本发明专利技术提出一种气体泄漏检测装置，用于检测气体管路是否有气体泄漏，所述气体泄漏检测装置包括密封机构，包围于所述气体管路的需要被检测的部分，并使得所述需要被检测的部分处于所述密封机构的密封腔内被所述密封机构密封的状态；感测机构，设置于所述密封腔内，能够感测从所述气体管路的泄漏的气体；及警示机构，能够在所述感测机构感测到气体泄漏时发出警报。本发明专利技术能避免危险性气体污染产品、危害作业人员甚至酿成事故，从而提高了良率。本发明专利技术还提供一种具有气体泄漏检测功能的气体管路连接装置。
【技术实现步骤摘要】
气体泄漏检测装置及气体管路连接装置
本专利技术涉及一种气体泄漏检测装置及具有气体泄漏检测功能的气体管路连接装置。特别地，所述气体泄漏检测装置及气体管路连接装置常用于半导体加工机台中。
技术介绍
在加工半导体的过程中，通常需要使用各种气体，其中一些气体具有危险性，例如氨气(NH3)具有易燃性，若发生泄漏，可能会损坏设备，还可能会引起火灾和爆炸等事故；例如全氟丁二烯(C4F6)既具有易燃性还具有毒性，作业人员吸入体内后可能导致呼吸系统刺激、咳嗽、昏眩、麻醉、心律不齐和负面的肾脏影响，危害作业人员的健康。并且，一些气体泄漏至设备中，会污染产品，导致良率降低。因此，对具有危险性的气体泄漏的检测技术的即时性与准确性是备受本领域技术人员关注的问题。此外，在气体管路系统中，气体管路的对接处更易发生气体泄漏。
技术实现思路
鉴于上述状况，实有必要提供一种气体泄漏检测装置及气体管路连接装置，以解决上述问题。一种气体泄漏检测装置，用于检测气体管路是否有气体泄漏，所述气体泄漏检测装置包括密封机构，包围于所述气体管路的需要被检测的部分，并使得所述需要被检测的部分处于所述密封机构的密封腔内被所述密封机构密封的状态；感测机构，设置于所述密封腔内，能够感测从所述气体管路的泄漏的气体；及警示机构，能够在所述感测机构感测到气体泄漏时发出警报。一种气体管路连接装置，用于连接至少两段气体管路，所述气体管路连接装置包括本体，内部形成一密封腔以包围与收容所述两段气体管路的对接处，且所述密封腔开设两个开口以允许所述两段气体管路穿过；所述本体还包括套设于所述对接处的连接件，用于对接与固定所述两段气体管路；感测机构，设置于所述密封腔内，能够感测从两段气体管路的对接处泄漏的气体；及警示机构，能够在所述感测机构感测到气体泄漏时发出警报。本专利技术提供的气体泄漏检测装置通过密封体管路的需要被检测的部分并设置感测机构感测从气体管路的泄漏的气体，且设置感测到气体泄漏时发出警报的警示机构，使作业人员能够即时的了解到有气体泄漏的情况，避免了危险性气体污染产品、危害作业人员甚至酿成事故，从而提高了良率；并且，气体泄漏检测装置的感测结构直接设置于收容泄漏气体的密封腔内，能够在泄漏气体的同时即时进行检测，提升了检测的即时性。本专利技术提供的气体管路连接装置不仅可以连接两段气体管路，还具有感测两段气体管路的对接处是否有气体泄漏的功能，避免了组装气体管路系统后还需要在各个易发生气体泄漏的对接处额外加装气体泄漏检测装置的操作。附图说明图1为本专利技术一实施例的气体泄漏检测装置的立体示意图。图2为图1所示的气体泄漏检测装置的密封机构在打开状态的示意图。图3为构成本专利技术气体泄漏检测装置的各功能构件的结构框图。图4为本专利技术气体泄漏检测装置的控制机构的结构框图。图5为本专利技术一实施例的气体管路连接装置的立体示意图。图6为图5所示的气体管路连接装置的本体在打开状态的示意图。图7为图5所示的气体管路连接装置的分解示意图。图8为图5所示的气体管路连接装置的沿VIII-VIII线的剖视图。主要元件符号说明如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本专利技术。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，当一个元件或组件被认为是“连接”另一个元件或组件，它可以是直接连接到另一个元件或组件或者可能同时存在居中设置的元件或组件。当一个元件或组件被认为是“设置在”另一个元件或组件，它可以是直接设置在另一个元件或组件上或者可能同时存在居中设置的元件或组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参见图1与图2，本专利技术的一实施例提供一种气体泄漏检测装置100，用于检测气体管路200是否有气体泄漏。气体泄漏检测装置100包括密封机构10及感测机构20。密封机构10包围气体管路200需要被检测的部分，使所述气体管路200需要被检测的部分处于密封机构10的密封腔内被密封机构10密封的状态。感测机构20设置于密封机构10形成的密封腔内，能够即时感测从气体管路200被包围的部分泄漏的气体。在本实施例中，气体管路200需要被检测的部分为两段管路的对接处，但不限于此，密封机构10还可设置在任何根据实际情况判断得到需要被检测的部分。密封机构10包括腔体11及两个密封圈12。腔体11的内部形成一密封腔，以收容气体管路200需要被检测的部分。腔体11上开设两个开口111以允许气体管路200穿过。两个密封圈12分别位于相应的开口111处，利于增强密封性能。在本实施例中，腔体11呈圆柱状，并沿通过中轴线的一平面分成两部分，且上述两部分可以通过铰接部13铰接，并利用卡扣(图未示)扣合，但不限于此，腔体11还可以呈方形、棱柱形或不规则形状等，只要能够形成密封腔即可。请参见图3，感测机构20包括设于密封腔内的气体传感器21及气压传感器22。气体传感器21能够即时感测从气体管路200泄漏至密封腔内的气体。气体传感器21可为半导体气体传感器、电化学气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器或固体电解质气体传感器等。上述气体可包括C4F6、NF3或NH3等。气压传感器22能够即时感测密封腔内的气压值。相较于现有将传感器设于与密封腔连通的抽气装置的方式，直接将感测机构20设于密封腔内，能够提高感测气体泄漏的速度，给作业人员提供更多的实行补救措施及撤离危险区域的时间。气体泄漏检测装置100还包括警示机构30、排气阀40及控制机构50。控制机构50分别与感测机构20、警示机构30及排气阀40通信连接。气体传感器21感测到从气体管路200泄漏至密封腔内的气体后，向控制机构50发送感测信号。气压传感器22能将感测到密封腔内的气压值转化为气压信号发送控制机构50。警示机构30包括警示灯31及声音警报器32。控制机构50在接收到气体传感器21的感测信号后，分别向警示灯31和声音警报器32发出警示指令。警示灯31在接收到警示指令后，通过亮灯、改变初始亮灯的颜色(例如从绿色灯改变成红色灯)、闪烁及/或其他易被作业人员察觉的方式提醒作业人员气体管路200发生泄漏。声音警报器32在接收到警示指令后，通过鸣笛声、预设语音及/或音乐等方式提醒作业人员。腔体11上还设有排气口14，排气口14连通一排气装置(图未示)。排气阀40与排气装置连接。当控制机构50接收到气压传感器22发送的气压值与预设零点值的差值超过预定限值时，向排气阀本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种气体泄漏检测装置，用于检测气体管路是否有气体泄漏，其特征在于，所述气体泄漏检测装置包括/n密封机构，包围于所述气体管路的需要被检测的部分，并使得所述需要被检测的部分处于所述密封机构的密封腔内被所述密封机构密封的状态；/n感测机构，设置于所述密封腔内，能够感测从所述气体管路的泄漏的气体；及/n警示机构，能够在所述感测机构感测到气体泄漏时发出警报。/n
【技术特征摘要】
1.一种气体泄漏检测装置，用于检测气体管路是否有气体泄漏，其特征在于，所述气体泄漏检测装置包括
密封机构，包围于所述气体管路的需要被检测的部分，并使得所述需要被检测的部分处于所述密封机构的密封腔内被所述密封机构密封的状态；
感测机构，设置于所述密封腔内，能够感测从所述气体管路的泄漏的气体；及
警示机构，能够在所述感测机构感测到气体泄漏时发出警报。
2.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于：所述感测机构包括设置于所述密封腔内的气体传感器及气压传感器，所述气体传感器能够感测从所述气体管路泄漏至所述密封腔内的气体，所述气压传感器能够感测所述密封腔内的气压值。
3.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述气体泄漏检测装置还包括排气阀，所述排气阀外接排气装置，所述排气装置与所述密封腔连通，控制当所述气压值与预设零点值的差值超过预定限值时排出从所述气体管路内泄漏到所述密封腔内的气体。
4.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述警示机构包括警示灯及声音警报器，所述警示灯及所述声音警报器分别用于在所述感测机构感测到气体泄漏时发出警报提醒作业人员。
5.如权利要求4所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述警示灯的警报方式为亮灯、改变初始亮灯的颜色及/或闪烁。
6.一种气体管路连接装置，用于连接至少两段气体管路，其特征在于，所述气体管路连接装置包括
本体，内部形成...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐笵植，徐康元，
申请(专利权)人：夏泰鑫半导体青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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