The utility model relates to a nonlinear hysteresis correcting system of a driver, which is suitable for precise drive positioning, and produces micron and submicron deformation quantities in fine tuning technology. Strain measuring device of the utility model by measuring the actual deformation and drive by nonlinear negative feedback closed-loop control circuit for large lag correction, hysteresis of piezoelectric actuator has very significant correction, low frequency, high frequency basically eliminate lag, lag was less than 4%, while the driver before and after correction of deformation the loss is minimum, to ensure that the drive of high precision linear range and large deformation, expand the scope of use.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是驱动器的非线性滞后校正仪,涉及压电陶瓷微位移驱动器的非线性滞后校正技术。适用于精密驱动定位技术、自动控制技术、精密微调技术中产生所需的微米级和亚微米级变形量。目前,使用压电陶瓷材料制作的微位移驱动器,由于压电陶瓷材料大位移、大滞后特性的限制,驱动器难以同时满足大变形范围和小滞后的精度要求,因而使驱动器的使用范围受到极大的限制。本专利技术的目的在于解决上述问题而提供一种可使驱动器同时达到大位移和小滞后要求的非线性滞后校正仪。本专利技术的目的可以通过以下措施来达到驱动器的非线性滞后校正仪,包括应变测量装置和非线性滞后校正电路。通过校正仪,确定施加外电压后驱动器的实际变形量,再与所要求的理想变形量进行比较得到非线性滞后误差,并以此误差来控制调节外加电压,使驱动器变形的非线性滞后得到较好的补偿,从而使驱动器具有高线性的精度。应变测量装置包括粘贴在微位移驱动器1侧面的应变片2和应变仪3,非线性校正电路中包括匹配放大器4,比较器5,差值放大器6,叠加器7,高压放大器8。 附图说明图1为本专利技术结构图图2为驱动器的位移-电压特性图图3为本专利技术高压放大器电路图本专利技术下面将结合附图作进一步详述本专利技术对大位移、大滞后压电陶瓷微位移驱动器非线性滞后的校正,采用了负反馈控制原理。如图1所示在驱动器1上粘贴有应变片2,连接到应变仪3上构成应变测量装置。当对驱动器1施加一定驱动电压时,驱动器1产生变形(伸长或缩短)。但是由于驱动器1的滞后,实际变形量将大于(或小于)要求的变形量。应变测量仪2的栅丝电阻也将随之改变(增大或减小),应变仪3测出该电阻的变化 ...
【技术保护点】
一种涉及微位移驱动器的非线性滞后校正仪,其特征在于本专利技术由测定驱动器实际变形量的应变测量装置和校正电路构成,校正电路是采用负反馈控制的对应变测量装置输出信号进行放大、并与原输入的驱动信号进行比较、叠加、经高压放大后输出控制驱动信号的非线性校正电路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:凌宁,刘越,李明全,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]
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