废气除害装置制造方法及图纸

提供蓄热式的废气除害装置，与热源的种类无关，能够以更少的燃料消耗将废气中的有害成分、尤其是高温分解性的PFCs等难分解成分高效地热分解。即，各蓄热体(16)被配设成气体流通方向的中心轴在同心圆上排列，且在与该同心圆的中心对应的燃烧室(22)的顶面的位置配置热源(24)。各蓄热室(18)中的气体的流路被控制成，相对于向燃烧室(22)的吸气侧为1室，排气侧为多室。另外，以该气体的流路在俯视下在上述的同心圆内成为对称的方式形成燃烧室(22)的内表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】废气除害装置
本专利技术主要涉及适用于PFCs(全氟化合物)等难分解性废气的除害处理的废气除害装置。
技术介绍
作为能够以更少的燃料消耗高效地对废气中的有害物质进行加热分解处理(除害)的装置，例如已知有如下述的专利文献1所记载那样的蓄热式的废气除害装置。该蓄热式的废气除害装置设置多个具有蜂窝状陶瓷制蓄热体的蓄热室，由具有加热部件的燃烧室连通该蓄热室的一端，并且使另一端经由开闭阀与废气供给管道和处理气体排气管道连通，通过上述开闭阀的驱动，在上述各蓄热室中依次切换并实施废气向蓄热室的供给和在上述燃烧室中对有害成分进行了加热分解的处理完的废气的排出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-250384号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在上述现有技术中，存在如下那样的问题。即，以往的这种除害装置还利用于以PFCs为主体的通过半导体制造工序排出的废气的除害处理，对能够在较低温下进行热分解的废气的大风量处理非常有效，但存在不太适合于例如如CF4那样的、其热分解需要大致1500℃以上的高温的物质的除害这样的问题。这是因为，在这种除害装置中，不是将处理对象的废气利用热源直接加热而分解，而是利用热源对具有某种程度扩展的燃烧室这样的整个空间进行加热，并且废气在通过该被加热的空间时被加热分解。因此，在对如CF4那样的热分解温度高的物质进行除害的情况下，需要使整个燃烧室的温度升温至CF4的热分解温度以上，但这样的话，不得不强化构成燃烧室的构件的耐热性，另外，消耗大量的燃料。而且，根据热源的种类不同，例如如非转移型的大气压等离子等那样，也有时难以使整个燃烧室均匀地升温至CF4的热分解温度。因此，本专利技术的主要目的在于提供一种蓄热式的废气除害装置，无论热源的种类如何，都能够以更少的燃料消耗将废气中的有害成分、尤其是高温分解性的PFCs等难分解成分高效地热分解。用于解决课题的技术方案为了实现上述目的，本专利技术例如如图1至图3所示，如下那样地构成废气除害装置10。具备热分解炉12和废气供排机构14，该热分解炉12由具有蓄热体16且在上下方向上供气体流通的3室以上的蓄热室18、和连通所述蓄热室18的上端并且设置有对内部进行加热的热源24的燃烧室22构成；该废气供排机构14将通过废气供给管道30供给的废气E隔开一定时间间隔相对于所述蓄热室18依次供给，并且将在所述燃烧室22中被加热分解后通过未被供给所述废气E的排气侧的蓄热室18而从热分解炉12排出的处理完的废气E向处理气体排气管道32输送。所述各蓄热室18内的蓄热体16被配设成，它们的气体流通方向的中心轴在同心圆上排列，并且在与该同心圆的中心对应的所述燃烧室22的顶面的位置配置有热源24。此外，所述各蓄热室18中的气体的流路被控制成，相对于向燃烧室22的吸气侧为1室，排气侧为多室，并且以该气体的流路在俯视下在所述的同心圆内成为对称的方式形成所述燃烧室22。在本专利技术中，各蓄热体16被配设成，气体流通方向的中心轴在同心圆上排列，且在与该同心圆的中心对应的燃烧室22的顶面的位置配置有热源24，并且各蓄热室18中的气体的流路被控制成，相对于向燃烧室22的吸气侧为1室，排气侧为多室，除此之外，以该气体的流路在俯视下在所述的同心圆内成为对称的方式形成燃烧室22的内表面，因此，经由吸气侧的蓄热室18而被取入到燃烧室22内的处理对象的废气E的大部分必定通过热源24附近。因此，即使不像以往的蓄热式的废气除害装置那样使整个燃烧室升温成为废气的热分解温度，也能够使废气E中的热分解性成分非常高效地热分解。在本专利技术中，优选所述热源24是非转移型的等离子炬，将设置于燃烧室22的顶面的等离子导入孔40形成为其内径朝向下方扩大的锥状。在该情况下，从吸气侧的蓄热室18朝向排气侧的蓄热室18通过燃烧室22内的废气E更进一步通过从非转移型的等离子炬经由等离子导入孔40向燃烧室22内供给的等离子电弧24a附近。该等离子电弧24a温度非常高，因此能够进一步提高废气E的除害效率。进而，本专利技术优选附加后述的实施方式所记载的特有的结构。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种蓄热式的废气除害装置，无论热源的种类如何，都能够以更少的燃料消耗将废气中的有害成分、尤其是高温分解性的PFCs等难分解成分高效地热分解。附图说明图1是表示本专利技术的一实施方式的废气除害装置的概略的图，图1A是局部剖视图，图1B是将图1A的顶板卸下后的状态下的A向视图。图2是表示本专利技术的一实施方式的废气除害装置的燃烧室的立体图。图3是表示本专利技术的一实施方式的废气除害装置中的三个阶段(图3A～图3C)的废气流通顺序的图，上层为俯视的燃烧室透视图，下层为表示装置整体的废气流动的图。具体实施方式以下，利用图1至图3对本专利技术的一实施方式进行说明。图1是表示本专利技术的废气除害装置10的概略的图，图1A是局部剖视图，图1B是将图1A的顶板卸下后的状态下的A向视图。该废气除害装置10是对从未图示的排出源排出的废气E进行除害处理的装置，大致由热分解炉12、废气供排机构14构成。需要说明的是，该废气除害装置10并不限定成为处理对象的废气E的种类，但特别优选对从半导体制造装置排出的PFCs(全氟化合物)、甲硅烷(SiH4)、氯系气体等那样其排出基准被确定了的难分解性的废气E进行除害处理。因此，以下，对于该废气除害装置10，考虑在从半导体制造装置排出的废气E的除害处理中使用的废气除害装置来进行说明。另外，关于本说明书和附图中的各附图标记，在以上位概念表示各部位的情况下，不附加字母的末位编号而仅用阿拉伯数字表示，在需要区分各部位的情况下(即，用下位概念表示的情况下)，对阿拉伯数字标注大写字母的末位编号来进行区别。热分解炉12是用于对废气E进行加热分解的装置，具体而言，例如具有将钢(SS)、不锈钢(SUS)或耐蚀耐热镍基合金(HAYNES社注册商标)这样的金属等高耐热材料形成为棱筒形状或圆筒形状(在图示实施方式中为不规则六角筒状)的主体外壳26。该主体外壳26以其轴朝向铅垂方向(上下方向)的方式立起设置，在其内部设置有下侧的蓄热部12a和上侧的燃烧部12b。其中，蓄热部12a通过沿铅垂方向延伸的多个隔壁28将其内部空间划分为多个蓄热室18(在图示实施方式的情况下为3个蓄热室18A～18C。参照图1B)。在蓄热室18的内部配设有蓄热体16，该蓄热体16成为废气E的流通路。蓄热体16由氧化铝、堇青石等这样的陶瓷构成，是形成为正四棱柱形状的蜂窝构造的固体蓄热材料，配设于各蓄热室18A～18C的蓄热体16被配设成它们的气体流通方向的中心轴在同心圆上排列(参照图1B)。换言之，各蓄热体16被配设成绕通过该同心圆的中心的轴(＝主体外壳26的轴)成为旋转对称。另外，在图示实施方式中，作为蓄热体16例示了由陶瓷构成且形成为正四棱柱形状的蜂窝构造的固体蓄热体，但只要该蓄热体16能够从在热分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种废气除害装置，具备热分解炉(12)和废气供排机构(14)，该热分解炉(12)由具有蓄热体(16)且在上下方向上供气体流通的3室以上的蓄热室(18)、和连通所述蓄热室(18)的上端并且设置有对内部进行加热的热源(24)的燃烧室(22)构成；该废气供排机构(14)将通过废气供给管道(30)供给的废气(E)隔开一定时间间隔相对于所述蓄热室(18)依次供给，并且将在所述燃烧室(22)中被加热分解后通过未被供给所述废气(E)的排气侧的蓄热室(18)而从热分解炉(12)排出的处理完的废气(E)向处理气体排气管道(32)输送，其特征在于，/n所述各蓄热室(18)内的蓄热体(16)被配设成，它们的气体流通方向的中心轴在同心圆上排列，并且在与该同心圆的中心对应的所述燃烧室(22)的顶面的位置配置有热源(24)，/n所述各蓄热室(18)中的气体的流路被控制成，相对于向燃烧室(22)的吸气侧为1室，排气侧为多室，并且以该气体的流路在俯视下在所述的同心圆内成为对称的方式形成所述燃烧室(22)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种废气除害装置，具备热分解炉(12)和废气供排机构(14)，该热分解炉(12)由具有蓄热体(16)且在上下方向上供气体流通的3室以上的蓄热室(18)、和连通所述蓄热室(18)的上端并且设置有对内部进行加热的热源(24)的燃烧室(22)构成；该废气供排机构(14)将通过废气供给管道(30)供给的废气(E)隔开一定时间间隔相对于所述蓄热室(18)依次供给，并且将在所述燃烧室(22)中被加热分解后通过未被供给所述废气(E)的排气侧的蓄热室(18)而从热分解炉(12)排出的处理完的废气(E)向处理气体排气管道(32)输送，其特征在于，
所述各蓄...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤康弘，原口秀夫，塚田勉，今村启志，
申请(专利权)人：北京康肯环保设备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11