调Q钬激光器制造技术

技术编号:27567363 阅读:25 留言:0更新日期:2021-03-09 22:12
本申请公开了一种调Q钬激光器,所述调Q钬激光器包括复合谐振腔、Tm/Ho复合增益介质、调Q元件和泵浦源;复合谐振腔包括激光谐振腔和滤波谐振腔;滤波谐振腔和调Q元件沿光路方向依次位于激光谐振腔内;Tm/Ho复合增益介质位于滤波谐振腔内;泵浦源位于激光谐振腔外;其中,滤波谐振腔用于分离Tm激光和Ho激光。该激光器包括复合谐振腔,复合谐振腔实现了分离Tm激光和Ho激光,将Tm激光禁锢在滤波谐振腔内,从而使得调Q元件只对Ho激光产生影响,Tm激光可以有效激发Ho激光,形成稳定调Q脉冲输出。形成稳定调Q脉冲输出。形成稳定调Q脉冲输出。

【技术实现步骤摘要】
调Q钬激光器


[0001]本申请涉及一种调Q钬激光器,固体激光


技术介绍

[0002]现有全固态钬(Ho)激光实现方式中,相对于体积庞大的Tm激光器泵浦Ho激光器,价格昂贵的1.9μm半导体激光器LD泵浦Ho激光器,和结构复杂的Tm激光器谐振腔内泵浦Ho激光器,Tm/Ho键合激光器是一种结构紧凑、可小型化、经济便捷的Ho激光实现方式,能够直接利用常规LD(波长在750nm~810nm)来高效率地实现室温Ho激光输出。然而,键合增益介质内部掺Tm部分和掺Ho部分相互影响,掺Tm部分既提供用于泵浦掺Ho部分的Tm激光,又充当Ho激光的饱和吸收体,掺Ho部分在消耗腔内Tm激光能量的同时也相当于Tm激光的饱和吸收体,对腔内Tm泵浦光的时间稳定性造成了影响。
[0003]上述情况导致了Tm/Ho键合激光器在自由运行状态下就已经出现杂乱的脉冲信号,而且无法在传统主动调Q方式上(既在Tm/Ho键合激光器的谐振腔内插入声光或电光调制器件)产生稳定的调Q脉冲输出。另一方面,在谐振腔内直接插入可饱和吸收体的传统被动调Q方式也难以在Tm/Ho键合激光器上实现激光输出,这是由于可饱和吸收体的引入增加了谐振腔损,对Ho激光,尤其是对腔内泵浦掺Ho部分的Tm激光均造成损耗而无法形成激光振荡输出。也就是说,由于在腔内同时具有Tm激光和Ho激光,调Q元件削弱Tm激光,从而使得Ho激光无法充分被Tm激光激发,无法形成有效的Ho激光输出。因此,需要发展能够从Tm/Ho键合激光器上实现稳定调Q脉冲输出的有效机制。

技术实现思路
<br/>[0004]根据本申请的一个方面,提供了一种调Q钬激光器,该激光器包括复合谐振腔,复合谐振腔实现了分离Tm激光和Ho激光,将Tm激光禁锢在滤波谐振腔内,从而使得调Q元件只对Ho激光产生影响,Tm激光可以有效激发Ho激光,形成稳定调Q脉冲输出。
[0005]一种调Q钬激光器,所述调Q钬激光器包括复合谐振腔、Tm/Ho复合增益介质、调Q元件和泵浦源;
[0006]所述复合谐振腔包括激光谐振腔和滤波谐振腔;
[0007]所述滤波谐振腔和调Q元件沿光路方向依次位于所述激光谐振腔内;
[0008]所述Tm/Ho复合增益介质位于所述滤波谐振腔内;
[0009]所述泵浦源位于所述激光谐振腔外;
[0010]其中,所述滤波谐振腔用于分离Tm激光和Ho激光。
[0011]可选地,所述滤波谐振腔的前腔面和所述滤波谐振腔的后腔面均镀有Tm激光高反膜,所述Tm激光在所述滤波谐振腔内振荡;所述激光谐振腔的前腔面和所述激光谐振腔的后腔面分别镀有Ho激光高反膜和Ho激光部分反射膜,所述Ho激光在所述激光谐振腔内振荡。
[0012]可选地,所述滤波谐振腔的前腔面和所述滤波谐振腔的后腔面均镀有对Tm激光的
反射率大于95%的第一反射膜,所述Tm激光在所述滤波谐振腔内振荡;所述激光谐振腔的前腔面镀有对Ho激光的反射率大于99%的第二反射膜;所述激光谐振腔的后腔面镀有对Ho激光的反射率在2%~50%的部分反射膜,所述Ho激光在所述激光谐振腔内振荡。
[0013]可选地,所述滤波谐振腔的前腔面为前腔镜,所述滤波谐振腔的后腔面为滤波器件;所述激光谐振腔的前腔面为前腔镜;所述激光谐振腔的后腔面为后腔镜;所述前腔镜、Tm/Ho复合增益介质、滤波器件、调Q元件和后腔镜沿光路方向依次排列。
[0014]可选地,所述滤波谐振腔的前腔面为所述Tm/Ho复合增益介质的前端面,所述滤波谐振腔的后腔面为所述Tm/Ho复合增益介质的后端面;所述激光谐振腔的前腔面为所述Tm/Ho复合增益介质的前端面;所述激光谐振腔的后腔面为后腔镜;所述Tm/Ho复合增益介质、调Q元件和后腔镜沿光路方向依次排列。
[0015]可选地,所述调Q元件插设在所述滤波谐振腔与后腔镜之间;或者,所述调Q元件为涂覆在后腔镜前端面的一层膜。
[0016]可选地,所述调Q元件包括电光调Q开关、声光调Q开关、过渡金属掺杂的二六族化合物晶体、过渡金属二硫化物晶体、过渡金属二硒化物晶体、半导体可饱和吸收体、石墨烯二维材料、碳纳米管二维材料、拓扑绝缘体、在2μm波段实现调Q脉冲输出的可饱和吸收材料中的任一种。
[0017]可选地,所述Tm/Ho复合增益介质包括沿所述光路方向依次排列的掺Tm部分和掺Ho部分。
[0018]可选地,所述掺Tm部分选自Tm:YAG晶体,Tm:LuAG晶体,Tm:YLF晶体,Tm:LuLiF晶体,Tm:YAP晶体,Tm:YAB晶体,Tm:KGW晶体,Tm:GdVO4晶体、Tm:YVO4晶体、Tm:YAG透明陶瓷、Tm:Al2O3透明陶瓷中的任意一种;
[0019]所述掺Ho部分选自Ho:YAG晶体,Ho:LuAG晶体,Ho:YLF晶体,Ho:LuLiF晶体,Ho:YAP晶体,Ho:KGW晶体,Ho:YAB晶体,Ho:GdVO4晶体、Ho:YVO4晶体、Ho:YAG透明陶瓷、Ho:Al2O3透明陶瓷中的任意一种。
[0020]可选地,在所述掺Tm部分中,Tm离子的掺杂浓度为2~7at%;在所述掺Ho部分中,Ho离子的掺杂浓度为0.2~2at%。
[0021]可选地,在所述掺Tm部分的前端面和所述掺Ho部分的后端面之间复合无稀土离子掺杂介质;或者,
[0022]在所述掺Tm部分的后端面与所述掺Ho部分的前端面之间复合无稀土离子掺杂介质。
[0023]可选地,所述Tm/Ho复合增益介质的与光路方向平行的侧面镀有二氧化硅膜。
[0024]可选地,所述调Q钬激光器还包括散热件,所述散热件设置在所述Tm/Ho复合增益介质的与光路方向平行的侧面。
[0025]可选地,所述散热件为铜块,所述铜块的内部设有供冷却液流通的微孔道,所述微孔道的进液口和出液口与外部的水冷却系统连接。
[0026]可选地,所述散热件与所述Tm/Ho复合增益介质的侧面之间设有金属箔。
[0027]本申请能产生的有益效果包括:
[0028]1)本专利技术所提供的调Q钬激光器,通过复合谐振腔结构,分离谐振腔内的Tm激光和Ho激光,克服由于掺Tm部分和掺Ho部分在2μm激光波段同时存在的饱和吸收效应而导致Tm/
Ho键合激光器无法在常规调Q方式下实现调Q脉冲输出的瓶颈问题。调Q钬激光器中的调Q元件只对Ho激光产生作用,不会对Tm激光产生影响(因为Tm激光被禁锢在滤波谐振腔中),因此调Q钬激光器能够在主动调Q元器件或可饱和吸收体的作用下实现稳定的调Q脉冲输出,具有结构紧凑、可小型化、可常规LD泵浦、可常温制冷等综合优势。
附图说明
[0029]图1为本申请第一种实施方式的调Q钬激光器的结构示意图;
[0030]图2为本申请第二种实施方式的调Q钬激光器的结构示意图;
[0031]图3为本申请第三种实施方式的调Q钬激光器的结构示意图;
[0032]图4为未插入图1未插入滤波器件时调Q钬激光器的脉冲输出特效;
[00本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调Q钬激光器,其特征在于,所述调Q钬激光器包括复合谐振腔、Tm/Ho复合增益介质、调Q元件和泵浦源;所述复合谐振腔包括激光谐振腔和滤波谐振腔;所述滤波谐振腔和调Q元件沿光路方向依次位于所述激光谐振腔内;所述Tm/Ho复合增益介质位于所述滤波谐振腔内;所述泵浦源位于所述激光谐振腔外;其中,所述滤波谐振腔用于分离Tm激光和Ho激光。2.根据权利要求1所述的调Q钬激光器,其特征在于,所述滤波谐振腔的前腔面和所述滤波谐振腔的后腔面均镀有Tm激光高反膜,所述Tm激光在所述滤波谐振腔内振荡;所述激光谐振腔的前腔面和所述激光谐振腔的后腔面分别镀有Ho激光高反膜和Ho激光部分反射膜,所述Ho激光在所述激光谐振腔内振荡。3.根据权利要求2所述的调Q钬激光器,其特征在于,所述滤波谐振腔的前腔面为前腔镜,所述滤波谐振腔的后腔面为滤波器件;所述激光谐振腔的前腔面为前腔镜;所述激光谐振腔的后腔面为后腔镜;所述前腔镜、Tm/Ho复合增益介质、滤波器件、调Q元件和后腔镜沿光路方向依次排列。4.根据权利要求2所述的调Q钬激光器,其特征在于,所述滤波谐振腔的前腔面为所述Tm/Ho复合增益介质的前端面,所述滤波谐振腔的后腔面为所述Tm/Ho复合增益介质的后端面;所述激光谐振腔的前腔面为所述Tm/Ho复合增益介质的前端面;所述激光...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄海洲林文雄李锦辉邓晶葛燕翁文
申请(专利权)人:中国科学院福建物质结构研究所
类型:发明
国别省市:

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