一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备，蚀刻篮具包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上，蚀刻篮具包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴，本实用新型专利技术采用加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备
本技术属于超薄玻璃减薄设备领域，更具体的说涉及一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备。
技术介绍
申请号为2017213766662的中国专利公开了一种玻璃基板减薄蚀刻机，包括蚀刻槽、置物架、支架、滑轨、滑块、第一气缸、升降架、第二气缸、PLC控制柜；所述蚀刻槽的上方固定有支架，所述支架上设有水平设置的滑轨，所述滑轨上滑动设有滑块，滑块上设有沿竖直方向伸缩的第一气缸，第一气缸的伸缩杆的下端设有升降架，升降架与蚀刻槽内的置物架连接，所述支架上还设有沿水平方向伸缩的第二气缸，第二气缸的伸缩杆与滑块连接；所述第一气缸和第二气缸均与PLC控制柜连接；所述置物架包括长方形的框架、支撑板和玻璃支撑架，所述框架上设有若干个平行设置的玻璃支撑架，所述框架的底部设有用于支持玻璃基板的支撑板，支撑板与玻璃支撑架相互垂直，所述支撑板上设有与玻璃支撑架一一对应且配合使用的卡槽。用传统的液晶面板玻璃薄化工艺，将高铝玻璃基板放在蚀刻篮具(置物架)，浸入带气泡扰动的氢氟酸蚀刻槽中蚀刻薄化，只能将玻璃基板母片薄化到100μm左右。用同样的方法再薄下去，玻璃基板厚度均匀性很差，也很容易破片，良品率非常低。为了将玻璃继续薄化到50μm以下，达到可折叠的程度(R<1.5mm)，必须将玻璃加框支撑住，才能继续后续的薄化制程，以及激光切割开料工艺。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。r>为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。进一步的定位夹块分布于固定侧杆和固定底杆上。进一步的所述侧板对应活动顶杆处开设有通孔，活动顶杆的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。进一步的所述固定底杆、固定侧杆和活动顶杆均至少设置有两根。一种具有蚀刻篮具的超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备，包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴。进一步的所述蚀刻槽包括内槽和外槽，内槽位于外槽内且与外槽之间留有间隔，所述内槽底部连接有流入管道，流入管道穿过外槽至外部，所述外槽底部连接有流出管道。进一步的所述内槽的高度低于外槽。进一步的所述内槽的侧壁上开设有若干溢流孔。进一步的所述内槽靠近底部处设置有PP泡棉，PP泡棉位于流入管道上方。进一步的所述蚀刻篮具、蚀刻槽和悬臂表面均包覆有铁氟龙或PP。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、超薄玻璃基板加框后，整齐的放入蚀刻篮中固定，蚀刻液流动均匀，提升每片超薄玻璃基板以及片与片之间的薄化均匀性；2、蚀刻篮具有旋转轴，蚀刻篮具在浸入蚀刻液后，蚀刻篮具通过在竖直方向旋转，克服蚀刻液的浓度与温度梯度所造成的蚀刻不均问题；3、蚀刻槽采用溢流式设计，由内槽底均匀供应新鲜蚀刻液，通过PP泡棉后形成稳定的向上层流；由槽顶溢流出用过的蚀刻液到外槽，收集进回收系统，这种溢流式蚀刻槽确保了蚀刻液的浓度、温度、流动的稳定性；4、蚀刻设备的移动平台和悬臂包含了蚀刻篮的抬升、平移、旋转机构，可以将蚀刻篮在上料、蚀刻、清洗、干燥、下料等各个站点间转移。附图说明图1为超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具的立体结构图；图2为蚀刻篮具内具有超薄玻璃和其固定框架时的示意图；图3为超薄玻璃基板母片的固定框架的立体结构示意图(有超薄玻璃基板母片)；图4为超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备的结构示意图。附图标记：2、固定框架；21、外框；212、框托；22、内框；3、蚀刻篮具；31、活动顶杆；32、固定侧杆；33、固定底杆；34、侧板；341、旋转轴；35、定位夹块；5、超薄玻璃基板；61、移动平台；62、悬臂；71、内槽；711、流入管道；712、PP泡棉；72、外槽；721、流出管道。具体实施方式在本技术的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本技术的具体保护范围。此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本技术描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，包括两块相对的侧板34，侧板34上设置有旋转轴341，两块侧板34之间设置有固定底杆33、固定侧杆32和活动顶杆31，活动顶杆31与侧板34可拆卸连接，两块侧板34之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板34，所述框架固定组件包括若干定位夹块35，定位夹块35分布于固定侧杆32上。如图1和图2所示，本实施例中以侧板34为矩形为例，当然其也可以为其他形状，如圆形，根据超薄玻璃基板5及固定框架2的形状而变换设计即可。在两个侧板34相背的一侧分别设置有旋转轴341，两个侧板34相互平行布置，且两个旋转轴341同轴设置。本实施例中侧板34的每一侧均至少设置两根杆，具体为在侧板34的底侧至少设置两根固定底杆33，左侧和右侧也至少分别设置两根固定侧杆32，顶侧至少设置两根活动顶杆31，通过多根固定底杆33、固定侧杆32和活动顶杆31用以限制超薄玻璃基板5的位置，且可以根据超薄玻璃的面积尺寸进行增减。在本实施例中处于轴向同一位置的定位夹块35构成框架固定组件，定位夹块35中间具有夹缝，固定框架2伸入夹缝中，且同一框架固定组件内的夹缝构成的平面为框架固定区，其平行于侧板34。其中定位夹块35一般分布于固定侧杆32上，位于侧板34两侧的固定侧杆32均布置定位夹块35即可将固定框架2定位，当然也可以在固定底杆33上布置同样的定位夹块35进一步的增强对固定框架2的定位。如图3所示，在本实施例中固定框架2的结构，其包括中间空心的外框21和内框22，所述外框21和内框22的中间空心处形成蚀刻区，所述外框21的一面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。/n

【技术特征摘要】
1.一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。


2.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：定位夹块分布于固定侧杆和固定底杆上。


3.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：所述侧板对应活动顶杆处开设有通孔，活动顶杆的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。


4.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：所述固定底杆、固定侧杆和活动顶杆均至少设置有两根。


5.一种具有如权利要求1-4中任意一项所述蚀刻篮具的超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备，其特征在于：包括移动平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖耀升，江建志，周俊强，
申请(专利权)人：恩利克浙江智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33