例金、银、铜、铝等的金属、金属化合物等。此外，反射部111也可以包含多层。进一步地，反射部111也可以通过将反射体110的表面平滑打磨而设置。反射部111不仅可以是平面也可以是曲面。第一连接体121沿着第一旋转轴101而被配置，是在前端部与反射体110连结、基端部与第一振动体141的基端部以及第二振动体142的基端部分别连结的状态下保持反射体110的构件。第一连接体121是将用于使反射体110旋转摆动的转矩传递给反射体110的构件，第一连接体121通过围绕第一旋转轴101(图中θ1)扭转从而能够保持反射体110并且使反射体110旋转摆动。第一连接体121在包含第一旋转轴101的位置具备槽部150。第一连接体121的形状并不被特别限定，但由于是通过自身扭转来使反射体110旋转摆动的构件，因此作为整体为宽度(图中X轴方向的长度)比反射体110窄的细棒状。在本实施方式的情况下，设置于第一连接体121的槽部150是在与反射体110的反射面正交的方向(图中Z轴方向)贯通的狭缝状。此外，槽部150从与反射体110连接的前端部延伸到与连结体149连接的基端部。因此，第一连接体121能够看作为夹着第一旋转轴101而被配置的两根棒状的构件。第一连接体121的与第一旋转轴101垂直的剖面形状分别是矩形，第一连接体121的厚度为与反射体110以及其他部分相同的厚度。第一连接体121从反射体110到第一振动体141的基端部以及第二振动体142的基端部为相同的剖面形状。在与第一旋转轴101正交的剖面，将第一连接体121沿着第一旋转轴101设为均匀的矩形状以及均匀的面积，以第一旋转轴101为对称轴而设为旋转对称，从而在使光学反射元件100驱动时第一连接体121作为整体而均衡地扭转，能够避免应力在第一连接体121的长度方向集中所导致的破损。此外，专利技术人发现，在第一连接体121未设置槽部150的情况下，应力集中于包含第一旋转轴101的区域。因此，在本公开中，包含第一旋转轴101的部分通过利用槽部150来设为空隙，能够使应力分别分散于被断开的第一连接体121，能够避免应力在第一连接体121的宽度方向集中所导致的破损。另外，这些结构材料不需要是相同的厚度，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学反射元件，具备：/n反射体，以第一旋转轴为中心来旋转摆动，对光进行反射；/n第一连接体，前端部与所述反射体连结，具有被配置于包含所述第一旋转轴的位置的槽部；/n第一振动体以及第二振动体，被连结于所述第一连接体的基端部；/n第一驱动体，与所述第一振动体的前端部连结，使所述第一连接体旋转摆动；/n第二驱动体，与所述第二振动体的前端部连结，使所述第一连接体旋转摆动；/n第一基体；和/n第二连接体，将所述第一振动体以及所述第二振动体相对于所述第一基体进行连接。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180831 JP 2018-1628541.一种光学反射元件，具备：
反射体，以第一旋转轴为中心来旋转摆动，对光进行反射；
第一连接体，前端部与所述反射体连结，具有被配置于包含所述第一旋转轴的位置的槽部；
第一振动体以及第二振动体，被连结于所述第一连接体的基端部；
第一驱动体，与所述第一振动体的前端部连结，使所述第一连接体旋转摆动；
第二驱动体，与所述第二振动体的前端部连结，使所述第一连接体旋转摆动；
第一基体；和
第二连接体，将所述第一振动体以及所述第二振动体相对于所述第一基体进行连接。


2.一种光学反射元件，具备：
反射体，以第一旋转轴为中心来旋转摆动，对光进行反射；
第一连接体，沿着所述第一旋转轴而被配置，前端部与所述反射体连结，具有被配置于包含所述第一旋转轴的位置的槽部；
第一振动体，在与所述第一旋转轴交叉的方向延伸，与所述第一连接体的基端部连结；
第二振动体，相对于所述第一旋转轴而在所述第一振动体的相反侧，在与所述第一旋转轴交叉的方向延伸，与所述第一连接体的基端部连结；
第一驱动体，与所述第一振动体的前端部连结，经由所述第一振动体来使所述第一连接体旋转摆动；
第二驱动体，与所述第二振动体的前端部连结，经由所述第二振动体来使所述第一连接体旋转摆动；
第一基体；和
第二连接体，将所述第一振动体以及所述第二振动体相对于所述第一基体可振动地进行连接。


3.根据权利要求2所述的光学反射元件，其中，
所述光学反射元件具备：
第三连接体，相对于所述反射体而在所述第一连接体的相反侧，沿着所述第一旋转轴而被配置，前端部与所述反射体连结，具有被配置于包含所述第一旋转轴的位置的槽部；
第三振动体，在与所述第一旋转轴交叉的方向延伸，与所述第三连接体的基端部连结；
第四振动体，相对于所述第一旋转轴而在所述第三连接体的相反侧，在与所述第一旋转轴交叉的方向延伸，与所述第三连接体的基端部连结；
第三驱动体，与所述第三振动体的前端部连结，经由所述第三振动体来使所述第三连接体以摆动状态进行旋转；
第四驱动体，与所述第四振动体的前端部连结，经由所述第四振动体来使所述第三连接体以摆动状态进...

【专利技术属性】
技术研发人员：石田贵巳，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP