使用湿气体的静电电荷减少系统技术方案

本发明专利技术涉及一种使用湿气体的静电电荷减少系统，包括连接低压电源的导体、具有至少第一表面的静电电荷减少部件，以及用于将相对湿度大于60％的湿气体连续供应到所述静电电荷减少部件的所述第一表面和/或潜伏有静电电荷的静电潜伏物的放电表面的湿气体供应器。通过将所述静电电荷减少部件的所述第一表面与所述静电潜伏物的所述放电表面瞬时接触和分离，使得所述静电潜伏物上的所述静电电荷至少急剧下降到原来的至少一半以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】使用湿气体的静电电荷减少系统
本专利技术涉及静电电荷减少技术，更具体地说，涉及一种使用湿气体的静电电荷减少系统。
技术介绍
众所周知，在全球电子制造业中，静电放电(ESD，electrostaticdischarge)对芯片的破坏每年会造成数十亿的损失。在当今高速、高产量的自动化生产环境中，微芯片因静电放电事件的存在而容易导致损坏的风险越来越大。长期以来，利用气体离子发生器控制静电电荷是电子工业中广泛应用的方法。气体离子发生器(airionizer)最大的天然缺点之一是，由于需要一定的缓解时间(mitigationtime)(衰减时间(decaytime))才能将静电电荷降低到安全舒适的水平，因此它不能足够快地中和芯片上众多的静电电荷。因此，在当今高度竞争的制造业中，研究一种在日益高速的自动化制造环境中快速、经济地缓解静电的方法，以应对快节奏和高速的变化，是全球迫切需要解决的问题。在现有技术中，湿气体被认为是减轻静电的有效方法之一。尽管现有技术引用了使用这种湿气体缓解静电电荷的优点，但据了解，这种有效性更适用于组装印刷电路板(PCBA)和微芯片，其中湿气体在这种小尺寸和高度紧凑的静电敏感部件上表现出良好的效果。然而，当涉及到具有大绝缘表面积的物体或高纯度或高绝缘性质的材料(如聚合物膜、片材或宽网等)时，这些现有技术将不能解决制造业所面临的这些静电电荷问题。因此，需要进一步的研究和开发，以充分克服这些问题。
技术实现思路
根据一个方面，提供了一种使用湿气体的静电电荷减少系统，包括连接低压电源的导体、具有至少第一表面的静电电荷减少部件，以及用于将相对湿度大于60％的湿气体连续供应到所述静电电荷减少部件的所述第一表面和/或潜伏有静电电荷的静电潜伏物(staticlatentobject)的放电表面的湿气体供应器；其中，通过将所述静电电荷减少部件的所述第一表面与所述静电潜伏物的所述放电表面瞬时接触和分离，使得所述静电潜伏物上的所述静电电荷至少急剧下降到原来的至少一半以下。优选地，用相对湿度在70％-99％范围内的湿气体浸湿(soak)所述静电电荷减少部件的所述第一表面和/或所述静电潜伏物的所述放电表面，所述静电潜伏物上的所述静电电荷至少急剧下降到原来的十分之一以下到零。优选地，所述湿气体供应器包括湿气体生成器和用于将所述湿气体生成器生成的湿气体传送给所述静电电荷减少部件的输入管。优选地，所述静电电荷减少部件的所述第一表面是通风网状结构(airynetting)，所述湿气体通过在所述通风网状结构中的非阻塞性气流路径容易地进出所述通风网状结构。优选地，所述静电电荷减少部件包括设置在第一方向上的滚柱(roller)，所述静电潜伏物是在不同于所述第一方向的第二方向上移动的静电潜伏物，当所述滚柱的第一表面与所述柔性静电潜伏物的放电表面瞬时接触然后分离时，所述滚柱的第一表面和所述柔性静电潜伏物的放电表面在同一方向上移动。优选地，所述滚柱包括至少一个第一滚柱，所述第一滚柱包括具有圆柱形表面的滚柱体和连接所述导体的滚柱杆，其中所述柔性静电潜伏物的放电表面与所述滚柱体的所述圆柱形表面瞬时接触然后分离。优选地，提供一个所述第一滚柱，所述第一滚柱以逆时针方向旋转且所述柔性静电潜伏物以相同逆时针方向旋转以通过所述第一滚柱。优选地，提供一个以上的所述第一滚柱，每个所述第一滚柱的滚柱体围绕其滚柱轴旋转，所述柔性静电潜伏物的移动通过所述第一滚柱，从而使得所述柔性静电潜伏物的放电表面与至少一个所述第一滚柱的所述滚柱体的所述圆柱形表面瞬时接触然后分离。优选地，提供包括至少两个支管的输入管，所述支管用于将所述湿气体生成器生成的所述湿气体输送到所述第一滚柱中的至少两个第一滚柱。优选地，所述滚柱包括至少一个第二滚柱，所述第二滚柱包括电连接所述导体的杆轴和围绕所述杆轴的滚柱表面，所述柔性静电潜伏物在水平方向上移动，并且所述杆轴设置在所述柔性静电潜伏物的上方，使得所述第二滚柱的滚柱表面与所述柔性静电潜伏物的放电表面瞬时接触然后分离。优选地，所述杆轴设置在水平方向上，并且所述滚柱表面可围绕所述杆轴旋转。优选地，所述输入管设置成平行于所述第二滚柱并且所述输入管在朝向所述滚柱表面的表面上具有用于引导所述湿气体的多个孔。优选地，所述滚柱包括由具有多个分配杆的板形成的分配器，所述分配杆相对彼此旋转设置，所述柔性静电潜伏物的放电表面与所述多个分配杆中的至少一个的外表面瞬时接触然后分离。优选地，所述多个分配杆以环形图案设置在所述板上，并且所述板围绕其边缘附接有侧壁盖以形成具有开口的外壳，所述柔性静电潜伏物通过所述开口卷入所述分配器并通过所述多个分配杆。优选地，所述板在其中部附接有芯杆，所述柔性静电潜伏物卷入并通过所述多个分配杆，并最终卷绕在所述芯杆上或在所述外壳的开口处从所述分配器卷出。优选地，所述输入管包括用于将所述湿气体生成器生成的所述湿气体输送到所述分配器的至少两个支管；所述两个支管设置在靠近所述开口的位置，其中一个支管位于所述柔性静电潜伏物的上方，一个支管位于所述柔性静电潜伏物的下方。优选地，所述静电电荷减少部件是粘着膜去除机械机构，包括至少两个侧部结构，每个侧部结构具有彼此面对的一个槽，一对可滑动旋转杆保持在两个槽中以允许所述可滑动旋转杆自由且容易地滑动运动，所述柔性静电潜伏物插入所述可滑动旋转杆之间的间隙中，使得所述柔性静电潜伏物的放电表面与所可滑动旋转杆的外表面瞬时接触然后分离。优选地，所述可滑动旋转杆与所述两个侧部结构中的至少一个电连接，所述两个侧部结构进一步电连接所述导体。优选地，所述输入管包括用于将所述湿气体生成器生成的所述湿气体输送到所述粘着膜去除机械机构的至少两个支管；所述两个支管设置在所述可滑动旋转杆的相对侧。优选地，所述静电电荷减少部件包括沿第一方向间隔设置的至少第一滚柱和第二滚柱，以及用于固定所述第一滚柱、所述第二滚柱和所述输入管的滚柱支架，所述输入管设置在所述柔性静电潜伏物的上方。优选地，所述滚柱支架具有三角形形状并且可沿所述第二方向移动，所述第一滚柱和所述第二滚柱平行地设置在所述三角形形状的下部，所述输入管设置在所述三角形形状的上部。优选地，所述滚柱支架具有矩形形状并且可沿所述第二方向移动，所述第一滚柱和所述第二滚柱平行地设置在所述矩形形状的下部，两个以上的输入管设置在所述矩形形状的上部。优选地，所述湿气体供应器包括湿气体生成器、由外壁和内壁构成的中空腔室结构，以及用于将所述湿气体生成器生成的湿气体传送给所述中空腔室结构的湿气体传送元件，所述内壁上遍布有气孔，所述静电电荷减少部件包括沿着在所述中空腔室结构的中轴设置的滚柱。优选地，所述滚柱由弹性泡沫片构成的静电耗散或导电层或由突出短柱构成的静电耗散或导电层包裹。优选地，所述电阻具有小于10e7欧姆的电阻值并且接地或者串联到所述低压电源。优选地，所述柔性静电潜伏物包括聚合或绝缘膜、聚合或绝缘块、聚合或绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，包括连接低压电源的导体、具有至少第一表面的静电电荷减少部件，以及用于将相对湿度大于60％的湿气体连续供应到所述静电电荷减少部件的所述第一表面和/或潜伏有静电电荷的静电潜伏物的放电表面的湿气体供应器；其中，通过将所述静电电荷减少部件的所述第一表面与所述静电潜伏物的所述放电表面瞬时接触和分离，使得所述静电潜伏物上的所述静电电荷至少急剧下降到原来的至少一半以下。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180810 CN PCT/CN2018/0998581.一种使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，包括连接低压电源的导体、具有至少第一表面的静电电荷减少部件，以及用于将相对湿度大于60％的湿气体连续供应到所述静电电荷减少部件的所述第一表面和/或潜伏有静电电荷的静电潜伏物的放电表面的湿气体供应器；其中，通过将所述静电电荷减少部件的所述第一表面与所述静电潜伏物的所述放电表面瞬时接触和分离，使得所述静电潜伏物上的所述静电电荷至少急剧下降到原来的至少一半以下。


2.根据权利要求1所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，使用相对湿度在70％-99％范围内的湿气体浸湿所述静电电荷减少部件的所述第一表面和/或所述静电潜伏物的所述放电表面，所述静电潜伏物上的所述静电电荷至少急剧下降到原来的十分之一以下到零。


3.根据权利要求1或2所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述湿气体供应器包括湿气体生成器和用于将所述湿气体生成器生成的湿气体传送给所述静电电荷减少部件的输入管。


4.根据权利要求3所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述静电电荷减少部件的所述第一表面是通风网状结构，所述湿气体通过在所述通风网状结构中的非阻塞性气流路径容易地进出所述通风网状结构。


5.根据权利要求3所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述静电电荷减少部件包括设置在第一方向上的滚柱，所述静电潜伏物是在不同于所述第一方向的第二方向上移动的静电潜伏物，当所述滚柱的第一表面与所述柔性静电潜伏物的放电表面瞬时接触然后分离时，所述滚柱的第一表面和所述柔性静电潜伏物的放电表面在同一方向上移动。


6.根据权利要求5所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述滚柱包括至少一个第一滚柱，所述第一滚柱包括具有圆柱形表面的滚柱体和连接所述导体的滚柱杆，其中所述柔性静电潜伏物的放电表面与所述滚柱体的所述圆柱形表面瞬时接触然后分离。


7.根据权利要求6所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，提供一个所述第一滚柱，所述第一滚柱以逆时针方向旋转且所述柔性静电潜伏物以相同逆时针方向旋转以通过所述第一滚柱。


8.根据权利要求6所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，提供一个以上的所述第一滚柱，每个所述第一滚柱的滚柱体围绕其滚柱轴旋转，所述柔性静电潜伏物的移动通过所述第一滚柱，从而使得所述柔性静电潜伏物的放电表面与至少一个所述第一滚柱的所述滚柱体的所述圆柱形表面瞬时接触然后分离。


9.根据权利要求8所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述输入管包括至少两个支管，所述支管用于将所述湿气体生成器生成的所述湿气体输送到所述第一滚柱中的至少两个第一滚柱。


10.根据权利要求5所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述滚柱包括至少一个第二滚柱，所述第二滚柱包括电连接所述导体的杆轴和围绕所述杆轴的滚柱表面，所述柔性静电潜伏物在水平方向上移动，并且所述杆轴设置在所述柔性静电潜伏物的上方，使得所述第二滚柱的滚柱表面与所述柔性静电潜伏物的放电表面瞬时接触然后分离。


11.根据权利要求10所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述杆轴设置在水平方向上，并且所述滚柱表面可围绕所述杆轴旋转。


12.根据权利要求11所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述输入管设置成平行于所述第二滚柱并且所述输入管在朝向所述滚柱表面的表面上具有用于引导所述湿气体的多个孔。


13.根据权利要求5所述的使用湿气体的静电电荷减少系统，其特征在于，所述滚柱包括由具有多个分配杆的板形成的分配器，所述分配杆相对彼此...

【专利技术属性】
技术研发人员：高国兴，
申请(专利权)人：大科防静电技术咨询深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44