提供试样保持架和带电粒子束装置，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。试样保持架(19)具有基础部(41)、试样搭载部(42)、旋转引导部(43)、冷却载台(46)、连接部件(47)、第1支承部和固定引导部(48)。基础部(41)固定于由载台驱动机构(13)旋转驱动的载台(12)。旋转引导部(43)引导基础部(41)和试样搭载部(42)的同步旋转。冷却载台(46)对试样(S)进行冷却。连接部件(47)与冷却载台(46)连接。第1支承部支承由载台(12)旋转驱动的基础部(41)。固定引导部(48)经由第1支承部而与基础部(41)连接，并且，独立于基础部(41)而引导连接部件(47)的固定。(41)而引导连接部件(47)的固定。(41)而引导连接部件(47)的固定。
【技术实现步骤摘要】
试样保持架和带电粒子束装置
[0001]本专利技术涉及试样保持架和带电粒子束装置。
技术介绍
[0002]以往，在电子束装置、会聚离子束装置或会聚离子束和电子束的复合束装置等带电粒子束装置中，优选进行基于所谓in-situ的多种试样分析。例如，公知有一种带电粒子束装置，该带电粒子束装置具有用于一边冷却试样一边进行加工和观察的冷却载台、用于对试样的电气特性等进行分析的多探针、以及用于对试样的机械特性进行分析的纳米压痕仪等。
[0003]例如，公知有一种会聚离子束装置，该会聚离子束装置具有：试样保持架，其在试样室的内部保持试样以用于试样的冷却；以及冷却用的热传递部件，其与试样保持架连结，并且经由设置于试样室的冷却端口被引导至外部(例如参照专利文献1)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2005-136389号公报
技术实现思路
[0007]专利技术要解决的问题
[0008]但是，在上述这种带电粒子束装置中，有时与多个不同试样分析对应地在形成于试样室的多个专用端口配置有各种管和缆线等。但是，在试样室形成有多个专用端口的情况下，各种设备的布局可能产生制约。此外，例如在具有由多个不同旋转轴的旋转机构等驱动的载台(试样台)的情况下，各种试样分析所需要的管和缆线等与载台或试样保持架连接，由此，可能很难进行期望的驱动。
[0009]本专利技术的目的在于，提供如下的试样保持架和带电粒子束装置：能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。
[0010]用于解决问题的手段
[0011]为了解决上述课题，本专利技术的试样保持架具有：基础部，其固定于驱动载台；试样搭载部，其搭载试样；驱动引导部，其引导所述基础部和所述试样搭载部的同步的驱动；功能部，其对所述试样作用规定功能；连接部件，其与所述功能部连接；第1支承部，其将由所述驱动载台驱动的所述基础部与所述连接部件之间支承为能够相对移动；以及固定引导部，其经由所述第1支承部而与所述基础部连接，并且，独立于与所述基础部而引导所述连接部件的固定。
[0012]在上述结构中，也可以是，所述试样保持架具有第2支承部，所述第2支承部将由所述驱动载台驱动的所述试样搭载部与所述功能部之间支承为能够相对移动，所述功能部经由所述第2支承部而与所述试样搭载部连接。
[0013]在上述结构中，也可以是，所述功能部通过在形成于内部的流路和所述连接部件
中流通的制冷剂对所述试样搭载部进行冷却。
[0014]在上述结构中，也可以是，所述驱动引导部具有热绝缘构造。
[0015]在上述结构中，也可以是，所述试样保持架具有导通连接部，所述导通连接部在导通状态下将固定于由所述驱动载台驱动的所述试样搭载部的所述功能部与所述连接部件之间连接为能够相对移动。
[0016]本专利技术的带电粒子束装置具有：上述任意一个试样保持架；试样室，其配置有所述驱动载台；带电粒子束镜筒，其对所述试样照射带电粒子束；更换室，其安装于所述试样室；开闭部，其对所述试样室与所述更换室之间进行开闭；以及搬运部件，其在所述试样室与所述更换室之间搬运所述试样保持架。
[0017]专利技术的效果
[0018]根据本专利技术，具有固定引导部，该固定引导部独立于由驱动载台驱动的基础部而引导与功能部连接的连接部件的固定，由此，能够抑制装置结构变得复杂，并且能够容易地变更试样的位置和姿态。
附图说明
[0019]图1是示出本专利技术的实施方式中的带电粒子束装置的结构的立体图。
[0020]图2是切断本专利技术的实施方式中的带电粒子束装置的试样室和更换室的一部分并从Z轴方向观察的图。
[0021]图3是示出本专利技术的实施方式中的带电粒子束装置的载台和试样保持架的结构的立体图。
[0022]图4是示出本专利技术的实施方式中的试样保持架的结构的立体图。
[0023]图5是示出本专利技术的实施方式中的试样保持架的结构的剖视图。
[0024]图6是示出本专利技术的实施方式的第1变形例中的试样保持架的结构的剖视图。
[0025]图7是示出本专利技术的实施方式的第1变形例中的功能载台的一例的图。
[0026]图8是示出本专利技术的实施方式的第1变形例中的功能载台的另一例的图。
[0027]图9是示出本专利技术的实施方式的第2变形例中的试样保持架的结构的剖视图。
[0028]图10是图9所示的区域X的局部放大图。
[0029]标号说明
[0030]O：旋转轴线；S：试样；10：带电粒子束装置；11：试样室；12：载台(驱动载台)；13：载台驱动机构；14：检测器；15：气体供给部；16：电子束镜筒(带电粒子束镜筒)；17：会聚离子束镜筒(带电粒子束镜筒)；18：更换室；19、19A、19B：试样保持架；21：旋转机构；22：直动机构；30：分隔阀(开闭部)；31：搬运部件；32：馈通；41：基础部；42：试样搭载部；42a：试样固定部；42b：连结部；43、43A、43B：旋转引导部(驱动引导部)；44：第1支承部(第1支承部)；45：第2支承部(第2支承部)；46：冷却载台；46b：冷却部(功能部)；46d：循环流路(流路)；47、47A：连接部件；48：固定引导部；49：引导支承部；51：功能载台；61：试样搭载部；62：功能部；63：连结部；64：连接端部；65：导通连接部。
具体实施方式
[0031]下面，参照附图对本专利技术的实施方式的试样保持架和带电粒子束装置进行说明。
[0032](带电粒子束装置)
[0033]图1是示出实施方式中的带电粒子束装置10的结构的立体图。图2是切断实施方式中的带电粒子束装置10的试样室11和更换室18的一部分并从Z轴方向观察的图。另外，下面，X轴、Y轴和Z轴构成三维正交坐标系。三维空间中彼此正交的X轴、Y轴和Z轴的各轴方向是与各轴平行的方向。X轴方向和Y轴方向跟与带电粒子束装置10的上下方向正交的基准面(例如水平面等)平行。Z轴方向与带电粒子束装置10的上下方向(例如与水平面正交的铅垂方向等)平行。
[0034]带电粒子束装置10例如是电子束和会聚离子束的复合束装置。带电粒子束装置10具有试样室11、载台(试样台)12、载台驱动机构13、检测器14、气体供给部15、电子束镜筒16、会聚离子束镜筒17、更换室18和试样保持架19。
[0035]试样室11使内部维持减压状态。
[0036]载台12配置于试样室11的内部的载台驱动机构13。载台12固定试样保持架19。载台驱动机构13固定于试样室11的内部。载台驱动机构13根据来自控制装置(图示省略)的指令对载台12进行驱动。
[0037]图3是示出实施方式中的带电粒子束装置10的载台12和试样保持架19的结构的立体图。载台驱动机构13例如具有旋转机构21和直动机构22。旋转机构21使载台12绕规定旋转轴旋转。旋转机构21的规定旋本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种试样保持架，其特征在于，所述试样保持架具有：基础部，其固定于驱动载台；试样搭载部，其搭载试样；驱动引导部，其引导所述基础部和所述试样搭载部的同步的驱动；功能部，其对所述试样作用规定功能；连接部件，其与所述功能部连接；第1支承部，其将由所述驱动载台驱动的所述基础部与所述连接部件之间支承为能够相对移动；以及固定引导部，其经由所述第1支承部而与所述基础部连接，并且，独立于所述基础部而引导所述连接部件的固定。2.根据权利要求1所述的试样保持架，其特征在于，所述试样保持架具有第2支承部，所述第2支承部将由所述驱动载台驱动的所述试样搭载部与所述功能部之间支承为能够相对移动，所述功能部经由所述第2支承部而与所述试样搭载部连接。3.根据权利要求1或2所述的试样保持架，其特征在于，所述功...
【专利技术属性】
技术研发人员：岩堀敏行，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：
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