一种吸盘移动机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种吸盘移动机构,包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上，所述硅片吸取分离装置用于对硅片的吸取和分离，所述横移机构用于控制硅片吸取分离装置移动，本实用新型专利技术通过采用真空设备对硅片进行吸取，降低了人力成本，提高了工作效率，并在吸盘侧边设置斜槽，对硅片的进入和离开插槽进行导向，避免发生硅片破损，提高了工作质量，本实用新型专利技术的驱动采用滚珠丝杆和齿条齿轮，提高了设备的运动精度，本实用新型专利技术设置两组机构同时运动提高了工作效率，并采用定位装置实现对设备的精准定位。

【技术实现步骤摘要】
一种吸盘移动机构
本技术属于光伏领域，涉及一种吸盘移动机构。
技术介绍
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现。在加工的过程中，需要在硅片吸取分离过程中进行横移，传统的横移方式工作效率低，精度低，定位不准确，同时需要将硅片成对抓取，并能对成对的硅片进行分片，传统的抓取分片工艺，人力成本高，工作效率低，且容易造成硅片破损，此设备有效地解决了这种问题。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术的不足，提供一种吸盘移动机构。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种吸盘移动机构,其特征在于：包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上，所述硅片分离移动机构用于对硅片的吸取和分离，所述横移机构用于控制硅片分离移动机构移动。进一步的；所述龙门架包括底座，所述底座设置为对称的两组，所述底座上固设有龙门支柱，所述龙门支柱垂直于水平面设置，所述龙门支柱间固设有连接有龙门连柱，所述龙门支柱、底座和龙门连柱形成整体结构，所述龙门连柱上固设有龙门安装板，所述龙门安装板连接横移机构，所述龙门支柱与底座之间固设有对称的肋块，所述肋块设置为三角形结构，所述肋块加强底座与龙门支柱的连接，同时加强龙门支柱强度。进一步的；所述横移机构包括移动装置、定位装置和调整装置，所述移动装置设置于龙门安装板，所述定位装置设置于移动装置，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置，所述调整装置用于调整移动装置；所述移动装置所述移动装置包括固设于龙门安装板上的滑块，所述滑块上滑动设置有滑块安装板，两组所述滑块安装板通过垫片连接，所述滑块安装板连接设置有电机安装板，所述电机安装板固设有传动电机，所述传动电机输出轴上固设有齿轮，龙门安装板固设有与传动电机啮合连接的齿条，所述齿条和滑块长度和龙门安装板长度一致；所述移动装置还包括限位装置，所述限位装置包括固设于龙门安装板的拖链托板，所述拖链托板设置为凹型结构，所述拖链托板上固设有两组横移拖链，所述滑块安装板固设有拖链连接板，所述拖链连接板控制移动行程；所述定位装置包括位于固设于龙门安装板上的限位块，所述限位块侧面固设有垫圈，所述限位块上固设有原点挡片，所述滑块安装板与原点挡片相对的位置上固设有感应传感器，所述感应传感器采用感光原理，所述感应传感器包括感应片，两组所述感应片分别设置于原点挡片两侧，且相对设置，所述感应传感器通电后一侧感应片发出光束，另一侧感应片感应光束，当所述感应传感器移动到原点挡片两侧时，感应端接收不到光束信号，通过感应传感器确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上；所述调整装置包括固设于滑块安装板下侧顶块腔，所述顶块腔内设置有固设于电机安装板上对的顶块，所述顶块腔下侧设置有固设于滑块安装板上的下调节块，所述下调节块与顶块间连接有调节杆，通过调节顶块与下调节块间的调节杆间距，控制传动电机的高度。进一步的；所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动，所述硅片吸取分离装置固设于所述升降装置上，所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装置用于吸取硅片，所述硅片分片装置用于分离硅片。进一步的；所述升降装置包括滚珠丝杆组件、定位组件和模组底板，所述滚珠丝杆组件驱动装置移动，所述定位组件用于定位和控制装置的位置；所述滚珠丝杆组件包括固设于模组底板上支撑座，与所述支撑座转动设置有丝杆，安装板上侧固设有转动电机，所述转动电机输出轴与丝杆固设连接，所述丝杆上固设有固定块，所述固定块上固设有滑移板，所述丝杆两侧对称固设有导轨垫块，所述导轨垫块上固设有导轨，所述导轨上滑动设置有升降滑块，所述升降滑块与滑移板固设连接；所述定位组件包括固设于安装板的缓冲圈，加强筋固设有光电挡板，滑块安装板上固设有光电传感器，所述光电传感器采用感光原理，所述光电传感器包括端板，两组所述端板分别设置于光电挡板两侧，且相对设置，所述光电传感器通电后一侧端板发出光束，另一侧端板感应光束，当所述光电挡板移动到端板之间时，感应端接收不到光束信号，通过光电传感器确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上。进一步的；所述硅片吸取装置包括进气组件、固定组件和吸取组件，所述固定组件包括吸盘端板、吸盘端块以及连接吸盘端板和吸盘端块的连接杆，所述连接杆将吸取组件与固定组件连接，所述吸取组件包括吸盘，所述吸盘上固设有吸取槽，所述进气组件为吸取组件供气，所述吸取组件通过吸取槽吸取硅片；所述进气组件包括吸盘安装板，所述吸盘安装板内设置有开口朝下的通气腔，所述通气腔下侧与固定组件固设连接，所述通气腔一侧连通设置有连管，所述连管与外接真空设备连通，所述外接真空设备为进气组件供能；所述吸取组件由多组吸盘紧密连接而成，所述吸盘包括固定板和吸取板，所述固定板上固设有连接孔，所述连接孔大小和位置与连接杆腔相配，所述连接杆通过贯穿连接孔将吸取组件固设在固定组件上，每组所述吸盘上的固定板紧密贴合，两组所述吸取板间形成有插槽，设备将硅片吸取进入插槽内。进一步的；所述硅片分片装置包括吹气组件和固定吹气组件的支架组件，所述吹气组件包括有连通管，所述连通管用于对吹气组件供气，所述支架组件支撑吹气组件，所述吹气组件用于硅片分片；所述支架组件包括风刀连接板，所述风刀连接板固设有风刀连接块，所述风刀连接块上固设有导向轴，所述导向轴两侧固设有连接块，所述连接块与吹气组件固设连接；所述吹气组件包括与连接块固设连接的风刀板，所述风刀板内固设有气流腔，所述气流腔上固设有连孔，所述连孔连通设置有二通管，所述连孔连通设置有位于气流腔内的对腔，所述风刀板内固设有与气流腔连通设置的喷腔，所述喷腔设置为内凹型结构，所述对腔、气流腔和喷腔组成气路通道，所述风刀板下侧固设有风刀底板。进一步的；所述升降装置还包括限位组件，所述限位组件包括固设于吸盘转接板上的拖链板，所述拖链板固设有升降拖链，所述升降拖链移动长度小于丝杆长度，限制滑移板的移动范围。进一步的；所述拖链连接板设置为L型结构，所述拖链连接板的水平与竖直成型面间固设有连接板肋板，所述连接板肋板设置为三角结构，所述连接板肋板加强拖链连接板水平与竖直成型面间的连接，加强拖链连接板水平成型面强度。进一步的；所述吸盘安装板下侧固设有凹台，所述凹台设置为内凹型结构，包括水平设置的上边和竖直设置的侧边，所述吸盘端块上侧固设有凸台，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吸盘移动机构,其特征在于：包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上，所述硅片分离移动机构用于对硅片的吸取和分离，所述横移机构用于控制硅片分离移动机构移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种吸盘移动机构,其特征在于：包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上，所述硅片分离移动机构用于对硅片的吸取和分离，所述横移机构用于控制硅片分离移动机构移动。


2.根据权利要求1所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述龙门架包括底座，所述底座设置为对称的两组，所述底座上固设有龙门支柱，所述龙门支柱垂直于水平面设置，所述龙门支柱间固设有连接有龙门连柱，所述龙门支柱、底座和龙门连柱形成整体结构，所述龙门连柱上固设有龙门安装板，所述龙门安装板连接横移机构，所述龙门支柱与底座之间固设有对称的肋块，所述肋块设置为三角形结构，所述肋块加强底座与龙门支柱的连接，同时加强龙门支柱强度。


3.根据权利要求1所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述横移机构包括移动装置、定位装置和调整装置，所述移动装置设置于龙门安装板，所述定位装置设置于移动装置，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置，所述调整装置用于调整移动装置；
所述移动装置包括固设于龙门安装板上的滑块，所述滑块上滑动设置有滑块安装板，两组所述滑块安装板通过垫片连接，所述滑块安装板连接设置有电机安装板，所述电机安装板固设有传动电机，所述传动电机输出轴上固设有齿轮，龙门安装板固设有与传动电机啮合连接的齿条，所述齿条和滑块长度和龙门安装板长度一致；
所述移动装置还包括限位装置，所述限位装置包括固设于龙门安装板的拖链托板，所述拖链托板设置为凹型结构，所述拖链托板上固设有两组横移拖链，所述滑块安装板固设有拖链连接板，所述拖链连接板控制移动行程；
所述定位装置包括位于固设于龙门安装板上的限位块，所述限位块侧面固设有垫圈，所述限位块上固设有原点挡片，所述滑块安装板与原点挡片相对的位置上固设有感应传感器，所述感应传感器采用感光原理，所述感应传感器包括感应片，两组所述感应片分别设置于原点挡片两侧，且相对设置，所述感应传感器通电后一侧感应片发出光束，另一侧感应片感应光束，当所述感应传感器移动到原点挡片两侧时，感应端接收不到光束信号，通过感应传感器确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上；
所述调整装置包括固设于滑块安装板下侧顶块腔，所述顶块腔内设置有固设于电机安装板上对的顶块，所述顶块腔下侧设置有固设于滑块安装板上的下调节块，所述下调节块与顶块间连接有调节杆，通过调节顶块与下调节块间的调节杆间距，控制传动电机的高度。


4.根据权利要求1所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动，所述硅片吸取分离装置固设于所述升降装置上，所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装置用于吸取硅片，所述硅片分片装置用于分离硅片。


5.根据权利要求4所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述升降装置包括滚珠丝杆组件、定位组件和模组底板，所述滚珠丝杆组件驱动装置移动，所述定位组件用于定位和控制装置的位置；
所述滚珠丝杆组件包括固设于模组底板上支撑座，与所述支撑座转动设置有丝杆，安装板上侧固设有转动电机，所述转动电机输出轴与丝杆固设连接，所述丝杆上固设有固定块，所述固定块上固设有滑移板，所述丝杆两侧对称固...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁治祥，张立，强嘉杰，沈晓琪，
申请(专利权)人：无锡小强半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32