一种砷化镓晶种加工设备制造技术

本实用新型专利技术涉及砷化镓生产技术领域，尤其是一种砷化镓晶种加工设备，包括防尘箱，所述防尘箱固定设有导流台，所述导流台转动连接设有传动轴，所述传动轴固定设有打磨盘，所述传动轴固定设有减速电机，所述滑槽滑动连接设有移动座，所述移动座固定设有电动液压缸，所述电动液压缸固定设有调节固定座，所述调节固定座转动连接设有调节轴，所述调节轴固定设有步进电机，所述调节轴固定设有调节座，所述调节座固定设有夹具组件。本实用新型专利技术在普通加工设备的基础上，设置了防护、驱动和调节装置，提高了精确度、工作效率、环保性和防护性，具有广阔的市场前景，适合推广。

【技术实现步骤摘要】
一种砷化镓晶种加工设备
本技术涉及砷化镓生产
，尤其涉及一种砷化镓晶种加工设备。
技术介绍
砷化镓(galliumarsenide)，化学式GaAs。黑灰色固体，熔点1238℃。它在600℃以下，能在空气中稳定存在，并且不被非氧化性的酸侵蚀。砷化镓是一种重要的半导体材料。在砷化镓晶体制造领域，晶种在初步加工完成后，还需要对晶种长度进一步加工以达到目标长度，但是，目前通常是使用手工砂纸打磨不仅效率低，而且打磨出的废料容易形成粉尘，不仅造成浪费，还危害工人身体，针对以上不足，我们推出一种砷化镓晶种加工设备，来代替旧式的加工设备，满足人们的生活需求。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在效率低和不环保的缺点，而提出的一种砷化镓晶种加工设备。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：设计一种砷化镓晶种加工设备，包括防尘箱，所述防尘箱内壁底部的一侧固定设有导流台，所述导流台转动连接设有传动轴，所述传动轴的一端固定设有打磨盘，所述传动轴远离打磨盘的一端依次贯穿导流台和防尘箱并固定设有减速电机，所述减速电机与防尘箱固定连接，所述防尘箱上表面的中间设有滑槽，所述滑槽的内壁滑动连接设有移动座，所述防尘箱的上表面固定设有使移动座产生位移的驱动组件，所述移动座下表面的中间固定设有电动液压缸，所述电动液压缸远离移动座的一端固定设有调节固定座，所述调节固定座与移动座之间对称固定设有导向伸缩柱，所述调节固定座转动连接设有调节轴，所述调节轴的一端固定设有步进电机，所述步进电机与调节固定座固定连接，所述调节轴固定设有调节座，所述调节座的下表面固定设有夹具组件。优选的，所述防尘箱下表面的一侧固定设有U形支撑座，所述防尘箱下表面远离U形支撑座的一侧固定设有导流管道，所述防尘箱内壁底部远离导流台的一侧设有与导流管道相连通的贯穿孔，所述U形支撑座和导流管道的下表面固定设有储水箱，所述导流管道插接设有过滤组件，所述储水箱的一侧固定设有出水管，所述出水管远离储水箱的一端固定设有循环水泵，所述循环水泵与防尘箱固定连接，所述循环水泵的出水口固定设有喷水管，所述喷水管远离循环水泵的一端贯穿防尘箱延伸至防尘箱的内部并固定设有喷头。优选的，所述驱动组件包括两个固定块，所述固定块均与防尘箱固定连接，两个所述固定块转动连接设有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的一端贯穿固定块并固定设有驱动电机，所述驱动电机与固定块固定连接，所述螺纹丝杆的表面螺纹连接设有移动块，所述移动块与移动座固定连接。优选的，所述防尘箱对称通过铰链转动连接设有箱门，所述箱门均固定设有观察罩。本技术提出的一种砷化镓晶种加工设备，有益效果在于：本技术通过防尘箱、导流台、导流管道、贯穿孔、储水箱、过滤组件、出水管、循环水泵、喷水管和喷头之间的相互配合，可以有效的防止砷化镓晶种在进行打磨时粉尘飞溅的现象，同时可以循环使用水资源，环保性能较佳，通过传动轴、打磨盘、减速电机、滑槽、移动座、驱动组件、电动液压缸、调节固定座、导向伸缩柱、调节轴、步进电机、调节座和夹具组件之间的相互配合，在提高了打磨精确度的同时可以根据需要控制打磨角度，降低了工作人员的劳动强度提高了工作效率，通过设置观察罩，便于工作人员对打磨情况进行实时观察。附图说明图1为本技术提出的一种砷化镓晶种加工设备的主视图；图2为本技术提出的一种砷化镓晶种加工设备的剖视图。图中：防尘箱1、导流台2、传动轴3、打磨盘4、减速电机5、滑槽6、移动座7、驱动组件8、电动液压缸9、调节固定座10、导向伸缩柱11、调节轴12、步进电机13、调节座14、夹具组件15、U形支撑座16、导流管道17、贯穿孔18、储水箱19、过滤组件20、出水管21、循环水泵22、喷水管23、喷头24、箱门25、观察罩26、驱动电机801、螺纹丝杆802、固定块803、移动块804。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，一种砷化镓晶种加工设备，包括防尘箱1，防尘箱1内壁底部的一侧固定设有导流台2，导流台2转动连接设有传动轴3，传动轴3的一端固定设有打磨盘4，传动轴3远离打磨盘4的一端依次贯穿导流台2和防尘箱1并固定设有减速电机5，减速电机5与防尘箱1固定连接，防尘箱1上表面的中间设有滑槽6，滑槽6的内壁滑动连接设有移动座7，防尘箱1的上表面固定设有使移动座7产生位移的驱动组件8，移动座7下表面的中间固定设有电动液压缸9，电动液压缸9远离移动座7的一端固定设有调节固定座10，调节固定座10与移动座7之间对称固定设有导向伸缩柱11，调节固定座10转动连接设有调节轴12，调节轴12的一端固定设有步进电机13，步进电机13与调节固定座10固定连接，调节轴12固定设有调节座14，调节座14的下表面固定设有夹具组件15。参照图1-2，一种砷化镓晶种加工设备，防尘箱1下表面的一侧固定设有U形支撑座16，防尘箱1下表面远离U形支撑座16的一侧固定设有导流管道17，防尘箱1内壁底部远离导流台2的一侧设有与导流管道17相连通的贯穿孔18，U形支撑座16和导流管道17的下表面固定设有储水箱19，导流管道17插接设有过滤组件20，储水箱19的一侧固定设有出水管21，出水管21远离储水箱19的一端固定设有循环水泵22，循环水泵22与防尘箱1固定连接，循环水泵22的出水口固定设有喷水管23，喷水管23远离循环水泵22的一端贯穿防尘箱1延伸至防尘箱1的内部并固定设有喷头24，驱动组件8包括两个固定块803，固定块803均与防尘箱1固定连接，两个固定块803转动连接设有螺纹丝杆802，螺纹丝杆802的一端贯穿固定块803并固定设有驱动电机801，驱动电机801与固定块803固定连接，螺纹丝杆802的表面螺纹连接设有移动块804，移动块804与移动座7固定连接，防尘箱1对称通过铰链转动连接设有箱门25，箱门25均固定设有观察罩26。本技术提出的一种砷化镓晶种加工设备，在使用时，工作人员将待打磨的砷化镓晶种固定在夹具组件15上，然后关闭箱门25并在控制器上输入相关的数据，控制器控制驱动电机801开始工作使螺纹丝杆802开始旋转，移动块804随之带动移动座7开始移动，同时电动液压缸9开始工作推动砷化镓晶种开始移动，直至将砷化镓晶种移动至适当的位置，然后减速电机5开始工作使打磨盘4开始旋转，进行打磨工作，当需要对砷化镓晶种其它角度进行打磨时控制器控制步进电机13开始工作，在调节轴12和调节座14的配合下对砷化镓晶种的角度进行调节，然后在驱动组件8和电动液压缸9的配合下进行打磨，在进行打磨的过程中，循环水泵22开始工作，将储水箱19中的液体依次通过出水管21和喷水管23，最终通过喷头24喷射在打磨盘4的表面，并在防尘箱1的配合下防止粉尘飞溅，然后液体在导流台2的导流下并通过过滤组件20的过滤，再次落回至储水箱19进行循环使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种砷化镓晶种加工设备，包括防尘箱(1)，其特征在于，所述防尘箱(1)内壁底部的一侧固定设有导流台(2)，所述导流台(2)转动连接设有传动轴(3)，所述传动轴(3)的一端固定设有打磨盘(4)，所述传动轴(3)远离打磨盘(4)的一端依次贯穿导流台(2)和防尘箱(1)并固定设有减速电机(5)，所述减速电机(5)与防尘箱(1)固定连接，所述防尘箱(1)上表面的中间设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内壁滑动连接设有移动座(7)，所述防尘箱(1)的上表面固定设有使移动座(7)产生位移的驱动组件(8)，所述移动座(7)下表面的中间固定设有电动液压缸(9)，所述电动液压缸(9)远离移动座(7)的一端固定设有调节固定座(10)，所述调节固定座(10)与移动座(7)之间对称固定设有导向伸缩柱(11)，所述调节固定座(10)转动连接设有调节轴(12)，所述调节轴(12)的一端固定设有步进电机(13)，所述步进电机(13)与调节固定座(10)固定连接，所述调节轴(12)固定设有调节座(14)，所述调节座(14)的下表面固定设有夹具组件(15)。/n

【技术特征摘要】
1.一种砷化镓晶种加工设备，包括防尘箱(1)，其特征在于，所述防尘箱(1)内壁底部的一侧固定设有导流台(2)，所述导流台(2)转动连接设有传动轴(3)，所述传动轴(3)的一端固定设有打磨盘(4)，所述传动轴(3)远离打磨盘(4)的一端依次贯穿导流台(2)和防尘箱(1)并固定设有减速电机(5)，所述减速电机(5)与防尘箱(1)固定连接，所述防尘箱(1)上表面的中间设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内壁滑动连接设有移动座(7)，所述防尘箱(1)的上表面固定设有使移动座(7)产生位移的驱动组件(8)，所述移动座(7)下表面的中间固定设有电动液压缸(9)，所述电动液压缸(9)远离移动座(7)的一端固定设有调节固定座(10)，所述调节固定座(10)与移动座(7)之间对称固定设有导向伸缩柱(11)，所述调节固定座(10)转动连接设有调节轴(12)，所述调节轴(12)的一端固定设有步进电机(13)，所述步进电机(13)与调节固定座(10)固定连接，所述调节轴(12)固定设有调节座(14)，所述调节座(14)的下表面固定设有夹具组件(15)。


2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶种加工设备，其特征在于，所述防尘箱(1)下表面的一侧固定设有U形支撑座(16)，所述防尘箱(1)下表面远离U形支撑座(16)的一侧固定设有导流管道(17)，所述防尘...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭辉，刘欣，蔡祗首，杨涛，
申请(专利权)人：惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44