一种三面导向的液体静压超精密滑台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种超精密的移动定位装置，尤其涉及一种三面导向的液体静压超精密移动滑台。采用的技术方案是：一种三面导向的液体静压超精密滑台，包括导轨座和滑台本体，导轨座的横截面呈T型，其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置，滑台本体由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成。本实用新型专利技术的优点是：与超精密机床系统相配合，通过驱动装置和位置反馈装置的作用，可以实现三面导向的零接触式精确直线运，实现精确的位置定位。实现精确的位置定位。实现精确的位置定位。

【技术实现步骤摘要】
一种三面导向的液体静压超精密滑台


[0001]本技术涉及一种超精密的移动定位装置，尤其涉及一种三面导向的液体静压超精密移动滑台。

技术介绍

[0002]随着工业技术的迅速发展，对超精密移动滑台的设计和制造要求越来越高，随着伺服控制技术和传感技术的进步，在数控系统的控制下，机床可以执行亚微米级的精确运动。因此，对与机床配套的移动滑台的结构的要求也越来越高。现有的移动滑台，结构简单，使用效果差，不能满足现有的机床的使用要求。因此，应该提供一种新的技术方案解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是：针对以上不足，提供一种结构合理、使用效果好的三面导向的液体静压超精密滑台。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：
[0005]一种三面导向的液体静压超精密滑台，包括导轨座和滑台本体，所述导轨座的横截面呈T型，其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置，所述滑台本体由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成，
[0006]所述上溜板组件的上溜板的表面上设置有多个矩形沉槽，在每个沉槽的中央安装有上溜板节流器，在所述沉槽的台肩上设有上溜板O 型密封圈用于实现上溜板节流器和上溜板的连接密封，每个上溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，所述沉头通孔上安装有堵头，在上溜板的四周侧面都设置了油孔与所有的上溜板节流器贯通，且每个油孔上安装了堵头，以在上溜板组件上实现闭环油路系统；
[0007]所述侧溜板组件的侧溜板的表面上也设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有侧溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装了侧溜板O型密封圈用于实现侧溜板节流器和侧溜板的连接密封，每个侧溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在侧溜板的两端设置有油孔与所有的侧溜板节流器贯通，且油孔上安装有堵头，以在侧溜板组件上实现闭环油路系统；
[0008]所述下溜板组件的下溜板上设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有下溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装有下溜板O型密封圈用于实现下溜板节流器和下溜板的连接密封，每个下溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在下溜板的两端设置有油孔与所有的下溜板节流器贯通，且每个油孔上安装有堵头，以在下溜板组件上实现闭环油路系统。
[0009]进一步的技术方案是：
[0010]所述上溜板节流器、侧溜板节流器以及下溜板节流器均是通过螺纹旋钮在相应位置的沉槽中央的沉孔中。
[0011]所述上溜板的表面上设置有8个矩形沉槽，所述侧溜板和下溜板的表面上设置有4个矩形沉槽。
[0012]所述侧溜板组件还在侧溜板上下油孔端口处设置了8个密封环形槽，槽内安装有侧板O型密封圈，用于侧溜板和上溜板组件、下溜板组件安装固定后的油路密封闭环。
[0013]由于上述技术方案的应用，本技术与现有技术相比具有如下优点：
[0014]1、本技术的三面导向的液体静压超精密滑台，与超精密机床系统相配合，通过驱动装置和位置反馈装置的作用，可以实现三面导向的零接触式精确直线运，实现精确的位置定位。
[0015]2、本技术的三面导向的液体静压超精密滑台，节流器的后方设置沉头通孔和堵头结构，便于后期进行节流器的堵塞维护。
[0016]3、本技术的三面导向的液体静压超精密滑台，在上、下溜板以及侧溜板组件上均设置有进油口和堵头，以实现闭环的油路系统，以保证精密滑台的润滑效果和运行需求。
附图说明
[0017]附图1为本技术主视图。
[0018]附图2为本技术俯视图。
[0019]附图3为上溜板组件结构示意图。
[0020]附图4为附图3背面结构示意图。
[0021]附图5为附图4A-A向结构示意图。
[0022]附图6为附图4B-B向结构示意图。
[0023]附图7为侧溜板组件结构示意图。
[0024]附图8为附图7背面结构示意图。
[0025]附图9为附图7A-A向结构示意图。
[0026]附图10为下溜板组件结构示意图。
[0027]附图11为附图10背面结构示意图。
[0028]附图12为附图10A-A向结构示意图。
[0029]以上附图中，1、导轨座，2、滑台本体，3、上溜板组件，3-1、上溜板，3-2、上溜板O型密封圈，3-3、上溜板节流器，3-4、堵头， 4、侧溜板组件，4-1、侧溜板，4-2、侧溜板O型密封圈，4-3、侧溜板节流器，5、下溜板组件，5-1、下溜板，5-2、下溜板O型密封圈， 5-3、下溜板节流器。
具体实施方式
[0030]下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：
[0031]实施例一：
[0032]如图所示，作为本技术的第一个实施例，本技术的一种三面导向的液体静压超精密滑台，包括导轨座1和滑台本体2，所述导轨座1的横截面呈T型，其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置，所述滑台本体2由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成，
[0033]所述上溜板组件的上溜板的表面上设置有多个矩形沉槽，在每个沉槽的中央安装有上溜板节流器，在所述沉槽的台肩上设有上溜板O 型密封圈用于实现上溜板节流器和上溜板的连接密封，每个上溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，所述沉头通孔上安装有堵头，在上溜板的四周侧面都设置了油孔与所有的上溜板节流器贯通，且每个油孔上安装了堵头，以在上溜板组件上实现闭环油路系统；
[0034]所述侧溜板组件的侧溜板的表面上也设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有侧溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装了侧溜板O型密封圈用于实现侧溜板节流器和侧溜板的连接密封，每个侧溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在侧溜板的两端设置有油孔与所有的侧溜板节流器贯通，且油孔上安装有堵头，以在侧溜板组件上实现闭环油路系统；
[0035]所述下溜板组件的下溜板上设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有下溜板节流器，在所述沉槽的台肩上安装有下溜板O型密封圈用于实现下溜板节流器和下溜板的连接密封，每个下溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在下溜板的两端设置有油孔与所有的下溜板节流器贯通，且每个油孔上安装有堵头，以在下溜板组件上实现闭环油路系统。
[0036]优选的，作为本技术的第二个实施例，本实施例是对实施例一的进一步限定，所述上溜板节流器3-3、侧溜板节流器4-3以及下溜板节流器5-3均是通过螺纹旋钮在相应位置的沉槽中央的沉孔中。
[0037]优选的，作为本技术的第三个实施例，本实施例是对实施例一的进一步限定，所述上溜板3-1的表面上设置有8个矩形沉槽，所述侧溜板4-1和下溜板5-1的表面上设置有4个矩形沉槽。
[0038]优选的，作为本技术的第四个实施例，本实施例是对实施例一的进一步限定，所述侧溜板组件4还在侧溜板4-1上下油本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三面导向的液体静压超精密滑台，其特征在于：包括导轨座(1)和滑台本体(2)，所述导轨座(1)的横截面呈T型，其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置，所述滑台本体(2)由上溜板组件(3)、两件侧溜板组件(4)和下溜板组件(5)通过连接件连接安装固定而成，所述上溜板组件(3)的上溜板(3-1)的表面上设置有多个矩形沉槽，在每个沉槽的中央安装有上溜板节流器(3-3)，在所述沉槽的台肩上设有上溜板O型密封圈(3-2)用于实现上溜板节流器(3-3)和上溜板(3-1)的连接密封，每个上溜板节流器(3-3)的正后方都设有沉头通孔，所述沉头通孔上安装有堵头(3-4)，在上溜板(3-1)的四周侧面都设置了油孔与所有的上溜板节流器(3-3)贯通，且每个油孔上安装了堵头(3-4)，以在上溜板组件上实现闭环油路系统；所述侧溜板组件(4)的侧溜板(4-1)的表面上也设置有多个矩形沉槽，每个沉槽的中央安装有侧溜板节流器(4-3)，在所述沉槽的台肩上安装了侧溜板O型密封圈(4-2)用于实现侧溜板节流器(4-3)和侧溜板(4-1)的连接密封，每个侧溜板节流器的正后方都设有沉头通孔，其上安装有堵头，在侧溜板(4-1)的两端设置有油孔与所有的侧溜板节流器(4-3)贯通，且油孔上安装有堵头...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷秋梅，
申请(专利权)人：姜堰经济开发区科创中心，
类型：新型
国别省市：