用于确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质技术

根据本公开的示例实施例，提供了一种确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质。该方法包括：针对初始的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示电路版图的着色不平衡程度。该方法还包括依次针对多个子区域中的至少一个子区域：执行颜色转换以更新电路版图；确定经更新的电路版图的更新全局成本；以及如果确定更新全局成本小于初始全局成本，保留颜色转换。该方法还可以包括：基于所述多个子区域中的至少一个子区域的所述颜色转换的结果，生成最终的电路版图。在根据本公开的确定电路版图的方案而获得最终的电路版图中，具有第一颜色的几何图形和具有第二颜色的几何图形的面积和密度都彼此接近，因此不同子版图的负载被均衡。均衡。均衡。

【技术实现步骤摘要】
用于确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质


[0001]本公开的实施例主要涉及集成电路领域，并且更具体地，涉及用于确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]随着半导体制造程序继续进步，几十年来，功能组件的尺寸已不断地缩减，而每器件的诸如晶体管的功能组件的量已在稳固地增加，此遵循通常被称作“莫耳定律(Moore's law)”的趋势。在当前先进技术下，使用光刻装置来制造器件层，光刻装置使用来自深紫外线(DUV)照明源的UV辐射而将设计布局投影至基板上，从而产生尺寸充分地低于100nm的个别功能组件，亦即，尺寸小于来自该照明源(例如，193nm照明源)的辐射的波长的一半(例如，最小的设计节距小于78nm)。随着目标图案的临界尺寸日益减小，在晶片上再现目标图案变得愈发困难。
[0003]双重曝光技术(DPT)或多重曝光技术(MPT)允许将给定目标图案的特征分离到两个不同的掩模中、并接着独立成像来形成所需的图案，从而在每个掩模中，最小设计节距能够足够大，以允许继续使用193nm的照明源的辐射。当利用双重曝光技术(DPT)或多重曝光技术(MPT)对电路版图进行分解时，电路版图上的几何图形被着色成两种或多种不同的颜色，具有同一颜色多个几何图形例如在制造厂中将被分配到一个掩模，以对晶圆进行加工。
[0004]但是根据当前的分解技术，在对设计版图执行分解(也就是着色)之后，经常会存在所得到的子版图上的负载不均衡的问题。

技术实现思路

[0005]根据本公开的示例实施例，提供了一种用于确定电路版图的方案。
[0006]在本公开的第一方面，提供了一种确定电路版图的方法。该方法可以包括：针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示电路版图的着色不平衡程度。该方法还可以包括：依次针对多个子区域中的至少一个子区域，执行颜色转换以更新电路版图，颜色转换将子区域中的第一颜色改变为第二颜色并且将第二颜色改变为第一颜色；确定经更新的电路版图的更新全局成本；以及如果确定更新全局成本小于初始全局成本，保留颜色转换。该方法还可以包括：基于多个子区域中的至少一个子区域的颜色转换的结果，生成最终的电路版图。
[0007]在本公开的另一方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及与处理器耦合的存储器，存储器具有存储于其中的指令，指令在被处理器执行时使电子设备执行动作。这些动作可以包括：针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示电路版图的着色不平衡程度。这些动作还可以包括依次针对多个子区域中的至少一个子区域，执行颜色转换以更新电路版图，颜色转换将子区域中的第一颜色改变为第二颜色并且将第二颜色改变为第一颜色；确定经更新的电路版图的更新全局成本；以及如果确定更新全局成本小于初始全局成本，针对子区域，保留颜色转换。这些
动作还可以包括：基于多个子区域中的至少一个子区域的颜色转换的结果，生成最终的电路版图。
[0008]在一些实施例中，这些动作还可以包括：如果确定更新全局成本不小于初始全局成本，放弃颜色转换。
[0009]在一些实施例中，确定初始全局成本可以包括：利用扫描窗口，多次扫描电路版图。确定初始全局成本还可以包括针对多次扫描中的每次扫描：确定扫描窗口中的第一颜色的第一面积和第二颜色的第二面积；以及基于第一颜色的第一面积和第二颜色的第二面积，确定着色不平衡值；以及基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定初始全局成本。
[0010]在一些实施例中，基于第一颜色的第一面积和第二颜色的第二面积确定着色不平衡值可以包括：基于第一面积差和第二面积和的比值，确定着色不平衡值，第一面积差为第一面积和第二面积之差，第一面积和为第一面积和第二面积之和；以及基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值确定初始全局成本可以包括：获取每一次扫描的着色不平衡值；通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，来确定初始全局成本。
[0011]在一些实施例中，确定经更新的电路版图的更新全局成本可以包括：利用扫描窗口，多次扫描经更新的电路版图。确定经更新的电路版图的更新全局成本还可以包括针对多次扫描中的每次扫描：确定扫描窗口中的第一颜色的第三面积和第二颜色的第四面积；以及基于第三面积和第四面积，确定着色不平衡值；以及基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定更新全局成本。
[0012]在一些实施例中，基于第三面积和第四面积确定着色不平衡值可以包括：基于第二面积差和第二面积和的比值，确定着色不平衡值，第二面积差为第三面积和第四面积之差，第二面积和为第三面积和第四面积之和；基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值确定更新全局成本可以包括：获取每一次扫描的着色不平衡值；通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，确定更新全局成本。
[0013]在一些实施例中，确定着色不平衡值可以包括：如果比值小于阈值，将着色不平衡值确定为一预设值。
[0014]在一些实施例中，多个子区域中的每个子区域的范围可以大于扫描窗口的范围。
[0015]在一些实施例中，多个子区域中的每个子区域可以包括多个几何图形，并且多个几何图形中的每个几何图形被着色为第一颜色或第二颜色。
[0016]在一些实施例中，在最终的电路版图中，具有第一颜色的几何图形的总面积与具有第二颜色的几何图形的总面积之差不大于预设面积阈值，并且具有第一颜色的几何图形的整体密度与具有第二颜色的几何图形的整体密度之差不大于预设密度阈值。
[0017]在一些实施例中，这些动作还可以包括：将最终的电路版图上的具有第一颜色的所有几何图形和具有第二颜色的所有几何图形进行分解，以分别形成第一子版图和第二子版图。
[0018]在本公开的第三方面，提供一种存储有计算机指令的计算机可读存储介质，其中计算机指令用于使计算机执行本公开的第一方面的方法。
[0019]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的描述变得容易理
解。
附图说明
[0020]结合附图并参考以下详细说明，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标注表示相同或相似的元素，其中：
[0021]图1示出了本公开的多个实施例能够在其中实现的示例环境的示意图；
[0022]图2示出了根据本公开的一些实施例的初始的电路版图的示意图；
[0023]图3示出了根据本公开的一些实施例的最终的电路版图的示意图；
[0024]图4示出了初始的电路版图的两个子区域与最终的电路版图的两个子区域的对照图；
[0025]图5示出了根据本公开的一些实施例的用于生成电路版图的过程的流程图；
[0026]图6示出了根据本公开的一些实施例的用于计算全局成本的流程图；以及
[0027]图7示出了可以用来实施本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种确定电路版图的方法，包括：针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示所述电路版图的着色不平衡程度；依次针对所述多个子区域中的至少一个子区域，执行颜色转换以更新所述电路版图，所述颜色转换将所述子区域中的所述第一颜色改变为所述第二颜色并且将所述第二颜色改变为所述第一颜色；确定经更新的所述电路版图的更新全局成本；以及如果确定所述更新全局成本小于所述初始全局成本，保留所述颜色转换；基于所述多个子区域中的至少一个子区域的所述颜色转换的结果，生成最终的电路版图。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：如果确定所述更新全局成本不小于所述初始全局成本，放弃所述颜色转换。3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述初始全局成本包括：利用扫描窗口，多次扫描所述电路版图；针对多次扫描中的每次扫描：确定所述扫描窗口中的所述第一颜色的第一面积和所述第二颜色的第二面积；以及基于所述第一颜色的所述第一面积和所述第二颜色的所述第二面积，确定着色不平衡值；以及基于针对所述多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定所述初始全局成本。4.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述第一颜色的所述第一面积和所述第二颜色的所述第二面积确定所述着色不平衡值包括：基于第一面积差和第一面积和的比值，确定所述着色不平衡值；所述第一面积差为所述第一面积和所述第二面积之差，所述第一面积和为所述第一面积和所述第二面积之和，，并且其中基于针对所述多次扫描而确定的所述多个着色不平衡值确定所述初始全局成本包括：获取每一次扫描的着色不平衡值；通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，来确定所述初始全局成本。5.根据权利要求1所述的方法，其中确定经更新的所述电路版图的所述更新全局成本包括：利用扫描窗口，多次扫描经更新的所述电路版图；针对多次扫描中的每次扫描：确定所述扫描窗口中的所述第一颜色的第三面积和所述第二颜色的第四面积；以及基于所述第三面积和所述第四面积，确定着色不平衡值；以及基于针对所述多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定所述更新全局成本。6.根据权利要求5所述的方法，其中基于所述第三面积和所述第四面积确定所述着色不平衡...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：全芯智造技术有限公司，
类型：发明
国别省市：