一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，属于六氟化钨制备技术领域。所述吸附塔包括吸附塔本体、吸附剂、上料机构及出料机构，还可以包括搅拌机构、循环利用机构和清理机构中的至少一种，吸附塔本体内由上至下依次设有挡网、过滤网，挡网上填充能够吸附HF的吸附剂颗粒，过滤网用于过滤颗粒状杂质，上料机构用于向吸附塔本体内加入新的吸附剂颗粒，出料机构用于将挡网上填充的吸附剂底部使用率高的吸附剂颗粒排出，搅拌机构用于搅拌挡网上填充的吸附剂颗粒，循环利用机构用于对排出的吸附剂颗粒进行脱附以循环利用，清理机构用于清理过滤网。本实用新型专利技术所述吸附塔通过合理的结构设计，能大大提高吸附剂的利用率，并且能提高吸附效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔
本技术涉及一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，属于六氟化钨制备

技术介绍
六氟化钨在电子工业中主要用作金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，用WF6制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。随着电子工业产品精密化程度的提高，也对作为原材料的WF6的纯度提出了极高的要求，当要求纯度达到99.999％以上时，必须对工业品WF6进行净化提纯以适应半导体行业需求。高纯六氟化钨的制备往往需要对其含有的金属杂质以及HF进行过滤，目前一般采用吸附塔对六氟化钨中HF进行吸附，利用吸附塔内填充的吸附剂颗粒吸附除去HF，但目前吸附塔内填充的吸附剂底部的利用率远远大于顶部的，从而影响吸附效果。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足，本技术提供一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，主要是通过将吸附剂底部使用率高的吸附剂颗粒推出，同时加入新的吸附剂颗粒，不仅可以大大提高吸附剂的利用率，而且能够提高吸附效果。本技术的目的是通过以下技术方案实现的。一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，所述吸附塔包括吸附塔本体、吸附剂、上料机构以及出料机构；所述吸附塔本体内从上至下依次设有挡网以及过滤网，挡网上填充有吸附剂，所述过滤网用于过滤六氟化钨中的颗粒状杂质；在过滤网下方的吸附塔本体上安装有进气管，在挡网上方且紧挨着挡网处的吸附塔本体侧壁上设有出料口，出料口内安装有阀门，在填充的吸附剂上方的吸附塔本体上设有进料口以及安装有出气管；所述吸附剂为颗粒状，用于吸附六氟化钨中的HF；所述上料机构与进料口相配合，用于向吸附塔本体内加入新的吸附剂颗粒；所述出料机构与出料口相配合，用于将吸附塔本体内填充的吸附剂底部的吸附剂颗粒排出；在进料机构和出料机构的配合作用下，能够将填充的吸附剂底部使用率高的吸附剂颗粒排出，同时加入新的吸附剂颗粒，能够保证吸附效果。进一步地，吸附剂颗粒选用氟化钠颗粒。进一步地，所述上料机构包括储料箱、螺旋输送机、进料筒、第一气缸和第一推板；进料筒的一端安装有第一气缸，进料筒的另一端与进料口连接；储料箱与进料筒之间通过螺旋输送机连接；第一推板位于进料筒的内部且与第一气缸的伸缩末端固定连接，与进料筒内壁接触的第一推板外壁上套设有密封圈；未进料时，第一推板位于接近进料口的进料筒一端；进料时，先通过第一气缸拉动第一推板至远离进料口的进料筒一端，然后通过螺旋输送机将储料箱中储存的新的吸附剂颗粒输送到进料筒中，再通过第一气缸推动第一推板将进料筒中新的吸附剂颗粒推入吸附塔本体内。进一步地，所述出料机构包括第二气缸和第二推板；第二气缸的伸缩末端延伸至吸附塔本体内，第二推板放置在挡网上且与第二气缸的伸缩末端固定连接，第二气缸用于带动第二推板移动，从而将挡网上位于堆积的推进剂底部的推进剂颗粒推出。进一步地，第二推板为楔形板，楔形板的底部与挡网的上表面贴近，楔形板的平面端朝向出料口，楔形板的斜面端相背出料口。进一步地，所述吸附塔还包括循环利用机构、清理机构和搅拌机构中的至少一种；所述循环利用机构，用于对吸附塔本体排出的吸附剂颗粒进行脱附，并将脱附后的吸附剂颗粒储存到储料箱中，提高吸附剂的利用率，减小资源浪费；所述清理机构，用于清理过滤网网孔中堵塞的杂质颗粒，保证六氟化钨气体能够通过过滤网；所述搅拌机构，用于搅拌吸附塔本体内堆积的吸附剂颗粒，提高六氟化钨与吸附剂颗粒的接触面积，提高吸附剂的利用率，改善吸附效果。进一步地，所述循环利用机构包括出料通道、处理箱、连接管和加热系统；所述处理箱上安装有排气管；出料通道的一端与处理箱连接，出料通道的另一端与出料口连接；连接管的一端与处理箱连接，连接管的另一端与储料箱连接；加热系统用于加热处理箱，使收集的吸附塔本体排出的吸附剂颗粒进行热脱附；从吸附塔本体排出的吸附剂颗粒通过出料通道进入处理箱中，排出的吸附剂颗粒在处理箱中进行热脱附，热脱附产生的气体从处理箱的排气管排出，热脱附后的吸附剂颗粒通过连接管进入储料箱中循环利用。进一步地，所述清理机构包括清理刷、刮板、排料板以及往复运动系统，在吸附塔本体底部的侧壁上加工有杂质出口；清理刷位于过滤网的上方，清理刷的毛刷贯穿过滤网的网孔；刮板位于过滤网的下方，且与过滤网的下表面相接触；往复运动系统用于带动清理刷和刮板在过滤网上做往复运动；排料板安装在吸附塔本体内底部接近杂质出口的一端，刮板位于排料板上方时与排料板间隙配合；清理原理：清理刷能够有效将过滤网网孔内堵塞的杂质颗粒清理出来，清理出来的杂质颗粒在气流的作用下贴在过滤网下表面，通过刮板将清理出来的杂质颗粒推至排料板上方，由于接近杂质出口的排料板一侧气压大大降低，从而杂质颗粒能够自由落下并通过杂质出口排出。进一步地，所述往复运动系统包括连接板、抵杆、连接杆、安装板、往复丝杠、丝杠套和第一电机；所述安装板上加工有第一腔体；贯穿吸附塔本体的两根抵杆的一端均与连接板固定连接，一根抵杆的另一端与清理刷固定连接，另一根抵杆的另一端与刮板固定连接；安装板固定安装在吸附塔本体外壁上，第一电机安装在安装板一端，第一电机的输出轴末端延伸至第一腔体内且与往复丝杠的一端固定连接，往复丝杠的另一端与第一腔体的内壁转动连接，往复丝杠上套设有与其配合的丝杠套；贯穿第一腔体的连接杆一端与丝杠套固定连接，连接杆另一端与连接板固定连接；启动第一电机带动往复丝杠转动，往复丝杠带动丝杠套移动，通过连接杆以及连接板带动抵杆移动，两根抵杆分别带动清理刷以及刮板移动。进一步地，所述搅拌机构包括搅拌桨和驱动系统；驱动系统用于驱动搅拌桨转动，实现对吸附塔本体内堆积的吸附剂颗粒的搅拌。进一步地，驱动系统包括第一锥齿轮、第二锥齿轮、转杆、第一皮带轮、第二皮带轮以及皮带，安装板上加工有第二腔体；第一电机的输出轴末端贯穿第二腔体并延伸至第一腔体内；第一锥齿轮和第二锥齿轮均位于第二腔体内，第一锥齿轮固定安装在第一电机输出轴上，第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合；转杆的下端与第二锥齿轮固定连接，转杆的上端与第一皮带轮固定连接，第二皮带轮与搅拌桨固定连接，第一皮带轮与第二皮带轮之间套设有皮带；启动第一电机，第一锥齿轮带动第二锥齿轮转动，第二锥齿轮带动转杆转动，转杆带动第一皮带轮转动，通过皮带带动第二皮带轮转动，从而带动搅拌桨转动，一方面大大提高吸附剂颗粒与六氟化钨气体的接触面积，提高利用率，另一方面将推入吸附塔本体内新的吸附剂颗粒摊平；或者，驱动系统包括第二电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮、转杆、第一皮带轮、第二皮带轮以及皮带；第二电机安装在吸附塔本体的外部，第一锥齿轮固定安装在第二电机输出轴上，第二锥齿轮与转杆的一端固定连接，且第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合；转杆的另一端与第一皮带轮固定连接，第二皮带轮与搅拌桨固定连接，第一皮带轮与第二皮带轮之间套设有皮带；此情况下，启动第二电机，第一锥本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：所述吸附塔包括吸附塔本体、吸附剂、上料机构以及出料机构；/n所述吸附塔本体内从上至下依次设有挡网以及过滤网，挡网上填充有吸附剂，所述过滤网用于过滤六氟化钨中的颗粒状杂质；在过滤网下方的吸附塔本体上安装有进气管，在挡网上方且紧挨着挡网处的吸附塔本体侧壁上设有出料口，出料口内安装有阀门，在填充的吸附剂上方的吸附塔本体上设有进料口以及安装有出气管；/n所述吸附剂为颗粒状，用于吸附六氟化钨中的HF；/n所述上料机构与进料口相配合，用于向吸附塔本体内加入新的吸附剂颗粒；/n所述出料机构与出料口相配合，用于将吸附塔本体内填充的吸附剂底部的吸附剂颗粒排出。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：所述吸附塔包括吸附塔本体、吸附剂、上料机构以及出料机构；
所述吸附塔本体内从上至下依次设有挡网以及过滤网，挡网上填充有吸附剂，所述过滤网用于过滤六氟化钨中的颗粒状杂质；在过滤网下方的吸附塔本体上安装有进气管，在挡网上方且紧挨着挡网处的吸附塔本体侧壁上设有出料口，出料口内安装有阀门，在填充的吸附剂上方的吸附塔本体上设有进料口以及安装有出气管；
所述吸附剂为颗粒状，用于吸附六氟化钨中的HF；
所述上料机构与进料口相配合，用于向吸附塔本体内加入新的吸附剂颗粒；
所述出料机构与出料口相配合，用于将吸附塔本体内填充的吸附剂底部的吸附剂颗粒排出。


2.根据权利要求1所述的一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：所述上料机构包括储料箱、螺旋输送机、进料筒、第一气缸和第一推板；
进料筒的一端安装有第一气缸，进料筒的另一端与进料口连接；储料箱与进料筒之间通过螺旋输送机连接；第一推板位于进料筒的内部且与第一气缸的伸缩末端固定连接，与进料筒内壁接触的第一推板外壁上套设有密封圈；
其中，未进料时，第一推板位于接近进料口的进料筒一端。


3.根据权利要求1所述的一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：所述出料机构包括第二气缸和第二推板；
第二气缸的伸缩末端延伸至吸附塔本体内，第二推板放置在挡网上且与第二气缸的伸缩末端固定连接，第二气缸用于带动第二推板移动。


4.根据权利要求3所述的一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：第二推板为楔形板，楔形板的底部与挡网的上表面贴近，楔形板的平面端朝向出料口，楔形板的斜面端相背出料口。


5.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：所述吸附塔还包括循环利用机构、清理机构和搅拌机构中的至少一种；
所述循环利用机构，用于对吸附塔本体排出的吸附剂颗粒进行脱附，并将脱附后的吸附剂颗粒储存到储料箱中；
所述清理机构，用于清理过滤网网孔中堵塞的杂质颗粒；
所述搅拌机构，用于搅拌吸附塔本体内堆积的吸附剂颗粒。


6.根据权利要求5所述的一种用于制备高纯六氟化钨的吸附塔，其特征在于：所述循环利用机构包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：林坤，张长金，王占卫，杨万吉，马朝选，王亚峰，郑秋艳，张琴，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13