振动器件制造技术

提供振动器件，其具有优异的检测特性。该振动器件包含振动元件、基座和相对于基座支承振动元件的支承件。另外，从所述支承件的厚度方向俯视时，支承件具有框状的框架、配置在框架的外侧并固定于基座的底座、配置在框架的内侧并搭载有振动元件的元件保持架、从元件保持架起沿第1方向延伸并连接元件保持架和框架的一对第1梁、以及从框架起沿与第1方向不同的第2方向延伸并连接框架和底座的一堆第2梁。并且，在俯视时，将第1梁在第1方向上的长度设为L1(μm)、第1梁在与第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1(μm)时，满足W12/L1＜30。/L1＜30。/L1＜30。

【技术实现步骤摘要】
振动器件


[0001]本专利技术涉及振动器件。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载了一种具有电路元件、振动元件和将振动元件固定在电路元件上的中继基板的振动器件。另外，中继基板形成万向支架(gimbal)结构，具有固定在电路元件上的框状的第1部分、配置在第1部分的内侧的框状的第2部分、配置在第2部分的内侧并固定有振动元件的第3部分、连接第1部分和第2部分的第1梁以及连接第2部分和第3部分的第2梁。通过这样的中继基板，抑制了应力向振动元件的传递。另外，在专利文献2中，作为陀螺仪元件的支承结构，记载了利用内引线将陀螺仪元件支承在TAB基板上方的结构。
[0003]专利文献1：日本特开2019-102858号公报
[0004]专利文献2：日本特开2017-026336号公报
[0005]在将专利文献2中记载的陀螺仪元件代替该文献中记载的支承结构而搭载在专利文献1中记载的万向支架状的中继基板上的情况下，根据第2梁的尺寸，第2梁的绕Z轴即陀螺仪元件的检测轴的刚性变得过高。若第2梁的绕Z轴的刚性变得过高，则陀螺仪元件的检测振动受到阻碍，陀螺仪元件的检测灵敏度有可能降低。

技术实现思路

[0006]本应用例的振动器件的特征在于，具有：振动元件，其根据绕检测轴的物理量进行检测振动；基座；以及支承件，其相对于所述基座支承所述振动元件，在从所述支承件的厚度方向俯视时，所述支承件具有：框状的框架；底座，其配置在所述框架的外侧，并固定于所述基座；元件保持架，其配置在所述框架的内侧，搭载有所述振动元件；一对第1梁，它们从所述元件保持架起沿着第1方向延伸，将所述元件保持架和所述框架连接起来；以及一对第2梁，它们从所述框架起沿着与所述第1方向不同的第2方向延伸，将所述框架和所述底座连接起来，在所述俯视时，将所述第1梁在所述第1方向上的长度设为L1μm、所述第1梁在与所述第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1μm时，满足W12/L1＜30。
[0007]在本应用例的振动器件中，优选满足：W12/L1＜12.5。
[0008]在本应用例的振动器件中，优选的是，在将相互垂直的3个轴设为A轴、B轴和C轴时，所述支承件的厚度方向沿着所述C轴，所述振动元件具有：元件基座，其固定于所述元件保持架；一对检测臂，它们从所述元件基座起沿着所述B轴延伸；一对连接臂，它们从所述元件基座起沿着所述A轴延伸；一对驱动臂，它们从一个所述连接臂的末端起起沿着所述B轴延伸；以及一对驱动臂，它们从另一个所述连接臂的末端起沿着所述B轴延伸。
[0009]在本应用例的振动器件中，优选的是，所述第1方向沿着所述A轴，所述第2方向沿着所述B轴。
[0010]在本应用例的振动器件中，优选的是，在从沿着所述C轴的方向观察的俯视时，所述元件保持架和所述元件基座为相同的形状。
[0011]在本应用例的振动器件中，优选的是，所述支承件具有一对第3梁，所述第3梁从所述框架起沿着所述第1方向延伸，并将所述框架和所述底座连接起来，所述一对第3梁和所述一对第1梁配置在一条直线上。
附图说明
[0012]图1是示出第1实施方式的振动器件的剖视图。
[0013]图2是示出图1的振动器件的俯视图。
[0014]图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。
[0015]图4是沿图3中的D-D线的剖视图。
[0016]图5是沿图3中的E-E线的剖视图。
[0017]图6是说明图3的振动元件的驱动的示意图。
[0018]图7是说明图3的振动元件的驱动的示意图。
[0019]图8是支承件的俯视图。
[0020]图9是示出W12/L1和灵敏度之间的关系的曲线图。
[0021]图10是第2实施方式的振动器件的俯视图。
[0022]图11是第3实施方式的振动器件所具有的支承件的俯视图。
[0023]标号说明
[0024]1：振动器件；2：封装；21：基座；211、211a～211c：凹部；22：盖；23：接合部件；241、242：内部端子；243：外部端子；3：电路元件；4：支承件；41：框架；411～414：缘部；42：底座；421～424：缘部；43：元件保持架；44：第1梁；45：第2梁；46：第3梁；6：振动元件；7：振动基板；70：元件基座；701～706：端子；71、72：检测臂；73、74：连接臂；75～78：驱动臂；8：电极；81：驱动信号电极；82：驱动接地电极；83：第1检测信号电极；84：第1检测接地电极；85：第2检测信号电极；86：第2检测接地电极；a、b：箭头；B1、B2：接合部件；BW：接合线；La：假想直线；Lb：假想直线；L1、L2：长度；O：中心；S：内部空间；W1、W2：宽度；ωc：角速度。
具体实施方式
[0025]以下，基于附图所示的实施方式详细说明本应用例的振动器件。
[0026]<第1实施方式>
[0027]图1是示出第1实施方式的振动器件的剖视图。图2是示出图1的振动器件的俯视图。图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。图4是沿图3中的D-D线的剖视图。图5是沿图3中的E-E线的剖视图。图6和图7是说明图3的振动元件的驱动的示意图。图8是支承件的俯视图。图9是示出W12/L1和灵敏度之间的关系的曲线图。
[0028]另外，为了便于说明，在图1至图8中示出了相互垂直的3个轴即A轴、B轴和C轴。并且以下，将各轴的箭头末端侧也称为“正侧”，将相反侧也称为“负侧”。而且，也将正侧和负侧称为“两侧”。另外，C轴的正侧也称为“上”，负侧也称为“下”。另外，将从支承件4的厚度方向即沿着C轴的方向俯视也简称为“俯视”。
[0029]图1所示的振动器件1是检测以C轴为检测轴的角速度ωc的物理量传感器。这样，通过将振动器件1设为物理量传感器，能够将振动器件1搭载在广泛的电子设备上，获得具有高需求的便利性高的振动器件1。这样的振动器件1具有封装2、收纳在封装2中的电路元
件3、支承件4以及振动元件6。
[0030]封装2具有：基座21，其具有在上表面开口的凹部211；盖22，其封住凹部211的开口并经由接合部件23与基座21的上表面接合。在封装2的内侧通过凹部211形成有内部空间S，在内部空间S中分别收纳有电路元件3、支承件4以及振动元件6。例如，基座21可以由氧化铝等陶瓷构成，盖22可以由可伐合金等金属材料构成。但是，作为基座21及盖22的构成材料，分别没有特别限定。
[0031]内部空间S是气密的，处于减压状态，优选处于更接近真空的状态。由此，粘性阻力减小，振动元件6的振动特性提高。但是，内部空间S的环境没有特别限定，例如也可以为大气压状态、加压状态。
[0032]另外，凹部211由多个凹部构成，具有在基座21的上表面开口的凹部211a、在凹部211a的底面开口且开口宽度比凹部211a小的凹部211b、在凹部211b的底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种振动器件，其特征在于，具有：振动元件，其根据绕检测轴的物理量进行检测振动；基座；以及支承件，其相对于所述基座支承所述振动元件，在从所述支承件的厚度方向俯视时，所述支承件具有：框状的框架；底座，其配置在所述框架的外侧，并固定于所述基座；元件保持架，其配置在所述框架的内侧，搭载有所述振动元件；一对第1梁，它们从所述元件保持架起沿着第1方向延伸，将所述元件保持架和所述框架连接起来；以及一对第2梁，它们从所述框架起沿着与所述第1方向不同的第2方向延伸，将所述框架和所述底座连接起来，在所述俯视时，将所述第1梁在所述第1方向上的长度设为L1μm、所述第1梁在与所述第1方向垂直的方向上的宽度W设为W1μm时，满足：W12/L1＜30。2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，所述振动器件满足：W12/L1＜12.5。3.根据权利要求1或2所述的振动器件，其中，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：小仓诚一郎，山口启一，西泽龙太，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：