本实用新型专利技术涉及过滤装置技术领域，且公开了一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体，所述过滤箱本体上表面固定连接有进料斗，所述过滤箱本体右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一，所述过滤外壳一内部的放置槽内活动连接有过滤内壳，所述过滤内壳的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体右侧外表面活动连接有过滤外壳二。该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，操作人员将带有晶圆碎片的切削液废液倒入进料斗内，可以将不同大小的晶圆碎片都可以收集起来有效地避免了资源的浪费，这样可以二次对切削液的使用，避免了丢弃废液对环境造成污染。对环境造成污染。对环境造成污染。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用切削液分级优化设备
[0001]本技术涉及过滤装置
，具体为一种晶圆加工用切削液分级优化设备。
技术介绍
[0002]晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片),由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆,在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，目前常用的晶圆加工方式中都需要用到切削液，但是目前的大多数的晶圆加工的数控机床都是一些简单的切削液过滤装置，不能很好的将切削液中的晶圆碎片收集起来，很容易造成资源的浪费，同时切削废液对环境也具有很好的危害。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆加工用切削液分级优化设备，具备分级过滤切削液中的残渣等优点，解决了过滤不完全的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述分级过滤切削液中的残渣目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体，所述过滤箱本体上表面固定连接有进料斗，所述过滤箱本体右侧外表面底部固定连接有出料斗，所述过滤箱本体右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一，所述过滤外壳一内部的放置槽内活动连接有过滤内壳，所述过滤内壳内部下表面固定连接有过滤网，所述过滤内壳的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一右侧内壁顶部固定连接有气压顶杆，所述过滤外壳一前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体右侧外表面活动连接有过滤外壳二。
[0007]优选的，所述过滤外壳一内部中心开设有放置槽且贯穿其上下两侧表面。
[0008]优选的，所述筛动装置的数量为两个且两个筛动装置分别活动连接在过滤内壳的前后两侧，所述筛动装置包括有电机且电机固定连接在过滤外壳一前侧表面内壁底部，所述电机后侧表面固定连接有连接轴且连接轴后端贯穿出过滤外壳一内部前壁，所述连接轴后端固定连接有齿轮，所述齿轮上啮合连接有齿轮槽且齿轮槽固定连接在过滤内壳前侧外表面下端中心处。
[0009]优选的，所述齿轮外圈轮齿的安装数只安装了三分之一的轮齿外圈，所述齿轮槽的内部上表面以及内部下表面分别固定连接有轮齿。
[0010]优选的，所述抽拉装置的数量为两个且两个抽拉装置分别固定连接在过滤外壳一前后两侧表面中心处，所述抽拉装置包括有滑动连杆且滑动连杆后侧表面固定连接在过滤外壳一前侧表面中心处，所述滑动连杆前侧表面左端固定连接有卡块，所述滑动连杆前侧滑动连接有滑动导轨且滑动导轨前侧表面固定连接在过滤箱本体内部前壁上，所述滑动导轨内部开设有卡槽且卡槽活动套接在卡块上。
[0011]优选的，所述气压顶杆左侧固定连接有液压伸缩杆且液压伸缩杆左端贯穿出过滤外壳一右壁且其左端固定连接在过滤内壳右侧外表面上。
[0012](三)有益效果
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种一种晶圆加工用切削液分级优化设备，具备以下有益效果：
[0014]1、该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，操作人员将带有晶圆碎片的切削液废液倒入进料斗内，在地心引力的作用下废液向下流动，掉落至过滤外壳一内部的过滤内壳内，因为过滤内壳内部下表面有过滤网，这样就可以将较大的晶圆碎片停留至过滤网上，其他的废液通过网孔向下流动至过滤外壳二，因为过滤外壳二内的过滤网比过滤外壳一内的过滤网的网孔小，这样就可以将较小的晶圆碎片停留至过滤网上，这样可以将不同大小的晶圆碎片都可以收集起来，因为晶圆大多数都是由硅元素组成，可以重新冶炼锻造出新的晶圆，有效地避免了资源的浪费，废液因为再次通过网孔形成无渣滓的切削液，向下流动至过滤箱本体内部下表面的出料斜坡上最后通过出料斗流出，方便了操作人员对过滤后的切削液的收集，这样可以二次对切削液的使用，避免了丢弃废液对环境造成污染。
[0015]2、该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，通过设置筛动装置，电机启动带动连接轴转动，从而使齿轮同样进行旋转，因为齿轮的外圈轮齿只有三分之一，当齿轮的轮齿旋转至与齿轮槽下端的轮齿啮合时，从而使过滤内壳向右平移，当齿轮的轮齿旋转至与齿轮槽上端的轮齿啮合时，从而使过滤内壳向左平移，过滤内壳反复进行左右平移，这样可以使对过滤内壳内的废液进行抖动，防止了在过滤的过程中晶圆碎片堵住过滤网上的网孔造成过滤不了切削废液。
[0016]3、该一种晶圆加工用切削液分级优化设备使用时，通过设置抽拉装置，操作人员拉动过滤装置上的把手，通过滑动连杆与滑动导轨的滑动连接，操作人员可以更省力的将过滤装置抽拉出来，因为卡块活动套接在卡槽内，这样可以避免操作人员将过滤装置抽拉掉落，将抽拉装置抽拉出操作人员可以更好的对晶圆碎片进行收集。
附图说明
[0017]图1为本技术一种晶圆加工用切削液分级优化设备结构示意图；
[0018]图2为本技术过滤箱本体内部结构二维示意图；
[0019]图3为本技术过滤装置的内部结构示意图；
[0020]图4为本技术图3中A处放大图；
[0021]图5为本技术抽拉装置的结构示意图。
[0022]图中：1、过滤箱本体；2、进料斗；3、出料斗；4、过滤外壳一；5、过滤外壳二；6、过滤内壳；7、过滤网；8、滑动连杆；9、滑动导轨；10、电机；11、连接轴；12、齿轮；13、齿轮槽；14、卡槽；15、卡块；16、气压顶杆。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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图5，本技术提供一种新的技术方案：一种晶圆加工用切削液分级优化设备,包括过滤箱本体1，过滤箱本体1上表面固定连接有进料斗2，进料斗2的下端进口贯穿进过滤箱本体1上表面，过滤箱本体1右侧外表面上端活动连接有过滤外壳一4，过滤外壳一4内部中心开设有放置槽且贯穿其上下两侧表面，过滤外壳一4内部的放置槽内活动连接有过滤内壳6，过滤内壳6内部中空且上表面开设有进液口，过滤内壳6位于进料斗2下端进口的正下方，过滤内壳6内部下表面固定连接有过滤网7，过滤内壳6的前侧设置有筛动装置，筛动装置的数量为两个，两个筛动装置分别活动连接在过滤内壳6的前后两侧，筛动装置包括有电机10，电机10固定连接在过滤外壳一4前侧表面内部下端中心处，电机10后侧表面固定连接有连接轴11，连接轴11后端贯穿出过滤外壳一4内部前壁，连接轴11后端固定连接有齿轮12，齿轮12外圈轮齿的安装数只安装了三分之一的轮齿外圈，齿轮12上啮合连接有齿轮槽13，齿轮槽13固定连接在过滤内壳6前侧外表面底部中心处，齿轮槽13的内部上表面以及内部下表面分别固定连接有轮齿，电机10启动带动连接轴11转动，从而使齿轮12同样进行旋转，因为本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用切削液分级优化设备，包括过滤箱本体(1)，所述过滤箱本体(1)上表面固定连接有进料斗(2)，所述过滤箱本体(1)右侧外表面底部固定连接有出料斗(3)，其特征在于：所述过滤箱本体(1)右侧外表面顶部活动连接有过滤外壳一(4)，所述过滤外壳一(4)内部的放置槽内活动连接有过滤内壳(6)，所述过滤内壳(6)内部下表面固定连接有过滤网(7)，所述过滤内壳(6)的前侧下端设置有筛动装置，所述过滤外壳一(4)右侧内壁顶部固定连接有气压顶杆(16)，所述过滤外壳一(4)前侧表面设置有抽拉装置，所述过滤箱本体(1)右侧外表面活动连接有过滤外壳二(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述过滤外壳一(4)内部中心开设有放置槽且贯穿其上下两侧表面。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用切削液分级优化设备，其特征在于：所述筛动装置的数量为两个且两个筛动装置分别活动连接在过滤内壳(6)的前后两侧，所述筛动装置包括有电机(10)且电机(10)固定连接在过滤外壳一(4)前侧表面内壁底部，所述电机(10)后侧表面固定连接有连接轴(11)且连接轴(11)后端贯穿出过滤外壳一(4)内部前壁，所述连接轴(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张静娜，常小燕，
申请(专利权)人：新郑市宝德高技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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