用于控制多个加工设备的方法技术

本发明专利技术提出了一种用于确定加工设备可行的构形的方法，以对通过多个加工设备生产至少一种产品进行生产控制和／或生产计划，该加工设备分别具有多个加工模件。根据本发明专利技术的方法包括以下步骤：ａ）对该产品确定一种单过程指令顺序，通过该顺序分别选择一定的加工设备，并确定由该加工设备完成的加工步骤，ｂ）根据待完成的加工步骤，确定加工设备可能的构形，并确定与单个构形相关的在加工设备上加工产品的时间，ｃ）提供在加工设备中的加工模件状态的信息，ｄ）由加工模件的状态信息以及按照待完成的加工步骤可能的加工设备构形，确定按照加工模件状态可行的加工设备构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间。用于控制多个加工设备的方法，这些加工设备各具有多个加工模件，用于生产至少一种产品。根据本发明专利技术的方法包括以下步骤：－对该产品确定一种单过程指令顺序，通过该顺序分别选择一定的加工设备，并确定由该加工设备完成的加工步骤，－根据待完成的加工步骤，确定加工设备可能的构形，并确定与单个构形相关的在加工设备上加工产品的时间，－获取在加工设备中的加工模件状态的信息，－由加工模件的状态信息以及按照待完成的加工步骤可能的加工设备构形，确定按照加工模件状态可行的加工设备构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间，－以由此获得的加工设备的可行构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间作为基础，在一优化算法中确定在单个加工设备上待完成的单过程指令的顺序。在本发明专利技术的第一种方法中获取这种信息，即哪些单过程指令能够由一个加工设备中同时实施。在本发明专利技术的第二种方法中将产品的生产过程分成单个过程目标，这些过程目标由一个或多个单过程指令实现，还设有这种过程目标，该目标可以或者通过选择一个加工设备的一个或多个单过程指令来实现，或者通过选择至少两个不同加工设备的多个单过程指令来实现。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

Method for controlling a plurality of machining equipment

The present invention provides a method of determining the configuration for processing equipment available, to control production and / or production plan through a plurality of processing equipment for producing at least one product, the processing equipment are provided with a plurality of processing modules. According to the method of the invention comprises the following steps: a) of the product to determine a single process instruction sequence, respectively select certain processing equipment through the sequence of processing steps and completed by the processing equipment, b) according to the processing steps to complete processing equipment, to determine the possible configurations, and determine the configuration the related processing equipment in the processing time of products with a single, c) to provide processing mode in the processing equipment in a state of information, d) by the state information processing module and processing equipment may in accordance with the processing steps to complete the configuration, determined in accordance with the processing module processing equipment configuration and feasible state the related processing equipment in the processing time of products with a single. A method for controlling a plurality of machining equipment each having a plurality of processing modules for producing at least one product. According to the method of the invention comprises the following steps: to determine a single product in the process of instruction sequence, choose certain processing equipment through the sequence of processing steps and completed by the processing equipment, and according to the processing steps to complete the configuration of processing equipment can be determined, and determine the relevant configuration in the processing equipment of processed products with a single time, the processing mode in the processing equipment in a state by state information, information processing module and processing equipment may in accordance with the processing steps to complete the configuration, determined in accordance with the processing module processing equipment state feasible configuration and shape related in the processing of equipment in processing time of products with a single structure, taking feasible configuration processing equipment thus obtained and a single configuration in the relevant processing equipment in processing of products As a basis, in an optimization algorithm, the order of the single process instructions to be completed on a single processing device is determined. In the first method of the invention, such information is obtained, i.e., which single process instructions can be simultaneously implemented by a processing device. In the production process is divided into single target process of second kinds of the method of the invention, the product, the target is realized by one or more single instruction process, this process is also provided with a target, the target can be realized by selecting or to make one or more of a single processing equipment, more than a single process the instruction or by selecting at least two different processing equipment to achieve.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，以进行生产控制或生产计划，具体说用于生产集成半导体产品的生产控制/生产计划。现代工业生产通常以高度自动化为特征。尤其在半导体工业中，为能够具有国际竞争能力高度自动化更是绝对必要。在生产过程中产品经过一系列加工步骤，这些加工步骤由不同的加工设备在待加工产品上自动进行。例如在生产集成半导体过程中，产品要经过多达600个步骤，其中相当大一部分可在一干净的室内环境中用高度专业化的加工设备进行。为此常常许多个同样的加工设备集中到一个加工区(“隔间(Bay)”)。现代加工设备(如所谓的“簇工具(Cluster Tools)”)常具有多个对待加工产品进行特有加工的模件。因此可以这样选择模件，使得模件只在各自不同的加工步骤中能够实施。然后待加工产品必须以规定顺序经过至少一部分模件，以便获得通过当前加工设备预定的加工。但加工设备的模件也可以这样选择，使得至少一部分模件能够进行各同样的步骤。这有一个好处，即在一个模件失灵时可以用相应的模件替换该模件，而不会使整个加工设备失灵。通过加工设备的这种模块化构造使得可以不太高的成本用一个加工设备加工多种不同产品。这提高了生产的灵活性从而提高了生产的经济合理性。这种自动化生产的成本大部分受到这样一个问题的影响，即如何能出色地有效地控制和计划生产过程。为了控制某一产品的整个生产过程，首先为每个产品准备一个工作计划。在该工作计划中限定许多个过程目标，其中每个过程目标通过一个或几个单过程指令(EPA，EinzelprozeBanweisung)。一个单过程指令通常指出要用来加工产品的加工设备，此外还包括由加工设备做完的准确的工作程序(如“NC-程序(数值控制程序)”)。而工作计划由一长系列的单过程指令组成，通过这些指令确定各个产品的加工。如果在预定的时间内大量生产一种产品或多种产品，则存在这样一个问题，即加工设备应以什么顺序进行各单过程指令(生产控制)。除此之外，常面临这样一个问题，设备的现有生产能力是否足以在预定的时间内生产出一定的工件数(生产计划)。这两个问题还因下述事实变得更困难并不是现有的设备都能使用。由于维护或者修理工作，常常一部分加工设备不能使用或者其使用受到限制，这在生产控制或生产计划中当然必须考虑。遗憾的是，迄今使用的用于生产控制或生产计划的方法对由于维护或者修理工作常常一部分加工设备不能使用或者其使用受到限制的事实只能给予很少的关注，因而，鉴于加工设备的最大能力和/或不同产品的生产周期而常常出现生产控制不完善或说明不完善。所以本专利技术的任务是，提出一种，以进行生产控制和/或生产计划，该方法能避免或减少现有方法的所述缺点。该任务是由如权利要求1所述的用于生产控制或生产计划的方法解决。本专利技术的其它有利的实施例、设计方案和方面由从属权利要求、说明书和附图给出。根据本专利技术，提出了一种，以对通过多个加工设备生产至少一种产品进行生产控制和/或生产计划，该加工设备分别具有多个加工模件。根据本专利技术的方法包括以下步骤a)对该产品确定一种单过程指令顺序，通过该顺序分别选择一定的加工设备，并确定由该加工设备完成的加工步骤，b)根据待完成的加工步骤，确定加工设备可能的构形，并确定与单个构形相关的在加工设备上加工产品的时间，c)提供在加工设备中的加工模件状态的信息，d)由加工模件的状态信息以及按照待完成的加工步骤可能的加工设备构形，确定按照加工模件状态可行的加工设备构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间。根据本专利技术，由于加工设备中一个或多个加工模件的失灵/阻塞而对一定单过程指令出现的不同加工时间，在生产控制或者生产计划中都能考虑到。与此相应，该生产控制导致高效的成本经济的生产，该生产计划导致准确的说明。由此获得的加工设备的可行构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间则可以作为优化算法的基础，以确定在单个加工设备上待完成的单过程指令的尽可能有效的顺序(生产控制)。由此获得的加工设备的可行构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间也可以用来在单个加工设备上待完成的单过程指令的预定顺序中确定单个产品的时间以及生产能力(生产计划)。根据本专利技术方法的优选实施例，此外还获得这样的信息，即哪个单过程指令能与一加工设备同时进行。在加工设备上完成单过程指令时可能出现这种情况完成该单过程指令不必需加工设备的所有加工模件。因此，不需要的加工模件可以用来完成其它的单过程指令。但这里必须考虑到第一加工步骤可能会对第二加工步骤产生负面影响，尽管两个加工步骤是在不同的加工模件中进行。例如第一加工步骤所必需的材料在第二加工步骤造成污染。但在本专利技术方法的该实施例中必须考虑这种相关性，从而能够有效地利用现有的加工能力。这里当可组合的单过程指令明显表明是这样的时特别有利。有利的是，为产品生产制定一工作计划，其将产品的生产过程分成单个的过程目标，其中单个的过程目标通过一个或多个单过程指令实现。这里当设有这种过程目标时特别有利，即该目标不仅可以通过选择一个加工设备的一个或多个单过程指令来实现，也可以通过选择至少两个不同加工设备的多个单过程指令来实现。通常加工设备和过程目标这样相继确定，即一种加工设备的结果与一种过程目标相对应。因此过程目标由一个或多个单过程指令实现，通过该指令分别只选择一个相应的几个设备。如果在一加工设备中出现单个加工模件失灵，则在该设备上的一些过程目标无法达到，因为该过程目标必需的加工步骤只能由该失灵的加工模件完成。但如果还有其它的刚好能够承担该加工步骤的加工设备，则本专利技术的方法可以用来以一个或多个新的单过程指令实现该过程目标，由此涉及失灵加工模件的目标部分可以在另外的加工设备上进行。以此方式，加工设备的未失灵加工模件可以继续由于实现过程目标。因此在很多情况下能够明显减少因加工模件失灵而使生产周期有一定程度的增加。如果本专利技术的方法用于生产控制，则最好是加工模件的状态信息代表在一个生产设备中加工模件的瞬时实际状态。如果本专利技术的方法用于生产计划，则最好是加工模件的状态信息代表在一个生产设备中加工模件的统计学状态。另外有利的是，记录一个加工模件未被使用的时间，区分是因为技术原因导致加工模件失灵还是因为刚好加工设备完成了单过程指令而使加工模件处于不使用状态。这使得可以分析负载损失，这一点在已知的用于生产控制或生产计划的方法中都无法实现。下面借助附图进一步描述本专利技术。附图说明图1是一种加工设备，如在半导体技术中使用的所谓“簇工具”，的示意图，图2是包括两个加工设备的加工区的示意图。图1示出了一种加工设备，如在半导体技术中使用的所谓“簇工具”，的示意图。加工设备10有五个加工模件A，B，C，D和E，所谓的过程箱，在其中可以进行例如用于在半导体基质上生成层的CVD法(化学汽相沉积)。此外，加工设备10有两个装载和卸载工位17和18，通过它们可以输入半导体片以在加工设备10中加工并在加工完后从加工设备10中输出。半导体片在加工设备10内部的输送通过一个装在加工设备10中央的机械手19进行。下表给出了用于实施本专利技术方法的单过程指令(EPA)的可能的结构。EPA号 101加工设备号10待完成程序序列1标准时间 33分钟加工模件 A，B，C，D，E构形 1，2，1，2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于确定加工设备可行的构形的方法，以对通过多个加工设备生产至少一种产品进行生产控制和／或生产计划，该加工设备分别具有多个加工模件，方法包括以下步骤： ａ）对该产品确定一种单过程指令顺序，通过该顺序分别选择一定的加工设备，并确定由该加工设备完成的加工步骤， ｂ）根据待完成的加工步骤，确定加工设备可能的构形，并确定与单个构形相关的在加工设备上加工产品的时间， ｃ）获取在加工设备中的加工模件状态的信息， ｄ）由加工模件的状态信息以及按照待完成的加工步骤可能的加工设备构形，确定按照加工模件状态可行的加工设备构形以及与单个构形相关的在加工设备中加工产品的时间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：H布克施米德，S坎尼，P菲德尔，M舍贝斯塔，P希尔特雷特，K布雷姆，J布兰德特，
申请(专利权)人：因芬尼昂技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]