气体激光装置以及曝光系统制造方法及图纸

本申请实施例提供一种气体激光装置以及曝光系统，包括：腔室、第1部件、第2部件、光学元件、第1固定件和第2固定件；第1固定件使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在输出部；所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的切口部，所述第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固并固定在所述输出部。由此，施加给光学元件的应力较小，从而抑制在光学元件上的变形，可以改善通过光学元件的激光的波面。

【技术实现步骤摘要】
气体激光装置以及曝光系统
本申请涉及激光
，尤其涉及一种气体激光装置以及曝光系统。
技术介绍
曝光用准分子激光系统可以包括激光腔室，在激光腔室中封入有激光气体。通过电源对一对电极施加脉冲电压，从而生成激光。激光腔室具有开口，从该开口输出生成的激光。一般而言，在激光腔室的开口配置有窗盒，该窗盒包括能够透射激光的光学元件(窗)。窗盒可以通过窗盒保持部被固定，窗盒保持部具有开口并且被固定在激光腔室。其中，窗盒具有窗上支架和窗下支架，光学元件被该窗上支架和该窗下支架夹持，并使用螺钉对该窗盒进行固定。螺钉贯通该窗上支架和该窗下支架，并且到达窗盒保持部的内部。但是，在这样的结构中，当紧固该螺钉时，光学元件、窗上支架以及窗下支架被一起紧固并固定在窗盒保持部。因此，施加给光学元件的应力增大，从而在光学元件上会产生变形，导致通过光学元件的激光的波面劣化。应当注意，上面对
技术介绍
的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
为了解决上述问题的至少之一，本申请实施例提供一种气体激光装置以及曝光系统。根据本申请实施例的一方面，提供了一种气体激光装置，包括：腔室，其具有输出激光的输出部；第1部件，其被配置在所述输出部，并且具有供所述激光通过的第1开口；第2部件，其被配置在所述第1部件，并且具有供所述激光通过的第2开口；光学元件，其被所述第1部件和所述第2部件夹持，并且使所述激光透射；第1固定件，其使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在所述输出部；其中，所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的切口部，所述气体激光装置还包括第2固定件，所述第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固并固定在所述输出部。在一些实施例中，所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件通过多个所述第1固定件被一起紧固并且被固定在所述输出部。在一些实施例中，所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的多个所述切口部，通过从多个所述切口部使用多个所述第2固定件进行紧固来将所述第1部件固定在所述输出部。在一些实施例中，所述气体激光装置还包括输出耦合镜，所述输出部被配置在所述腔室与所述输出耦合镜之间。在一些实施例中，所述气体激光装置还包括窄带化装置，所述输出部被配置在所述腔室与所述窄带化装置之间。在一些实施例中，相对于通过相邻的第1固定件和第2固定件之间的中心点和所述第2开口的表面中心点的轴线，多个所述第1固定件被配置为非对称。在一些实施例中，相对于通过相邻的第1固定件和第2固定件之间的中心点和所述第1开口的表面中心点的轴线，多个所述第2固定件被配置为非对称。在一些实施例中，所述第1固定件为螺钉，并且所述第1部件、所述第2部件以及所述输出部形成有与所述螺钉配合使用的螺孔。在一些实施例中，所述第2固定件为螺钉，并且所述第1部件以及所述输出部形成有与所述螺钉配合使用的螺孔。根据本申请实施例的另一方面，提供了一种曝光系统，包括：如前所述的气体激光装置，以及曝光装置，其使用所述气体激光装置输出的激光进行曝光。本申请实施例的有益效果之一在于，第2部件具有供第1部件的一部分露出的切口部；使用第1固定件将第1部件、第2部件以及光学元件一起紧固；使用第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固。由此，施加给光学元件的应力较小，从而抑制在光学元件上的变形，可以改善通过光学元件的激光的波面。参照后文的说明和附图，详细公开了本申请的特定实施方式，指明了本申请的原理可以被采用的方式。应该理解，本申请的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本申请的实施方式包括许多修改、变型以及等同。附图说明所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本申请实施例的气体激光装置的一示意图；图2是本申请实施例的窗盒的一示意图；图3是本申请实施例的窗盒的一部分部件的一示意图；图4是本申请实施例的窗盒的另一部分部件的一示意图。具体实施方式参照附图，通过下面的说明，本申请的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本申请的特定实施方式，其表明了其中可以采用本申请的原则的部分实施方式，应了解的是，本申请不限于所描述的实施方式，相反，本申请包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。在本申请实施例中，术语“第一”、“第二”、“第1”、“第2”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。在本申请实施例中，单数形式“一”、“该”等可以包括复数形式，应广义地理解为“一种”或“一类”而并不是限定为“一个”的含义；此外术语“所述”应理解为既包括单数形式也包括复数形式，除非上下文另外明确指出。此外术语“根据”应理解为“至少部分根据……”，除非上下文另外明确指出。下面参照附图对本申请的实施方式进行说明。本申请实施例提供一种气体激光装置。图1是本申请实施例的气体激光装置的一示意图，示例性示出了气体激光装置的部分部件。如图1所示，气体激光装置100包括：腔室101，其具有输出激光的输出部1011；第1部件102，其被配置在输出部1011，并且具有供激光通过的第1开口1021；第2部件103，其被配置在第1部件102，并且具有供激光通过的第2开口1031；光学元件104，其被第1部件102和第2部件103夹持，并且使激光透射。在本申请实施例中，可以在腔室101中封入有激光气体。通过电源(图1中未示出)对一对电极105施加脉冲电压，从而生成激光。关于激光腔室、电源、电极和脉冲电压的内容以及如何生成激光和激光如何透射等内容，可以参考相关技术，在此不再赘述。以下为便于描述，可以将光学元件104称为窗，将第1部件102、第2部件103和光学元件104统称为窗盒110，将输出部1011称为窗盒保持部。在一些实施例中，如图1所示，气体激光装置100还可以包括输出耦合镜106，输出部1011(还包括第1部件102、第2部件103和光学元件104等)被配置在101腔室101与输出耦合镜106之间。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置包括：/n腔室，其具有输出激光的输出部；/n第1部件，其被配置在所述输出部，并且具有供所述激光通过的第1开口；/n第2部件，其被配置在所述第1部件，并且具有供所述激光通过的第2开口；/n光学元件，其被所述第1部件和所述第2部件夹持，并且使所述激光透射；/n第1固定件，其使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在所述输出部；/n其中，所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的切口部，所述气体激光装置还包括第2固定件，所述第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固并固定在所述输出部。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置包括：
腔室，其具有输出激光的输出部；
第1部件，其被配置在所述输出部，并且具有供所述激光通过的第1开口；
第2部件，其被配置在所述第1部件，并且具有供所述激光通过的第2开口；
光学元件，其被所述第1部件和所述第2部件夹持，并且使所述激光透射；
第1固定件，其使所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件一起紧固并且固定在所述输出部；
其中，所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的切口部，所述气体激光装置还包括第2固定件，所述第2固定件从所述切口部对所述第1部件进行紧固并固定在所述输出部。


2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，所述第1部件、所述第2部件以及所述光学元件通过多个所述第1固定件被一起紧固并且被固定在所述输出部。


3.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，所述第2部件具有供所述第1部件的一部分露出的多个所述切口部，通过从多个所述切口部使用多个所述第2固定件进行紧固来将所述第1部件固定在所述输出部。


4.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置还包括输出耦合镜，所述输出部被配置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：手井大辅，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP