一种自走机器人及其使用方法技术

本发明专利技术提供一种自走机器人及其使用方法，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。本发明专利技术的有益效果是有效的解决自走式机器人系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。不能大规模生产的问题。不能大规模生产的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种自走机器人及其使用方法


[0001]本专利技术属于半导体制造领域，尤其是涉及一种自走机器人及其使用方法。

技术介绍

[0002]在半导体硅单晶制造领域中,使用避免人工接触产品的自走式机器人进行产品的搬运，上下料是一种高效安全的自动化搬运方式。该方式自诞生以来，被多家半导体厂家尝试使用，随着越来越多自走式机器人在半导体车间应用，传统的基于多控制器协同工作的自走式机器人的效率问题，稳定性问题，部署和修改问题都逐渐地暴露出来，且多控制器和控制系统也导致产品制造成本高，造成在行业内半导体搬运自行走机器人始终属于试用阶段，没有形成大批量商业化发展。传统上的，2-3个互相通讯的控制器，逐一进行设置，逐一设置的过程需要注意各个控制器设置的顺序，彼此的关系，操作的过程容易出现错误，设置的结果可靠性和稳定性也存在问题，这对于高疲劳强度的半导体产业来说，是灾难性的。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的问题是提供一种自走机器人及其使用方法，有效的解决自走式机器人系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。
[0005]优选地，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料。
[0006]优选地，所述AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述AGV传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向。
[0007]优选地，所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置。
[0008]优选地，所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统。
[0009]一种使用如权利要求1所述的一种自走机器人的方法，其特征在于：所述控制器控制所述控制系统，所述控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料。
[0010]优选地，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料；在使用时，所述AGV控制系统控制所述自走机
器人移动，移动至目标位置后，所述机器人控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料。
[0011]优选地，所述AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述AGV传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向；在使用时，所述AGV电机控制系统控制所述自走机器人开始向目标方向移动，所述AGV传感器判断前方是否有障碍物，若有所述障碍物，控制所述自走机器人转换方向，绕过所述障碍物后继续向目标方向前进。
[0012]优选地，所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置；在使用时，所述视觉传感器判断所述物料的位置，将位置信息传递给所述AGV控制系统，所述机器人控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料至载台上，所述载具传感器判断所述物料是否处于所述载台上。
[0013]优选地，所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统；在使用时，人员按下所述控制器的相应按钮，信息发射系统发射相应的信息至所述控制系统，所述控制系统控制所述自走机器人搬运物料。
[0014]由于单一控制器的设计，使得工作人员不用同时控制2-3个控制器，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施耗时费力的问题；由于自走机器人的设计，解决了系统稳定性差，可靠性差，现场实施耗时费力且整体成本高，不能大规模生产的问题。
附图说明
[0015]图1是本专利技术实施例一种自走机器人控制系统结构示意图
具体实施方式
[0016]下面结合实施例和附图对本专利技术作进一步说明：
[0017]在本专利技术实施例的描述中，需要理解的是，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0018]本专利技术的一个实施例中，如图1一种自走机器人控制系统结构示意图所示：一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运硅片载具；所述控制器用于控制所述控制系统。
[0019]具体的，所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人移动；AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统用螺栓安装在自走机器人的底盘上，控制所述自走机器人底盘的前进或停止，所述底盘带动机器人移动；所述AGV传感器用螺栓安装在自走机器人底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向；前方若有障碍物，AGV传感器控制所述自走机器人底盘改变移动方向，绕开障碍物，躲避完成后，继续向目标方向前进。所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，控制所述自走机器人搬运硅片载具。
[0020]所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在自走机器
人的载台上，在自走机器人搬运完硅片载具至载台后，检测所述载台上是否存在硅片载具；所述视觉传感器设置在所述自走机器人偏上部，检测硅片载具的具体位置，然后将信息传入到AGV电机控制系统，确定目标方向。
[0021]所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统，按钮个数不限，对应的功能位置也不限，包括启动按钮和结束按钮，控制器只有一个，解决机器不协调配合、不稳定、现场实施工作人员耗时费力的问题；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，按钮按下后，发射信息控制相应的控制系统。
[0022]在使用时，工作人员控制控制器，按下开始按钮后，信息发射系统发射信息控制AGV电机控制系统自走机器人开始移动，此时视觉传感器开始工作，确定硅片载具的位置，定制目标方向，将信息传输至A本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自走机器人，包括控制系统和控制器，其特征在于：所述控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运物料；所述控制器用于控制所述控制系统。2.根据权利要求1所述的一种自走机器人，其特征在于：所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制系统设置在所述自走机器人上，用于控制所述自走机器人搬运所述物料。3.根据权利要求2所述的一种自走机器人，其特征在于：所述AGV控制系统还包括AGV电机控制系统和AGV传感器，所述AGV电机控制系统设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人是否移动；所述AGV传感器设置在所述底盘上，用于控制所述自走机器人的移动方向。4.根据权利要求2所述的一种自走机器人，其特征在于：所述控制系统还包括载台传感器和视觉传感器，所述载台传感器设置在载台上，用于检测所述载台上是否存在所述物料；所述视觉传感器设置在所述自走机器人上，用于检测所述物料的位置。5.根据权利要求1-4任一所述的一种自走机器人，其特征在于：所述控制器包括按钮和信息发射系统，所述按钮设置在所述控制器上，用于控制所述信息发射系统；所述信息发射系统设置在所述控制器内部，用于发射信息控制所述控制系统。6.一种使用如权利要求1所述的一种自走机器人的方法，其特征在于：所述控制器控制所述控制系统，所述控制系统控制所述自走机器人搬运所述物料。7.根据权利要求6所述的一种自走机器人的使用方法，其特征在于：所述控制系统包括AGV控制系统和机器人控制系统，所述AGV控制系统设置在底盘上，用于控制所述自走机器人移动；所述机器人控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：张淳，谭永麟，陈健华，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：