一种光刻机的取片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机的取片装置，特别是涉及光刻机技术领域，包括支撑架板、光刻机定位台和顶壳，所述支撑架板后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一，本实用新型专利技术的有益效果在于：在需要取片时，可按下启闭开关，从而可启动电动滑台，通过调速器可调节电动滑台的滑动速度，调节完毕后，电动滑台可带动连接块向前滑动，从而通过连接块带动拨动块一并向前滑动，拨动块滑动时将拨动光刻机定位台上的基片，并将基片拨动至支撑架板上，防滑片能够增大基片拨动至支撑架板上时的摩擦，达到防滑的效果，从而完成取片，整个取片过程简单且成本低，整体的适用性能较好，以解决现有的光刻机的取片装置，整体的适用性能一般的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的取片装置
本技术涉及光刻机
，特别是涉及一种光刻机的取片装置。
技术介绍
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。（光刻）的意思是用光来制作一个图形（工艺）。但是现有的技术存在以下的不足：光刻机的取片装置的取片方式通常有通过机械手臂夹持取片，或者通过真空吸盘吸附取件，虽然取件的效果较好，但是所构成的结构零件较多，使用复杂且成本高，整体的适用性能一般。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光刻机的取片装置，以解决现有的光刻机的取片装置，整体的适用性能一般的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种光刻机的取片装置，包括支撑架板、光刻机定位台和顶壳；所述支撑架板后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一，所述支撑架板后方上侧中间贯通有卡槽，且所述支撑架板顶面覆盖有防滑片；所述光刻机定位台位于支撑架板正后方，且所述光刻机定位台前端上侧通过螺丝固定有限位卡板；所述顶壳位于光刻机定位台正上方，所述顶壳上方前后两侧分别安装有启闭开关和调速器，所述顶壳底部安装有电动滑台，所述电动滑台下方设置有连接块，且所述连接块下方通过螺丝固定有拨动块，所述顶壳底部且位于电动滑台前后两侧分别焊接有承重轴和支撑轴，所述支撑轴后端顶部开设有至少两个安装孔二。进一步的，所述支撑轴与承重轴对称设置，且所述承重轴底部贯穿过防滑片且与支撑架板顶部前侧焊接。进一步的，所述电动滑台和调速器的外接导线均接入于外接电源处，所述调速器与电动滑台信号连接，所述电动滑台与启闭开关电性连接，且所述启闭开关为船型开关。进一步的，所述限位卡板与卡槽位置对应且相匹配。进一步的，所述连接块顶部与电动滑台的动力输出端固定，所述支撑轴、拨动块和承重轴底面位于同一水平线上，且所述支撑轴底部与光刻机定位台顶面相接触。与现有技术相比，本技术实现的有益效果：在需要取片时，可按下启闭开关，从而可启动电动滑台，通过调速器可调节电动滑台的滑动速度，调节完毕后，电动滑台可带动连接块向前滑动，从而通过连接块带动拨动块一并向前滑动，拨动块滑动时将拨动光刻机定位台上的基片，并将基片拨动至支撑架板上，防滑片能够增大基片拨动至支撑架板上时的摩擦，达到防滑的效果，从而完成取片，整个取片过程简单且成本低，整体的适用性能较好，以解决现有的光刻机的取片装置，整体的适用性能一般的问题。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术整体结构的装配示意图；图3为本技术结构支撑架板的后方示意图。图中：1-支撑架板、2-安装孔一、3-防滑片、4-承重轴、5-顶壳、6-电动滑台、7-限位卡板、8-拨动块、9-支撑轴、10-安装孔二、11-光刻机定位台、12-卡槽、13-调速器、14-启闭开关、15-连接块。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种光刻机的取片装置，包括支撑架板1、光刻机定位台11和顶壳5；所述支撑架板1后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一2，所述支撑架板1后方上侧中间贯通有卡槽12，且所述支撑架板1顶面覆盖有防滑片3；所述光刻机定位台11位于支撑架板1正后方，且所述光刻机定位台11前端上侧通过螺丝固定有限位卡板7，所述限位卡板7与卡槽12位置对应且相匹配；首先，将限位卡板7对准卡槽12，且使得限位卡板7穿过卡槽12，再将用于固定的螺栓穿入至安装孔一2内，让支撑架板1安装至光刻机定位台11前方，再将螺栓穿入至安装孔二10内，让支撑轴9与光刻机定位台11固定至一起，即可完成对支撑架板1的安装。所述顶壳5位于光刻机定位台11正上方，所述顶壳5上方前后两侧分别安装有启闭开关14和调速器13，所述顶壳5底部安装有电动滑台6，所述电动滑台6和调速器13的外接导线均接入于外接电源处，所述调速器13与电动滑台6信号连接，所述电动滑台6与启闭开关14电性连接，且所述启闭开关14为船型开关，所述电动滑台6下方设置有连接块15，且所述连接块15下方通过螺丝固定有拨动块8，所述顶壳5底部且位于电动滑台6前后两侧分别焊接有承重轴4和支撑轴9，所述支撑轴9与承重轴4对称设置，所述连接块15顶部与电动滑台6的动力输出端固定，所述支撑轴9、拨动块8和承重轴4底面位于同一水平线上，且所述支撑轴9底部与光刻机定位台11顶面相接触，且所述承重轴4底部贯穿过防滑片3且与支撑架板1顶部前侧焊接，所述支撑轴9后端顶部开设有至少两个安装孔二10。当支撑架板1安装完毕后，顶壳5便可被承重轴4以及支撑轴9撑起，在光刻机定位台6上完成对基片的定位以及光刻后，在需要取片时，可将启闭开关14向前压，启动电动滑台6后，通过调速器13可调节电动滑台6的滑动速度，调节完毕后，电动滑台6可带动连接块15向前滑动，从而通过连接块15带动拨动块8一并向前滑动，拨动块8滑动时将拨动光刻机定位台11上的基片，并将基片拨动至支撑架板1上，防滑片3能够增大基片拨动至支撑架板1上时的摩擦，达到防滑的效果，防止基片滑落，从而完成取片，取片完毕后，再将启闭开关14向后压，从而使得电动滑台6带动连接块15向后滑动，并带动拨动块8回到原位，整个取片过程简单且成本低，整体的适用性能较好。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻机的取片装置，包括支撑架板（1）、光刻机定位台（11）和顶壳（5），其特征在于：/n所述支撑架板（1）后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一（2），所述支撑架板（1）后方上侧中间贯通有卡槽（12），且所述支撑架板（1）顶面覆盖有防滑片（3）；/n所述光刻机定位台（11）位于支撑架板（1）正后方，且所述光刻机定位台（11）前端上侧通过螺丝固定有限位卡板（7）；/n所述顶壳（5）位于光刻机定位台（11）正上方，所述顶壳（5）上方前后两侧分别安装有启闭开关（14）和调速器（13），所述顶壳（5）底部安装有电动滑台（6），所述电动滑台（6）下方设置有连接块（15），且所述连接块（15）下方通过螺丝固定有拨动块（8），所述顶壳（5）底部且位于电动滑台（6）前后两侧分别焊接有承重轴（4）和支撑轴（9），所述支撑轴（9）后端顶部开设有至少两个安装孔二（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的取片装置，包括支撑架板（1）、光刻机定位台（11）和顶壳（5），其特征在于：
所述支撑架板（1）后方左右两侧对称贯通有若干个安装孔一（2），所述支撑架板（1）后方上侧中间贯通有卡槽（12），且所述支撑架板（1）顶面覆盖有防滑片（3）；
所述光刻机定位台（11）位于支撑架板（1）正后方，且所述光刻机定位台（11）前端上侧通过螺丝固定有限位卡板（7）；
所述顶壳（5）位于光刻机定位台（11）正上方，所述顶壳（5）上方前后两侧分别安装有启闭开关（14）和调速器（13），所述顶壳（5）底部安装有电动滑台（6），所述电动滑台（6）下方设置有连接块（15），且所述连接块（15）下方通过螺丝固定有拨动块（8），所述顶壳（5）底部且位于电动滑台（6）前后两侧分别焊接有承重轴（4）和支撑轴（9），所述支撑轴（9）后端顶部开设有至少两个安装孔二（10）。


2.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：杨群，
类型：新型
国别省市：广东;44