本发明专利技术提供一种远程维护方法、一种远程维护系统和一种工业装置，用于根据该远程维护操作的内容和维护的请求目标实现控制和全面服务以及付帐，并且实现根据业务人员的属性的接入限度、根据该装置状态的接入限度以及根据该输出模式的输出限度。安装在工厂１２０的工业装置１２３和安装在维护中心１１０的操作装置１１３经由网络１００连接。操作装置１１３把指示涉及对该工业装置１２３维护的一个指令的指令信息发送到工业装置１２３，并且工业装置１２３根据接收的指令信息执行一个处理，根据执行处理的内容产生指示涉及维护的一个收费的收费信息，并且把该产生的收费信息的全部或一部分输出到该工业装置１２３的输出装置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
Remote maintenance method, industrial device and semiconductor device
The present invention provides a method for remote maintenance, a remote maintenance system and an industrial device, according to the contents of the remote maintenance operation and maintenance request target control and comprehensive services and billing, and realize the access limit according to the attribute of a service person, access limit according to the device state and output limit according to the output mode. The industrial device 120 installed in the factory 123 and the operation device 110 installed in the maintenance center 113 are connected via the network 100. The operation device 113 to indicate an instruction to relates to the industrial device 123 maintenance instruction information sent to the industrial device 123, and the 123 industrial device executes a process according to the instruction information received, a charge generated instructions involving maintenance executed according to the contents of the processing fee information, and the generated charge information all or part of the output to the output device of industrial device 123.
【技术实现步骤摘要】
技术介绍
<专利
>本专利技术涉及用于工业装置的远程维护系统的付帐方法与装置，尤其涉及一种远程维护方法和一种远程维护系统和装置，用于实现控制和全面服务，以及根据维护内容的付帐。<已有技术>通常，建议通过公用电话线或互联网络把生产商的工业装置连接到一个装置供应商的维修中心并且从该维修中心远程维护该工业装置。日本待公开专利申请No.平成11-15520建议一种使用网络的远程维护系统，通过该系统的使用，不管一个工业装置的安装区域如何，该工业装置都能够被维护。近年来，尤其在半导体工业中，由于资本投资的剧增而引起安装工业装置的数量迅速增加。在这种状态中，可能增加工业装置的维护成本以及如何抑制该维护费用成了一个问题。但是，这种事先为了维护而进行付帐的一般方法是一种即使当没有实际的设备维护也要根据一个工业装置的造价和业务人员的劳动成本对一个生产商做固定支出的付帐方法，实际存在的一个情况是该生产商必须支付该固定支出。而且，在日本待公开专利申请No.平成11-15520中没有描述付帐方法。本专利技术概要本专利技术是随着考虑上述问题出现的，本专利技术力图提供一种远程维护方法、一种远程维护系统和一种工业装置，用于根据该远程维护操作的内容和维护的请求目标实现控制和全面服务以及付帐，并且实现根据业务人员的属性的接入限度、根据该装置状态的接入限度以及根据该输出模式的输出限度。本专利技术的一个实施例是一个远程维护系统，用于执行具体处理的一个工业装置和为了维护该工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，本专利技术的实施例提供一种远程维护方法，特征在于该操作装置把指示一个维护命令的指令信息发送到该工业装置，并且该工业装置根据该接收的指令信息执行该处理，根据这执行的处理内容产生指示用于维护的价值的收费信息，并且输出该产生的收费信息的全部或一部分。通过使用本方法，能够完成由该工业装置根据该维护操作内容执行的控制和全面服务和付帐。以利用由此付帐方法管理的一个工业装置所制造为特征的半导体器件也包括在本专利技术的范畴中。本专利技术的另一实施例是一个远程维护系统，用于执行一个特定处理的一个或多个工业装置和用于维护该工业装置的一个或多个操作装置通过一个网络彼此连接，其提供一种远程维护方法，特征在于每一个工业装置监视在每一个工业装置中的故障出现，产生用于标识该故障条件的状态信息，决定将要被通知该产生的状态信息的操作装置，并且把产生的状态信息通知到该决定的操作装置，并且该操作装置根据该通知的状态信息决定针对该工业装置的故障解决方法，并且根据该解决方法把指示一个维护指令的指令信息发送到该工业装置，以及该工业装置根据该接收的指令信息执行该处理，根据被通知了状态信息的操作装置的标识符产生指示该维护价值的收费信息，并且输出该产生的收费信息的全部或一部分。通过使用本方法，能够执行根据该维护的请求目标的控制和全面服务和付帐。附图的简要描述附图说明图1是表示根据本专利技术第一实施例系统的结构方框图。图2是表示图1所示的半导体制造装置的结构的方框图。图3是表示由图1示出的该半导体制造装置管理的一个业务人员属性管理表格的结构。图4是表示由图1示出的由该半导体制造装置管理的装置状态管理表格的结构。图5是表示储在图1示出的该半导体制造装置中的一个程序管理表格的结构。图6是表示储在图1所示半导体制造装置中的一个执行权限管理表格的结构。图7是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种程序执行历史管理表格的结构。图8是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种传感器状态历史管理表格的结构。图9是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种处理结果管理表格的结构。图10是表示储在图1所示半导体制造装置中的一个输出控制管理表格的结构。图11是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种维护结果管理表格的结构。图12是表示储在图1所示半导体制造装置中的一种维护费用管理表格的结构。图13是表示在图1所示的该半导体制造装置和该操作装置之间发送与接收的一个信息的结构。图14是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。图15是表示图1所示的操作装置的操作流程图。图16是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。图17是表示图1所示的半导体制造装置的控制单元的操作流程图。图18是表示图1所示的半导体制造装置的I/O单元的操作流程图。图19表示在图1所示操作装置上显示的维护操作屏幕。图20表示将要被显示在图1所示半导体制造装置上的执行状态输出屏幕。图21表示将要被显示在图1所示半导体制造装置上的维护费用通知屏幕。图22是表示图1所示的半导体制造装置的操作装置的操作流程图。图23是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。图24表示将要被显示在图1所示操作装置上的维护费用列表设置屏幕。图25是表示图1所示的半导体制造装置的操作装置的操作流程图。图26是表示图1所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。图27表示在图1所示操作装置上显示的输出控制设置屏幕。图28是表示根据本专利技术第二实施例系统的结构方框图。图29是表示图28所示的半导体制造装置的通信单元的操作流程图。图30表示将要被显示在图28所示半导体制造装置上的维护请求传输目标设置屏幕。本专利技术的描述下面详细说明本专利技术的第一实施例。本实施例是应用本专利技术的一种半导体制造装置的远程维护系统。该系统能够实现根据维护内容的全面付帐。除了一个内置计算机之外，没有对于能够由本专利技术操作的工业装置的限制。但是在本实施例的说明中，假设是在用于半导体制造的一半导体制造工厂的工业装置中的各种装置和系统，例如一个曝光装置、一种敷层生成装置、一个热处理装置、一个装配装置以及一个检验装置。其中，这些装置和系统通常被叫做半导体制造装置。图1是应用了本专利技术的半导体制造装置的远程维护系统的结构的实例方框图。数字110表示提供一个半导体制造装置的公司(在下文记载为装置供应商)的一个维护中心。数字120表示一家使用该半导体制造装置进行半导体制造的公司的工厂(在下文记载为半导体生产商)。在图1所示的系统中，显示两个工厂120。然而，实际上可以有三家或更多的工厂120。而且，该工厂120可以属于不同的半导体生产商或同一个半导体生产商。在该维护中心110中，设置有一个或多个用于维护该半导体制造装置的操作装置113以及用于管理与该维护中心110通信的一个管理装置112。每一操作装置113和管理装置通过一个内部网络111与该管理装置112彼此连接。在每一个工厂120，设置了一个或多个用于制造半导体器件的半导体制造装置123和用于管理与工厂120通信的一个管理装置122。每一半导体制造装置123通过一个内部网络121与该管理装置122彼此连接。设置在维护中心110中的管理装置112通过一个互联网络100连接到设置在每一个工厂120的管理装置122。图1所示的每一装置是使用单一计算机的一个装置。然而实际上一个单一装置可以使用多个计算机，或多个装置可以使用单一计算机。设置在维修中心110的每一操作装置113是一个通过该维护中心110的业务人员遥控的用于维护每一个半导体制造装置123的装置。当从该管理装置112接收指示一个维护请求的信息(在下文记载为一个维本文档来自技高网...
【技术保护点】
用于一个系统的远程维护方法，用于执行一个具体的处理的工业装置和用于维护所说工业装置的一个操作装置通过一个网络彼此连接，特征在于，所说的操作装置把指示一个维护指令的指令信息发送到所说的工业装置，并且所说的工业装置根据接收的指令信息执行所说的处理，根据所说的执行处理的内容产生指示用于维护值的收费信息，并且把产生的收费信息的全部或一部分输出到所说工业装置的一个输出装置。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：有马纯太郎，稻叶雅章，相薗岳生，饭泉孝，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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