涂胶显影设备专用恒温恒湿设备制造技术

本实用新型专利技术涉及工业领域，尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5)，集合水箱(5)连接热交换器(4)，厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4)，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱(6)，该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。

【技术实现步骤摘要】
涂胶显影设备专用恒温恒湿设备
本技术涉及工业领域，尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备。
技术介绍
涂胶显影设备专用恒温恒湿设备通过冷冻机原理将工业纯水进行冷却后加热，对于控制完成的工业纯水上流至涂胶显影设备热板马达进行热交换后，重新回流至恒温恒湿设备纯水控制的水箱，通过冷冻机原理先将热交换完成后的纯水温度降低，最后在利用电子加热棒的方式进行加热，使其达到目标控制温度。
技术实现思路
技术的目的：为了提供一种效果更好的涂胶显影设备专用恒温恒湿设备，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。为了达到如上目的，本技术采取如下技术方案：涂胶显影设备专用恒温恒湿设备，其特征在于，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱5，集合水箱5连接热交换器4，厂务端工业纯水进入端1也连接热交换器4，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端1来的低温工业纯水在热交换器4中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端2流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱6，该连接加热水箱6的管道上包含温度传感器3。本技术进一步技术方案在于，热交换器4连接厂务端工业纯水出水端2的管道上包含电子阀门7，能够用电子阀门7来控制厂务端工业纯水出水端的量，温度传感器用来设定目标温度，通过工业PC将数值传输给控制器一次来控制电子阀门7的开合度。本技术进一步技术方案在于，温度传感器通信连接着工业PC和控制器以及主板，主板通信连接着电子阀门7。本技术进一步技术方案在于，设定目标温度是通过人机交互模块来实现的，该人机交互模块通信连接着工业PC和控制器以及主板。采用如上技术方案的本技术，相对于现有技术有如下有益效果：1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。附图说明为了进一步说明本技术，下面结合附图进一步进行说明：图1为技术结构示意图；其中：1.厂务端工业纯水进入端；2.厂务端工业纯水出水端；3.温度传感器；4.热交换器；5.集合水箱；6.加热水箱；7.电子阀门。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本技术，应理解下述具体实施方式仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。本专利提供多种并列方案，不同表述之处，属于基于基本方案的改进型方案或者是并列型方案。每种方案都有自己的独特特点。实施例一：结合图1；涂胶显影设备专用恒温恒湿设备，其特征在于，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱5，集合水箱5连接热交换器4，厂务端工业纯水进入端1也连接热交换器4，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端1来的低温工业纯水在热交换器4中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端2流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱6，该连接加热水箱6的管道上包含温度传感器3。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下：涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水5与厂务端工业纯水进入端1来的工业纯水低温进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水从厂务端出水口流出，通过温度传感器3流动到加热水箱6；用电子阀门7来控制厂务端工业纯水出水端的量，温度传感器用来设定目标温度，通过工业PC将数值传输给控制器一次来控制电子阀门7的开合度。进行热交换完成后重新回流到恒温恒湿设备水箱之前，可在此出重新安装一个回流水箱，水箱一段连接厂务端PCW恒温纯水，水箱另外一端连接热交换后升温的纯水，此时，热交换后升温的纯水，同厂务端PCW恒湿温度相对较低的纯水混合相遇后，可提前将纯水温度降低，然后通过电子阀门将降温后的纯水供给给原有的水箱，从而降低电子加热棒使用能效，快速降低热交换升温的纯水温度，提高加热效率；热交换回流的纯水同厂务端PCW的纯水混合相遇后，再次供给给原有的水箱时，供给纯水的流量需要精密控制。开创性地，以上各个效果独立存在，还能用一套结构完成上述结果的结合。需要说明的是，本专利的多个模块属于现有技术的模块的整合，并不涉及新的模块。实施例二：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，热交换器4连接厂务端工业纯水出水端2的管道上包含电子阀门7，能够用电子阀门7来控制厂务端工业纯水出水端的量，温度传感器用来设定目标温度，通过工业PC将数值传输给控制器一次来控制电子阀门7的开合度。实施例三：作为进一步的可改进方案或者并列方案或可选择的独立方案，温度传感器通信连接着工业PC和控制器以及主板，主板通信连接着电子阀门7。设定目标温度是通过人机交互模块来实现的，该人机交互模块通信连接着工业PC和控制器以及主板。总得来说：不锈钢水箱->热交换完成后的升温的纯水在此回流到设备端使其能够同厂务端供给的PCW纯水混合降温。电子阀门控制混合后的降温的纯水再次回流到原有的水箱的纯水流量；热交换完成升温的工业纯水再次回流到恒温恒湿控制设备水箱之前，另外在单独加一个水箱，使其总体降温加热之前，先进行降温处理，从而提高后期降温加热的速度，大大提高效率，稳定性；1.缩短热交换完成后升温的纯水降温速度。2。缩短总体纯水降温加热的速度。3.提高精密度。开创性地，以上各个效果独立存在，还能用一套结构完成上述结果的结合。以上结构实现的技术效果实现清晰，如果不考虑附加的技术方案，本专利名称还可以是一种换热设施。图中未示出部分细节。需要说明的是，本专利提供的多个方案包含本身的基本方案，相互独立，并不相互制约，但是其也可以在不冲突的情况下相互组合，达到多个效果共同实现。以上显示和描述了本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.涂胶显影设备专用恒温恒湿设备，其特征在于，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5)，集合水箱(5)连接热交换器(4)，厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4)，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱(6)，该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。/n

【技术特征摘要】
1.涂胶显影设备专用恒温恒湿设备，其特征在于，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水通过管道连接集合水箱(5)，集合水箱(5)连接热交换器(4)，厂务端工业纯水进入端(1)也连接热交换器(4)，涂胶显影设备进行热交换完成的升温纯水与厂务端工业纯水进入端(1)来的低温工业纯水在热交换器(4)中能够进行热交换，热交换完成后的目标控制纯水能够从厂务端工业纯水出水端(2)流出，流出后能够通过管道流动到加热水箱(6)，该连接加热水箱(6)的管道上包含温度传感器(3)。


2.如权利要求1所述的涂胶显影设备专用恒温恒湿设备，其特征在于，热交...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，
申请(专利权)人：西安稳能微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61