晶圆夹持到位检测机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆夹持到位检测机构，包括晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板、上夹持板、下夹持板以及夹持气缸；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连、夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上，上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧；上夹持板和下夹持板夹空状态下，夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触；上夹持板上设置夹持板位移传感器，下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。可以检测出其间有没有夹持晶圆托盘，防止夹空现象。

【技术实现步骤摘要】
晶圆夹持到位检测机构
本技术属于硅晶圆加工领域，具体涉及一种晶圆夹持到位检测机构。
技术介绍
晶圆激光加工时，需要使用晶圆夹持机构将晶圆托盘从晶圆存料盒中取出，并移动到切割平台进行加工。晶圆夹持机构包括上夹持板和下夹持板；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连。夹持气缸带动上、下夹持板夹持或者松开。在夹持过程中，可能会存在夹空的情况，比如晶圆存料盒对应层没有放置晶圆托盘的情况。需要一种判断晶圆夹持机构是否夹住晶圆托盘的结构。
技术实现思路
本技术提供一种晶圆夹持到位检测机构。本技术的目的是以下述方式实现的：晶圆夹持到位检测机构，包括晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板、上夹持板、下夹持板以及夹持气缸；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连、夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上，上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧；上夹持板和下夹持板夹空状态下，夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触；上夹持板上设置夹持板位移传感器，下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。上夹持板后端设置夹持气缸避让槽，夹持气缸设置在夹持气缸避让槽内，夹持气缸的活塞头连接夹持气缸滑块、夹持气缸滑块和夹持气缸外表面的导轨构成导轨滑块连接副；下夹持板固定在夹持气缸滑块上；夹持板位移传感器位于上夹持板侧边、夹持板位移检测条一端固定在夹持气缸滑块上。夹持板弹簧为拉簧，夹持气缸为单作用气缸；通气时，夹持气缸带动下夹持板向下移动；不通气时，拉簧将下夹持板拉拉回复位。夹持板弹簧为拉簧，夹持气缸为双作用气缸，一端可选择的连通气源或者大气、另一端直接连通大气；通气时，夹持气缸带动下夹持板向下移动；不通气时，拉簧将下夹持板拉拉回复位。夹持板位移传感器为光电传感器。本技术的有益效果是：上夹持板和下夹持板之间设置夹持板位移传感器，可以检测出其间有没有夹持晶圆托盘，防止夹空现象。附图说明图1是晶圆加工设备直线转运机构位置示意图（隐藏壳体以及部分无关零部件）。图2是晶圆夹持机构结构示意图（隐藏部分遮挡的零部件）。图3是上夹持板以及下夹持板部分放大图。图4是上夹持板以及下夹持板前侧示意图。图5是晶圆夹持机构剖视简图（有夹持板弹簧的实施例）。图6是夹持滑块示意简图。其中，1是机架、2是晶圆存料盒、3是晶圆夹持机构、30是上夹持板、300是夹持挡片、302夹持气缸避让槽、31是下夹持板、310是挡片避让槽、311夹持板位移检测条、32是夹持气缸、320夹持气缸滑块、33夹持板弹簧、34是夹持连接板、35是夹持滑块、350滑块位移检测条、36是直线转运丝杠机构、37是直线转运滑块、370滑块位移传感器、38是夹持滑块复位弹簧、39夹持直线转运滑轨、4是晶圆托盘。具体实施方式以下将结合附图以及具体实施例，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”“设置”等应做广义理解，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。诸如第一、第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另外一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。如图1-6所示，晶圆夹持到位检测机构，包括滑动设置在机架1的晶圆夹持机构3，晶圆夹持机构3包括上夹持板30、下夹持板31以及夹持气缸32，夹持气缸32与机架1连接并带动上夹持板30或者下夹持板31任一移动使其夹持或者松开。上夹持板30和下夹持板31之间设置夹持板弹簧33。夹持板弹簧33一端固定在上夹持板30上，另一端固定在下夹持板31上。通过调整夹持板弹簧33的弹力调整上夹持板30和下夹持板31的夹持力，并且在夹持过程中提供缓冲，有效的保护晶圆托盘4。晶圆夹持机构3还包括滑动设置在机架1上的夹持连接板34，夹持气缸32的活塞端与下夹持板31相连、夹持气缸32的缸体固定在夹持连接板34上；上夹持板30与夹持连接板34相连。夹持板弹簧33设置在上夹持板30和下夹持板31之间且位于晶圆托盘与上夹持板30、下夹持板31接触位置的后方。上夹持板30和下夹持板31前端部分用于夹持晶圆托盘4，后端部分用于设置夹持板弹簧33。上夹持板30和下夹持板31后端之间的距离可以大于前端之间的距离，更方便的安装夹持板弹簧33。更进一步的，上夹持板30后端也设置夹持气缸避让槽302，夹持气缸32设置在夹持气缸避让槽302内，夹持气缸32的活塞头连接夹持气缸滑块320、夹持气缸滑块320和夹持气缸32外表面的导轨构成导轨滑块连接副。下夹持板31固定在夹持气缸滑块32上。夹持气缸滑块320可以为L形。夹持板弹簧33可以设置在夹持气缸滑块320上表面和夹持气缸32缸体下表面之间。也可以设置在夹持气缸避让槽302的两侧的上夹持板30和下夹持板31之间。夹持板弹簧33为拉簧，夹持气缸32为双作用气缸，一端可选择的连通气源或者大气、另一端直接连通大气。此时夹持气缸32可以通气伸长，不再通气时需要外力才能缩回。通气时，夹持气缸32带动下夹持板31向下移动。不通气时，拉簧将下夹持板31拉拉回复位。夹持状态下；拉簧的伸长量大于下夹持板31的重力对应的伸长量。此时，拉簧的回复力大于下夹持板31的重力，从而使下夹持板31和上夹持板30压紧晶圆托盘4。可以设置多个拉簧或者弹力大的拉簧从而增加其弹力，夹紧晶圆托盘4。不同弹力的拉簧可以提供不同的夹持力。夹持气缸32也可以为单作用气缸。单作用气缸内部有弹簧使其通气时伸长、不通气时自动缩回。但是气缸是标准件、单作用气缸内部弹簧的弹性是固定的、回复力较小而且无法调节，能给与的夹持力也是固定的。选定了需要的伸缩长度的标准气缸后，其内置弹簧的回复弹力却不能准确的满足晶圆夹持机构3的需要。而且不同规格的晶圆托盘4的重力不同需要的夹持力也不相同，需要方便的调节弹力的机构。所以即使是单作用气缸，也需要设置夹持板弹簧。为了检测夹持时晶圆托盘是否到位，防止出现夹空现象，上夹持板30上设置夹持板位移传感器301，下夹持板31设置与其配合的夹持板位移检测条311。更进一步的：夹持板位移传感器301位于上夹持板30侧边、夹持板位移检测条311一端固定在夹持气缸滑块320上。上夹持板30和下夹持板31夹空状态下，夹持板弹簧33本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆夹持到位检测机构，包括晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板、上夹持板、下夹持板以及夹持气缸；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连、夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上，其特征在于：所述上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧；上夹持板和下夹持板夹空状态下，夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触；上夹持板上设置夹持板位移传感器，下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。/n

【技术特征摘要】
1.晶圆夹持到位检测机构，包括晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板、上夹持板、下夹持板以及夹持气缸；夹持气缸的活塞端与下夹持板相连、夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上，其特征在于：所述上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧；上夹持板和下夹持板夹空状态下，夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触；上夹持板上设置夹持板位移传感器，下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。


2.根据权利要求1所述晶圆夹持到位检测机构，其特征在于：所述上夹持板后端设置夹持气缸避让槽，夹持气缸设置在夹持气缸避让槽内，夹持气缸的活塞头连接夹持气缸滑块、夹持气缸滑块和夹持气缸外表面的导轨构成导轨滑块连接副；下夹持板固定在...

【专利技术属性】
技术研发人员：巩铁建，陶为银，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41