有机电子器件的制造方法技术

本发明专利技术的一个实施方式的有机电子器件的制造方法具备：有机功能层形成工序，在长条的挠曲性膜(10)上形成的第1电极层上，形成具有单层结构或多层结构的有机功能层；和第2电极层形成工序，在有机功能层上形成第2电极层，有机功能层形成工序具有涂布层形成工序，利用涂布法形成涂布层(181a)；和加热工序，一边利用表面(28a)的材料为红外线吸收材料的辊(28)输送挠曲性膜，一边利用红外线加热涂布层而得到功能层，红外线吸收材料的波长3μm～10μm的范围的红外线的平均吸收率为0.8以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机电子器件的制造方法
本专利技术涉及一种有机电子器件的制造方法。
技术介绍
作为本
的现有技术，有如下的有机电子器件的制造方法，所述有机电子器件在挠曲性透明基材(挠曲性膜)上具有透明电极(第1电极层)、以及利用卷对卷方式的湿式涂布形成的至少一层有机层(功能层)(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2010/090087号
技术实现思路
专利技术所要解决的问题如专利文献1中记载所示，在利用卷对卷方式的湿式涂布形成有机电子器件所具有的功能层的情况下，首先，在挠曲性膜上形成涂布层后，实施一边用输送辊输送挠曲性膜一边对涂布层进行加热处理的加热工序。输送辊通常为金属辊。因此，在加热工序中受到加热的挠曲性膜一接触到输送辊，在该接触部分挠曲性膜的温度就急剧地降低。其结果是，在挠曲性膜中产生扭曲、褶皱等。若在挠曲性膜中产生扭曲、褶皱等，则在加热干燥前的涂布层中产生膜厚不均，无法以所期望的厚度形成功能层。因而，本专利技术的目的在于，提供易于以所期望的厚度形成有机功能层中含有的至少一个功能层的有机电子器件的制造方法。用于解决问题的手段本专利技术的一个方面的有机电子器件的制造方法具备：有机功能层形成工序，在长条的挠曲性膜上形成的第1电极层上，形成具有单层结构或多层结构的有机功能层；和第2电极层形成工序，在上述有机功能层上形成第2电极层。上述有机功能层形成工序具有：涂布层形成工序，利用涂布法形成涂布层；和加热工序，一边用表面的材料为红外线吸收材料的辊来输送上述挠曲性膜，一边利用红外线加热上述涂布层而得到功能层。上述红外线吸收材料的波长3μm～10μm的范围的红外线的平均吸收率为0.8以上。上述制造方法中，有机功能层形成工序具有涂布层形成工序和加热工序，加热工序中，利用红外线来加热涂布层。因此，与使用热风的情况相比，不易在涂布层中产生膜厚不均。此外，加热工序中，由于利用上述辊来输送挠曲性膜，因此辊表面被红外线加热。由此，即使挠曲性膜接触到辊，该接触部分的温度也不易降低，从而能够抑制在挠曲性膜中产生扭曲、褶皱等情况。其结果是，能够以所期望的厚度形成功能层。上述辊可以具有金属制的辊主体、和涂敷于上述辊主体的表面的涂敷层。上述涂敷层的材料可以为上述红外线吸收材料。上述加热工序中，可以将上述挠曲性膜加热到100℃以上。在将挠曲性膜的温度加热到100℃以上时，若在其一部分产生温度降低，则易于产生褶皱等。由此，在加热工序中将上述挠曲性膜加热到100℃以上的情况下，上述有机电子器件的制造方法更加有效。上述加热工序中，距离上述挠曲性膜的形成有上述第1电极层的面10mm以内的风速可以为0.1m/s以下。由此，更不易在涂布层中产生膜厚不均，易于形成所期望的厚度的功能层。上述红外线吸收材料可以为无机氧化物。该情况下，能够确保耐久性。上述无机氧化物的例子为氧化铝。上述涂布法可以为喷墨印刷法。喷墨印刷法中使用的墨液的粘度较低。因此，例如利用喷墨印刷法形成的涂布层的厚度易于受到由挠曲性膜的扭曲、褶皱等的产生引起的凹凸的影响。由此，在上述涂布法为喷墨印刷法的情况下，如上所述地在加热工序中抑制了挠曲性膜的扭曲、褶皱等的产生的有机电子器件的制造方法更加有效。专利技术效果根据本专利技术，能够提供易于以所期望的厚度形成有机功能层中含有的至少一个功能层的有机电子器件的制造方法。附图说明图1是一个实施方式的有机EL器件(有机电子器件)的制造方法中使用的长条的挠曲性膜的俯视图。图2是示意性地表示基于卷对卷方式的有机EL器件的制造方法的图。图3是示意性地表示所制造出的有机EL器件(有机电子器件)的构成的示意图。图4是用于说明有机功能层形成工序的图。图5是用于说明有机功能层形成工序所具有的加热工序的图。具体实施方式以下，在参照附图的同时，对本专利技术的实施方式进行说明。对于相同要素使用相同符号，省略重复的说明。附图的尺寸比率不一定与说明的尺寸比率一致。作为有机电子器件，例如可以举出有机EL器件、有机太阳能电池、有机光探测器等。以下说明的实施方式中，只要没有特别指出，有机电子器件就是有机EL器件，特别对底发射型的有机EL器件的制造方法进行说明。图1是一个实施方式的有机EL器件的制造方法中使用的长条的挠曲性膜10的俯视图。本说明书中，所谓长条的挠曲性膜10，是指沿一个方向延伸、且该延伸方向(即长度方向)的长度比与长度方向正交的方向(宽度方向)的长度长的挠曲性膜。此处，所谓挠曲性膜，是具有挠曲性的膜。所谓挠曲性，是即使对物体(本说明书的例子中为膜)施加规定的力也能够不发生剪切、断裂地弯曲上述物体的性质。挠曲性膜10至少对于可见光(波长400nm～800nm的光)具有透光性。挠曲性膜10的厚度例如为30μm以上且500μm以下。挠曲性膜10例如为塑料膜之类的树脂膜。挠曲性膜10的材料的例子包括聚醚砜(PES)；聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等聚酯树脂；聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、环状聚烯烃等聚烯烃树脂；聚酰胺树脂；聚碳酸酯树脂；聚苯乙烯树脂；聚乙烯醇树脂；乙烯－乙酸乙烯酯共聚物的皂化物；聚丙烯腈树脂；缩醛树脂；聚酰亚胺树脂；环氧树脂等。作为挠曲性膜10的材料，在上述树脂中，由于耐热性高、线膨胀率低、并且制造成本低，因此优选聚酯树脂、或聚烯烃树脂，更优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚萘二甲酸乙二醇酯。这些树脂可以单独使用1种，也可以组合使用2种以上。在挠曲性膜10的表面10a上，可以配置屏蔽气体、水分等的屏蔽层(特别是屏蔽水分的屏蔽层)。有机EL器件的制造中，在长条的挠曲性膜10的长度方向上假想地设定多个器件形成区域DA，在器件形成区域DA上形成阳极层(第1电极层)、有机功能层、阴极层(第2电极层)等。在挠曲性膜10的表面10a形成有屏蔽层的方式中，在屏蔽层上形成阳极层、有机功能层、阴极层等。图2是一个实施方式的有机EL器件的制造方法的示意图，并且是利用了卷对卷方式的有机EL器件的制造方法的示意图。在利用卷对卷方式制造有机EL器件的情况下，将卷筒状的挠曲性膜10安装于导出部12A后导出挠曲性膜10。在利用输送辊14将导出的挠曲性膜10朝向卷绕部12B输送的同时，依次实施阳极层形成工序(第1电极层形成工序)S11、有机功能层形成工序S12及阴极层形成工序(第2电极层形成工序)S13。其后，将挠曲性膜10利用卷绕部12B卷绕成卷筒状。导出部12A、卷绕部12B及输送辊14可以是挠曲性膜10的输送机构的一部分。输送机构可以在此以外还具备张力调整机构等公知的构成要素。也可以在各工序中设置卷绕工序及导出工序。此外，也可以在各工序中将挠曲性膜10暂时卷绕保管后，重新导出挠曲性膜10并进行下面的工序。[阳极层形成工序]阳极层形成工序S11中，在沿着挠曲性膜10的长度方向假想地设定的多个器件形成区域DA分别形成阳极层(第1电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机电子器件的制造方法，其具备：/n有机功能层形成工序，在长条的挠曲性膜上形成的第1电极层上，形成具有单层结构或多层结构的有机功能层；以及/n第2电极层形成工序，在所述有机功能层上形成第2电极层，/n所述有机功能层形成工序具有：/n涂布层形成工序，利用涂布法形成涂布层；以及/n加热工序，一边利用表面的材料为红外线吸收材料的辊输送所述挠曲性膜，一边利用红外线加热所述涂布层而得到功能层，/n所述红外线吸收材料的波长3μm～10μm的范围的红外线的平均吸收率为0.8以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180723 JP 2018-1377641.一种有机电子器件的制造方法，其具备：
有机功能层形成工序，在长条的挠曲性膜上形成的第1电极层上，形成具有单层结构或多层结构的有机功能层；以及
第2电极层形成工序，在所述有机功能层上形成第2电极层，
所述有机功能层形成工序具有：
涂布层形成工序，利用涂布法形成涂布层；以及
加热工序，一边利用表面的材料为红外线吸收材料的辊输送所述挠曲性膜，一边利用红外线加热所述涂布层而得到功能层，
所述红外线吸收材料的波长3μm～10μm的范围的红外线的平均吸收率为0.8以上。


2.根据权利要求1所述的有机电子器件的制造方法，其中，
所述辊具有：
金属制的辊主体、以及
涂敷于所述辊主体的表面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈秀益，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP