一种MEMS微镜装配系统技术方案

技术编号:27798586 阅读:22 留言:0更新日期:2021-03-23 18:01
本实用新型专利技术公开了一种MEMS微镜装配系统,包括工作台,所述工作台一侧设置有MEMS微镜封装结构主体,所述工作台靠近MEMS微镜封装结构主体的一侧开设有限位孔,所述工作台靠近限位孔的一侧固定连接有限位块,所述限位孔内侧壁光滑贴合有活动杆,本实用新型专利技术通过设置防尘罩与限位块、锥形板,防尘罩的设置避免吹向MEMS微镜封装结构主体的气流中带有较大颗粒的灰尘,锥形板的设置有利于风机更好的运转,限位块的设置避免橡胶软管波动幅度较大,该装置操作简单,使用效果更好,从而提升对MEMS微镜封装的封装速度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS微镜装配系统
本技术涉及微镜封装领域,尤其涉及一种MEMS微镜装配系统。
技术介绍
微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术,为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。传统MEMS微镜封装结构在封装过程中未设置散热装置,而在对MEMS微镜封装后需要对其表面进行散热,从而提高对MEMS微镜的封装速度,传统散热结构往往只能保证定向送风,导致被散热物体的背风面或拐角处散热效果较差,从而我们设计一种MEMS微镜装配系统。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种MEMS微镜装配系统。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种MEMS微镜装配系统,包括工作台,所述工作台一侧设置有MEMS微镜封装结构主体,所述工作台靠近MEMS微镜封装结构主体的一侧开设有限位孔,所述工作台靠近限位孔的一侧固定连接有限位块,所述限位孔内侧壁光滑贴合有活动杆,所述活动杆底部光滑贴合有凸轮,所述凸轮靠近MEMS微镜封装结构主体的一侧固定连接有转动杆,所述转动杆远离凸轮的一端固定连接有电机,所述电机顶端与工作台底部固定连接,所述活动杆顶端固定连接有活动管,所述活动管底部与工作台之间设置有弹簧,所述活动管靠近限位块的一端固定连接有橡胶软管,所述橡胶软管底部依次贯穿限位块与工作台并固定连接有风机,所述风机底部固定连接有连接管,所述连接管远离风机的一端螺纹连接有锥形板,所述锥形板开口端固定连接有防尘罩。作为上述技术方案的进一步描述:所述电机驱动端与转动杆固定连接,所述风机出风口与橡胶软管固定连接,所述风机进风口与连接管固定连接。作为上述技术方案的进一步描述:所述转动杆、活动杆与活动管均为合金材质制成,所述限位块与橡胶软管外侧壁固定连接。作为上述技术方案的进一步描述:所述弹簧位于活动杆外侧。作为上述技术方案的进一步描述:所述锥形板为合金材质制成。作为上述技术方案的进一步描述:所述凸轮、转动杆均位于工作台底部。作为上述技术方案的进一步描述:所述电机与风机、MEMS微镜封装结构主体均与外部电源电性连接。本技术具有如下有益效果:1、本技术通过设置防尘罩与限位块、锥形板,防尘罩的设置避免吹向MEMS微镜封装结构主体的气流中带有较大颗粒的灰尘,锥形板的设置有利于风机更好的运转,限位块的设置避免橡胶软管波动幅度较大,该装置操作简单,使用效果更好,从而提升对MEMS微镜封装的封装速度。2、本技术通过设置电机与风机,在工作时打开电机与风机,使得风机附近负压,从而将锥形板外部空气经防尘罩、锥形板与连接管带入风机内部,再经橡胶软管、活动管进入MEMS微镜封装结构主体内部,电机带动转动杆、凸轮转动,当凸轮凸端接触活动杆时,将活动杆向上拨动,从而带动活动管向移动,这时弹簧伸展,当凸轮凸端远离活动杆时,这时弹簧收缩,从而带动活动杆与活动管向下移动,电机带动凸轮持续转动从而带动活动杆与活动管上下抖动,从而更好的对MEMS微镜封装结构主体内部进行散热,电机与风机的设置使得吹入MEMS微镜封装结构主体内部的风向不停变化,从而更好的对MEMS微镜内拐角处与背风处进行风冷散热,该装置散热效果更好,从而提升对MEMS微镜封装的封装速度。附图说明图1为本技术提出的一种MEMS微镜装配系统的侧面剖视图;图2为图1中A处放大图;图3为本技术提出的一种MEMS微镜装配系统中电机、凸轮与转动杆的正视图。图例说明:1、工作台;2、MEMS微镜封装结构主体;3、橡胶软管;4、限位块;5、风机;6、连接管;7、锥形板;8、防尘罩;9、转动杆;10、凸轮;11、电机;12、活动杆;13、弹簧;14、活动管;15、限位孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。参照图1-3,本技术提供的一种实施例:一种MEMS微镜装配系统,包括工作台1,工作台1一侧设置有MEMS微镜封装结构主体2,工作台1靠近MEMS微镜封装结构主体2的一侧开设有限位孔15,工作台1靠近限位孔15的一侧固定连接有限位块4,限位孔15内侧壁光滑贴合有活动杆12,活动杆12底部光滑贴合有凸轮10,凸轮10靠近MEMS微镜封装结构主体2的一侧固定连接有转动杆9,转动杆9远离凸轮10的一端固定连接有电机11,电机11顶端与工作台1底部固定连接,活动杆12顶端固定连接有活动管14,活动管14底部与工作台1之间设置有弹簧13,活动管14靠近限位块4的一端固定连接有橡胶软管3,橡胶软管3底部依次贯穿限位块4与工作台1并固定连接有风机5,风机5底部固定连接有连接管6,连接管6远离风机5的一端螺纹连接有锥形板7,锥形板7开口端固定连接有防尘罩8。电机11驱动端与转动杆9固定连接,风机5出风口与橡胶软管3固定连接,风机5进风口与连接管6固定连接,便于更好的对MEMS微镜封装结构主体2内部进行风冷散热。转动杆9、活动杆12与活动管14均为合金材质制成,限位块4与橡胶软管3外侧壁固定连接。弹簧13位于活动杆12外侧,便于更好的带动活动杆12复位。锥形板7为合金材质制成。凸轮10、转动杆9均位于工作台1底部,便于更好的对MEMS微镜封装结构主体2进行散热。电机11与风机5、MEMS微镜封装结构主体2均与外部电源电性连接。工作原理:在工作时打开电机11与风机5,使得风机5附近负压,从而将锥形板7外部空气经防尘罩8、锥形板7与连接管6带入风机5内部,再经橡胶软本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS微镜装配系统,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)一侧设置有MEMS微镜封装结构主体(2),所述工作台(1)靠近MEMS微镜封装结构主体(2)的一侧开设有限位孔(15),所述工作台(1)靠近限位孔(15)的一侧固定连接有限位块(4),所述限位孔(15)内侧壁光滑贴合有活动杆(12),所述活动杆(12)底部光滑贴合有凸轮(10),所述凸轮(10)靠近MEMS微镜封装结构主体(2)的一侧固定连接有转动杆(9),所述转动杆(9)远离凸轮(10)的一端固定连接有电机(11),所述电机(11)顶端与工作台(1)底部固定连接,所述活动杆(12)顶端固定连接有活动管(14),所述活动管(14)底部与工作台(1)之间设置有弹簧(13),所述活动管(14)靠近限位块(4)的一端固定连接有橡胶软管(3),所述橡胶软管(3)底部依次贯穿限位块(4)与工作台(1)并固定连接有风机(5),所述风机(5)底部固定连接有连接管(6),所述连接管(6)远离风机(5)的一端螺纹连接有锥形板(7),所述锥形板(7)开口端固定连接有防尘罩(8)。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS微镜装配系统,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)一侧设置有MEMS微镜封装结构主体(2),所述工作台(1)靠近MEMS微镜封装结构主体(2)的一侧开设有限位孔(15),所述工作台(1)靠近限位孔(15)的一侧固定连接有限位块(4),所述限位孔(15)内侧壁光滑贴合有活动杆(12),所述活动杆(12)底部光滑贴合有凸轮(10),所述凸轮(10)靠近MEMS微镜封装结构主体(2)的一侧固定连接有转动杆(9),所述转动杆(9)远离凸轮(10)的一端固定连接有电机(11),所述电机(11)顶端与工作台(1)底部固定连接,所述活动杆(12)顶端固定连接有活动管(14),所述活动管(14)底部与工作台(1)之间设置有弹簧(13),所述活动管(14)靠近限位块(4)的一端固定连接有橡胶软管(3),所述橡胶软管(3)底部依次贯穿限位块(4)与工作台(1)并固定连接有风机(5),所述风机(5)底部固定连接有连接管(6),所述连接管(6)远离风机(5)的一端螺纹连接有锥形板(7),所述锥形板(7)开口端固定连接有防尘罩(8)。

【专利技术属性】
技术研发人员:徐乃涛程进孙其梁李宋泽
申请(专利权)人:无锡微视传感科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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