一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法技术方案

本发明专利技术公开了一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法，包括液体排放模块、具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路、第一标定流路和第二标定流路，第一标定流路用于标定液体流路中具有的传感器，第一标定流路为第一高精度检测流路，第一标定流路具有第一高精度传感器，第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；第一标定流路连接设于多条液体流路后级和液体排放模块前级之间位置处，第二标定流路为第二高精度检测流路，待标定传感器和第一高精度传感器无需从供液系统中取出，便可确定传感器校正量，实现传感器重新标定，标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法
本专利技术涉及供液系统控制技术，尤其是涉及一种具有传感器标定流路的供液系统及标定方法。
技术介绍
在供液系统中，为满足多样化、差异化生产需求，例如浸没式光刻机中的浸没液体控制系统，需要对被控制液体在温度、流量和压力等特性参数上实现可靠稳定输出，而通常用于对供液系统中的液体进行温度、流量和压力测量的传感器，在长期测量使用过程中，出现和存在测量漂移的问题，导致经用于进行温度、流量和压力测量后的液体仍不满足控制需求，无法实现液体于设定范围值内的可靠稳定输出。在申请号为CN201010239620.2的中国专利技术专利中，公开了一种光刻设备和器件制造方法，该专利技术专利在其设备内部设有两路流体路径和一路旁路路径，旁路路径负责将两条流体路径桥接连结，使得在两路流体路径内部流动的流体均能流至另一路流体路径中；该专利技术专利在其中一路流体路径和旁路路径中均设有温度传感器，通过切断其中一路流体流动，并使得另一路流体流经流体路径和旁路路径中所设置的温度传感器，通过比较两个温度传感器所输出的信号，进行温度校准，该校准方式为相对校准方式，在正常使用过程中，两温度传感器均处于工作负载状态，两温度传感器均能产生误差，该专利技术专利采用的相对校准方式只是将两温度传感器校准至同一温度检测值，在长期使用过程中，两温度传感器可能存在以正反馈的形式不断偏离原定温度检测值，该校准方式不适用于输出流体温度精度要求高的设备。在申请号为CN201010618388.3的中国专利技术专利中公开了一种温度传感器标定装置及方法，该专利技术专利在其内部设置有标准传感器，在以标准传感器为中心处圆周设置有待标定温度传感器，待标定温度传感器旁设有用于检测标定温度传感器电阻值的电阻测量仪，温度标定时，以标准传感器检测的温度值为标定温度下，记录待标定温度传感器检测出的温度值和待标定温度传感器的电阻值，通过设定多个温度标定点，拟合得到待标定温度传感器特性方程参数，根据所得参数调节待标定温度传感器，该校准方式因其检测原理使得适用范围受到限制，只适用于采用电阻式的温度传感器。在申请号为CN201710218045.X的中国专利技术专利中公开了一种流量传感器校准方法及系统，该专利技术专利在其设备内部设有流量传感器、压差传感器和PC校准端，通过压差传感器检测流体多个不同流量下其对应的压差，将记录的数据进行拟合得到测试量程内的标准流量——压差曲线，校准时，记录流量传感器测得的测量流量值和压差传感器下的压差值并发送给PC校准端，PC校准端将测量流量值和标准流量——压差曲线进行比对，计算出补偿因子并对流量传感器进行校准，该校准方式在使用前，需要进行多次标定实验，实验后得出的标准流量——压差曲线其作用范围受管路和流体介质限定，任意改变管路布局或流体介质更替，原有的标准流量——压差曲线便失效，需要重新实验制图。
技术实现思路
本专利技术为解决现有供液系统中因传感器在长久工作后，其检测值会因其系统内部误差累积而产生漂移缺陷而需要采用的标定技术存在着标定使用范围较为有限、标定结果容易因管路或介质的改变而失效导致的标定工作量大，标定方式较为单一等现状而提供的一种待标定传感器无需改变固定位置或从安装设备内取出，便可进行有效便捷标定，标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高的具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法。本专利技术为解决上述技术问题所采用的具体技术方案为：一种具有传感器标定流路的供液系统，包括液体排放模块和具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路，其特征在于：还包括第一标定流路，第一标定流路旁通与液体流路相连，第一标定流路用于标定所述液体流路中具有的传感器，第一标定流路采用为第一高精度检测流路，所述第一标定流路具有第一高精度传感器，所述的第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；液体流路中流动的液体经第一标定流路检测后排放至液体排放模块中。无需将液体流路中的传感器改变固定位置或从安装设备内取出，只需将待标定传感器与高精度传感器进行多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，便可对上述传感器进行标定，便捷有效灵活的实现对待标定传感器重新标定；标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高。作为优选，所述的与第一标定流路旁通相连的液体流路可不止仅具有一条，其数量可以为两条及更多条。提高可标定的液体流路实际有效应用。作为优选，所述的第一标定流路中设有第四开关阀、第一高精温度传感器和第一高精流量传感器，第四开关阀用于控制第一标定流路中流向第一高精温度传感器和第一高精流量传感器液体的流动，第一高精温度传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的温度，第一高精流量传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的流量大小。提高第一高精度检测流路对液体流路中的传感器的检测标定灵活便捷有效性。作为优选，所述的第一标定流路上位于第四开关阀与高精度传感器间设置有第四分叉节点，通过第四分叉节点与第一标定流路旁通相连有用于标定第一标定流路中传感器的第二标定流路，第二标定流路采用为第二高精度检测流路，第二标定流路连接设有第二液体供给模块和第二高精度传感器，第二液体供给模块作为第二标定流路标定第一标定流路中传感器过程中时的所被检测液体的供给源，所述的第二高精度传感器包括第二高精温度传感器和/或第二高精流量传感器；第二标定流路与第一标定流路之间连接设有第三流路支路，第三流路支路具有第八开关阀，第二标定流路通过第八开关阀与第一标定流路中设置的第四分叉节点相连接，通过对第一高精传感器的可靠灵活有效标定，避免了因长久使用而导致第一高精传感器出现的测量漂移现象，使得第一高精传感器在长久使用中无需从装置内部取出，降低供液系统的污染风险，于装置内部即可完成重新标定，重新用于对液路流路中传感器的标定。作为优选，所述的液体流路包括第一流路、第二流路、第一进液流路、第一流路支路、第二流路支路和第一液体供给模块，其中第一进液流路下游终端处具有第一分叉节点，第一分叉节点后端分别与第一流路和第二流路相连接；第一流路从第一进液流路下游终端到第一用液单元上游终端之间依次设有第一控制器、第二加热器、第一温度传感器、第一流量传感器、第二分叉节点和第二开关阀，第一控制器用于改变第一流路中流动液体的流量大小和保持第一分叉节点处的压力基本恒定，第二加热器用于满足可能存在的第一用液单元对所需液体温度的限定而改变第一流路中流动液体的温度，第一温度传感器用于检测经第二加热器加热后流动液体的温度，第一流量传感器用于检测第一标定流路中流动液体的流量大小，第二开关阀控制第一标定流路中流向第一用液单元液体的流动；第二流路从第一进液流路下游终端到第二用液单元上游终端之间依次设有第二控制器、第三加热器、第二温度传感器、第二流量传感器、第五分叉节点和第五开关阀，第二控制器用于改变第二流路中流动液体的流量大小和保持第一分叉节点处的压力基本恒定，第三加热器用于满足可能存在的第二用液单元对所需液体温度的限定而改变第二流路中流动液体的温度，第二温度传感器用于检测经第三加热器加热后流动液体的温度，第二流量传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有传感器标定流路的供液系统，包括液体排放模块和具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路，其特征在于：还包括第一标定流路，第一标定流路旁通与液体流路相连，第一标定流路用于标定所述液体流路中具有的传感器，第一标定流路采用为第一高精度检测流路，所述第一标定流路具有第一高精度传感器，所述的第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；液体流路中流动的液体经第一标定流路检测后排放至液体排放模块中。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有传感器标定流路的供液系统，包括液体排放模块和具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路，其特征在于：还包括第一标定流路，第一标定流路旁通与液体流路相连，第一标定流路用于标定所述液体流路中具有的传感器，第一标定流路采用为第一高精度检测流路，所述第一标定流路具有第一高精度传感器，所述的第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；液体流路中流动的液体经第一标定流路检测后排放至液体排放模块中。


2.按照权利要求1所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的与第一标定流路旁通相连的液体流路可不止仅具有一条，其数量可以为两条及更多条。


3.按照权利要求1所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第一标定流路中设有第四开关阀、第一高精温度传感器和第一高精流量传感器，第四开关阀用于控制第一标定流路中流向第一高精温度传感器和第一高精流量传感器液体的流动，第一高精温度传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的温度，第一高精流量传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的流量大小。


4.按照权利要求1～3之一所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第一标定流路上位于第四开关阀与高精度传感器间设置有第四分叉节点，通过第四分叉节点与第一标定流路旁通相连有用于标定第一标定流路中传感器的第二标定流路，第二标定流路采用为第二高精度检测流路，第二标定流路连接设有第二液体供给模块和第二高精度传感器，第二液体供给模块作为第二标定流路标定第一标定流路中传感器过程中时的所被检测液体的供给源，所述的第二高精度传感器包括第二高精温度传感器和/或第二高精流量传感器；第二标定流路与第一标定流路之间连接设有第三流路支路，第三流路支路具有第八开关阀，第二标定流路通过第八开关阀与第一标定流路中设置的第四分叉节点相连接。


5.按照权利要求4所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第二标定流路下游终端处具有第六分叉节点，第六分叉节点后端连接有第三流路和第三流路支路，第六分叉节点作为第三流路上游源头部分，第三流路下游终端为一第三用液单元，第三用液单元的设置使得第二标定流路在无需对第一标定流路标定时，第二标定流路可作为液体流路的设置，第三流路中并位于第六分叉节点和第三用液单元两者间设有第七开关阀，第七开关阀控制第三流路中流向第三用液单元液体的流动，第六分叉节点也作为第三流路支路上游源头部分，第三流路支路下游终端为第四分叉节点。


6.按照权利要求4所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第二高精度传感器中的第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均为可拆卸式高精传感器，也即第二高精温度传感器采用为可拆卸式温度传感器，第二高精流量传感器采用为可拆卸式流量传感器，第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均可于供液系统中设置于用于容纳供液系统的设备的外部或内部靠近外部一侧。


7.按照权利要求1～6之一所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：第一高精度传感器和第二高精度传感器的精度等级均优于液体流路中的各传感器至少一个精度等级，第二高精度传感器的精度等级等于或优于第一高精度传感器。


8.按照权利要求1～7之一所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：多条液体流路中的各传感器还包括压力传感器，第一高精度传感器和第二高精度传感器也均包括对应标定用途的压力传感器。


9.一种具有传感器标定流路的供液系统标定方法，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵艺文，罗政，陈文昱，付新，
申请(专利权)人：浙江启尔机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33