蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧、第二面侧及贯通孔，其特征在于，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连，以提高蒸镀掩模与蒸镀基板配合的密着性，减轻张网时的褶皱，同时减轻蒸镀时的阴影，提高蒸镀精度。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置
本专利技术涉及光学掩模板
，尤其涉及一种蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置。
技术介绍
近年来，智能手机和平板电脑等移动终端上使用的显示器要求非常精细(像素数:400ppi以上)。未来，面向移动终端将被要求使用ultrahighdifinision(UHD，超高清分辨率)，并且预计将要求更高精细(像素数:800ppi)的OLED面板。OLED面板制造中需要使用蒸镀掩模，为了对应OLED面板的高精细化，蒸镀掩模也需要高精细化，蒸镀掩模的厚度太大会在被蒸镀工件上留下未被蒸镀充分的阴影，影响蒸镀效果，采用厚度更小的蒸镀掩模有利于提高精细化，但厚度太小会降低刚性并且张网时会发生褶皱，刚性差会导致蒸镀掩模与蒸镀基板的密着性变差，从而影响了蒸镀精度。因此有必要提供一种具有高密着性的蒸镀掩模及其制造方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有高密着性的蒸镀掩模。本专利技术的技术方案如下：一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部与所述第一凹部相贯通形成贯通孔，所述第二支撑部为平面，且所述第二支撑部至所述第一面侧的厚度T，满足关系式：10um≤T≤40um；所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，所述第二开口与所述第二支撑部相连，且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连。更优地，多个所述边部成对设置，定义相对的两边部之间的宽度为W3，满足关系式：2um≤W3≤10um。更优地，多个所述尖部成对设置，定义相对的两尖部之间的距离为W4，满足关系式：1um≤W4-W3≤5um。更优地，所述第一面侧还包括第一支撑部，所述第一支撑部围绕所述第一凹部。更优地，所述第一支撑部为平面，所述第二支撑部至所述第一面侧的厚度T为所述第二支撑部至所述第一支撑部的厚度。更优地，所述蒸镀掩模由镍铁合金制成。一种蒸镀掩模组件，其包括上述任一所述的蒸镀掩模。一种蒸镀掩模装置，包括上述蒸镀掩模组件。一种有机显示装置，该有机显示装置通过如上所述的蒸镀掩模装置进行蒸镀获得。本专利技术的有益效果在于：本专利技术规定了蒸镀掩模的第二支撑部的形状以提高蒸镀掩模与蒸镀基板配合的密着性，减轻张网时的褶皱，同时减轻蒸镀时的阴影，提高蒸镀精度。【附图说明】图1为本专利技术的蒸镀掩模装置结构示意图；图2为本专利技术的蒸镀掩模组件结构示意图；图3为对应绿色蒸镀材料的蒸镀掩模第一面侧示意图；图4为对应红色蒸镀材料的蒸镀掩模第一面侧示意图；图5为对应蓝色蒸镀材料的蒸镀掩模第一面侧示意图；图6为红绿蓝三种蒸镀材料在玻璃基板组合形成的蒸镀区域；图7为本专利技术的蒸镀掩模掩模的第一面侧朝上的结构示意图；图8为本专利技术的蒸镀掩模掩模的第二面侧朝上的结构示意图；图9为图7中A-A处截面示意图；图10为图7中B-B处截面示意图；图11为本专利技术的蒸镀掩模制造方法流程示意图；图12为本专利技术的第一贴合设备的结构示意图；图13为本专利技术的曝光设备的结构示意图；图14为本专利技术的显影设备的结构示意图；图15为本专利技术的金属卷材在制造装置内的输送顺序流程示意图；图16为本专利技术的步骤S20对应的蒸镀掩模结构剖视图；图17为本专利技术的步骤S40对应的蒸镀掩模结构剖视图；图18为本专利技术的步骤S50对应的蒸镀掩模结构剖视图；图19为本专利技术的步骤S60对应的蒸镀掩模结构剖视图；图20为本专利技术的步骤S70对应的蒸镀掩模结构剖视图。【具体实施方式】下面结合附图和实施方式对本专利技术作进一步说明。(蒸镀掩模装置4000)本实施例提供一种蒸镀掩模装置4000，参见图1，所述蒸镀掩模装置4000包括：蒸镀掩模组件1000、蒸镀组件2000及蒸镀基板3000，蒸镀组件2000加热产生气化或升华的蒸镀材料2300并通过蒸镀掩模组件1000蒸镀于蒸镀基板3000上。更优地，参见图2，所述蒸镀掩模组件1000包括蒸镀掩模100和框架200，所述框架200的中部设有贯通的贯通区域210，所述蒸镀基板3000设置于所述贯通区域210内，所述蒸镀掩模100固定于所述框架200并与所述蒸镀基板3000相紧密贴合，蒸镀材料2300通过所述蒸镀掩模100附着于与所述蒸镀掩模100相贴合的蒸镀基板3000上。更优地，蒸镀基板3000为由玻璃材料制成，本实施例中，所述蒸镀基板3000具体为设置有电极的电极玻璃。更优地，所述蒸镀组件2000包括加热器2100、坩埚2200及蒸镀材料2300，所蒸镀材料2300放置于坩埚2200内，所述加热器2100用于对坩埚2200加热。具体地，所述蒸镀材料2300为有机发光材料。加热器2100加热坩埚2200使蒸镀材料2300发声气化或升华而上升，并通过蒸镀掩模100紧密附着于蒸镀基板3000面向蒸镀组件2000的一面。本实施例中，蒸镀基板3000为电极玻璃，电极玻璃的电极吸附气化的蒸镀材料2300，以提高蒸镀效果。(蒸镀掩模组件1000)本实施例提供一种蒸镀掩模组件1000，用于构成所述的蒸镀掩模装置4000的一部分，参见图2，所述蒸镀掩模组件1000包括框架200和蒸镀掩模100，所述蒸镀掩模100的数量为若干个，本实施例中，所述蒸镀掩模100的数量为7个，7个条状的蒸镀掩模100间隔固定于框架200上。更优地，所述框架200为内部贯通形成贯通区域210的矩形结构，所述蒸镀掩模100通过张网焊接于框架200上，且蒸镀掩模100的有效区域110置于框架200的贯通区域210内，框架200对蒸镀掩模100起到支撑作用。本实施例中，所述框架200采用可被磁性吸附固定的金属材质。更优地，所述蒸镀掩模100包括有效区域110、周围区域120及固定区域130，一个条状的蒸镀掩模100上配置有若干个有效区域110，本实施例中，5个有效区域110间隔排列于蒸镀掩模100上，所述周围区域120围绕所述有效区域110，其主要起到支撑有效区域110的作用，所述固定区域130与所述周围区域120相连，所述固定区域130与所述框架200相固定。更优地，参见图3和图4，所述有效区域110配置有若干贯通孔30，蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：/n第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；/n第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及/n贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，/n其特征在于，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部与所述第一凹部相贯通形成贯通孔，所述第二支撑部为平面，且所述第二支撑部至所述第一面侧的厚度T，满足关系式：10um≤T≤40um；所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，所述第二开口与所述第二支撑部相连，且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：
第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；
第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及
贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，
其特征在于，所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第二面侧包括若干个第二凹部和若干个第二支撑部，所述第二凹部与所述第一凹部相贯通形成贯通孔，所述第二支撑部为平面，且所述第二支撑部至所述第一面侧的厚度T，满足关系式：10um≤T≤40um；所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，所述第二开口与所述第二支撑部相连，且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔，相邻的两个第二刻蚀面相交形成凸起部，所述凸起部沿背离所述第一面侧的方向凸起；所述第二支撑部包括多个边部和多个尖部，所述尖部位于相邻的两边部之间，所述边部向内凹陷，所述尖部指向所述凸起部并与所述凸起部相连。


2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，多个所述边部成对设置，定义相对...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝秋亮，
申请(专利权)人：匠博先进材料科技广州有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44