一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，所述公共管路与待检测件连接。本实用新型专利技术通过增加了辅助抽空通路、破空通路，大大提高了氦质谱检漏系统的抽空和破空能力，提升了单次检测的工作效率，弥补了氦质谱检漏仪自身抽空能力的不足；通过增加清扫通路，提高了氦质谱检漏系统的抗干扰能力，能进行快速连续地测试，提高了工作效率，值得被推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统
本技术涉及氦质谱检漏仪应用
，具体涉及一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统。
技术介绍
氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。氦质谱检漏仪作为标准的通用检漏仪器，其本身的抽空能力是有限的。当有大容积的工件需要采用负压法抽空检漏，或者采用真空箱法检漏时，由于工件容积或者真空箱内容积比较大，检漏仪本省的抽空能力就不够了，要么要抽很长时间才能抽下来，缩短了检漏仪的有效使用寿命，要么根本就抽不下来，没有办法实现检漏操作，为此，提出一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：如何有效地提高氦质谱检漏系统的抽空能力，以弥补氦质谱检漏仪自身抽空能力的不足，提供了一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本技术包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，所述公共管路与待检测件连接。更进一步地，所述辅助抽空通路包括真空泵组件、第一控制阀，所述真空泵组件通过所述第一控制阀与所述公共管路连接。更进一步地，所述真空泵组件为大抽速的单个真空泵或真空泵组。更进一步地，所述氦质谱检漏通路包括氦质谱检漏仪、第二控制阀，所述氦质谱检漏仪通过所述第二控制阀与所述公共管路连接。更进一步地，所述破空通路包括空气进口、第三控制阀，所述空气进口通过所述第三控制阀与所述公共管路连接。更进一步地，所述破空通路还包括消音组件。更进一步地，所述清扫通路包括清扫气源、第四控制阀，所述清扫气源通过所述第四控制阀与所述公共管路连接。更进一步地，所述氦质谱检漏系统还包括真空度测量组件，所述真空度测量组件与所述公共管路或待检测件连接。更进一步地，所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀均为电磁阀或手动阀。更进一步地，所述氦质谱检漏系统还包括控制组件，所述真空度测量组件、所述氦质谱检漏仪、所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀均与所述控制组件电连接，由所述控制组件控制。本技术相比现有技术具有以下优点：通过增加了辅助抽空通路、破空通路，大大提高了氦质谱检漏系统的抽空和破空能力，提升了单次检测的工作效率，弥补了氦质谱检漏仪自身抽空能力的不足；通过增加清扫通路，提高了氦质谱检漏系统的抗干扰能力，能进行快速连续地测试，提高了工作效率，值得被推广使用。附图说明图1是本技术实施例二中的气路原理图；图2是本技术实施例二中的电气控制原理图。具体实施方式下面对本技术的实施例作详细说明，本实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。实施例一本实施例提供一种技术方案：一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，所述公共管路与待检测件连接。所述辅助抽空通路包括真空泵组件、第一控制阀，所述真空泵组件通过所述第一控制阀与所述公共管路连接。所述真空泵组件为大抽速的单个真空泵或真空泵组。所述氦质谱检漏通路包括氦质谱检漏仪、第二控制阀，所述氦质谱检漏仪通过所述第二控制阀与所述公共管路连接。所述破空通路包括空气进口、第三控制阀，所述空气进口通过所述第三控制阀与所述公共管路连接。所述破空通路还包括消音组件。所述清扫通路包括清扫气源、第四控制阀，所述清扫气源通过所述第四控制阀与所述公共管路连接。所述氦质谱检漏系统还包括真空度测量组件，所述真空度测量组件与所述公共管路或待检测件连接。所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀均为电磁阀或手动阀。所述氦质谱检漏系统还包括控制组件，所述真空度测量组件、所述氦质谱检漏仪、所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀、所述第四控制阀均与所述控制组件电连接，由所述控制组件控制。需要说明的是，根据检漏系统的清扫通路上的气源是否干净整洁，可选择是否在清扫通路上安装过滤器；检漏系统所连接的待检测件若有粉尘等，需在检漏系统与待检测件的连接处加装过滤器。实施例二如图1、2所示，本实施例提供一种技术方案：一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，包括由真空泵8、电磁阀4以及它们之间的连接管路构成的辅助抽空通路，由氦质谱检漏仪7、电磁阀3以及它们之间的连接管路构成的检漏通路，由消音器9、电磁阀5以及它们之间的连接管路构成的破空通路，由氮气源12、减压阀11、过滤器10、电磁阀6以及它们之间的连接管路构成的清扫通路。电磁阀3、电磁阀4的进气端和电磁阀5、电磁阀6的出气端连接到公共管路上，公共管路上安装有真空计2。公共管路连接到被检大容积工件(或者放置被检工件的真空箱)1(待检测件)。本实施例的工作原理：当大容积工件(或者放置被检工件的真空箱)1放置好后，点击开始按钮，基于PLC的控制组件13控制电磁阀3、4打开，并启动氦质谱检漏仪7，由检漏仪7和真空泵8对工件或真空箱1抽空，真空计2将实时的真空度值信号传送给控制组件13。当真空度达到设定的值，控制组件13关闭电磁阀4，由氦质谱检漏仪7单独清本底，清本底完成后氦质谱检漏仪7开始检漏。检漏结束后，控制组件13关闭电磁阀3，打开电磁阀5，引入空气对工件或真空箱1破除真空。破空完成后，关闭电磁阀5，打开电磁阀6，引入氮气对真空箱1及公共管路清扫，去除残留的氦气，同时取走工件。需要说明的是，基于PLC的控制组件13可根据检测流程控制各个电磁阀的通断，从而实现一键操作，使氦质谱检漏系统自动完成依次从辅助抽空、喷(充)氦、检漏、破空、清扫的一整套流程。综上所述，该具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，通过增加了辅助抽空通路、破空通路，大大提高了氦质谱检漏系统的抽空和破空能力，提升了单次检测的工作效率，弥补了氦质谱检漏仪自身抽空能力的不足；通过增加清扫通路，提高了氦质谱检漏系统的抗干扰能力，能进行快速连续地测试，提高了工作效率，值得被推广使用。尽管上面已经示出和描述了本技术的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本技术的限制，本领域的普通技术人员在本技术的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，其特征在于：包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，所述公共管路与待检测件连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，其特征在于：包括辅助抽空通路、氦质谱检漏通路、破空通路、清扫通路与公共管路，所述辅助抽空通路、所述氦质谱检漏通路、所述清扫通路、所述破空通路与所述公共管路并联，所述公共管路与待检测件连接。


2.根据权利要求1所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述辅助抽空通路包括真空泵组件、第一控制阀，所述真空泵组件通过所述第一控制阀与所述公共管路连接。


3.根据权利要求2所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述真空泵组件为单个真空泵或真空泵组。


4.根据权利要求3所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述氦质谱检漏通路包括氦质谱检漏仪、第二控制阀，所述氦质谱检漏仪通过所述第二控制阀与所述公共管路连接。


5.根据权利要求4所述的一种具有辅助抽空功能的氦质谱检漏系统，其特征在于：所述破空通路包括空气进口、第三控制阀，所述空气进口通过所述第三控制阀与所述公共管路连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：朱操胜，
申请(专利权)人：安徽诺益科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34