一种集成电路硅片电镀用清洗槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集成电路硅片电镀用清洗槽，包括主箱体、控制按钮、清洗液箱、滤网和步进电机，所述控制按钮的输出端通过导线分别与清洗液箱和步进电机的输入端电连接，所述主箱体的正面设置有控制按钮，所述主箱体左侧的底部安装有步进电机。本实用新型专利技术通过将安装架设置为可拆卸式的结构，可直接将安装架对准插入主箱体内，通过固定孔对其进行卡合即可，方便安装的同时也方便取出，同时通过弹簧杆的自身弹力作用下，可根据不同规格的集成电路硅片电镀进行调整其两组承接杆之间的间距，加强整个装置使用时的通用性。加强整个装置使用时的通用性。加强整个装置使用时的通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路硅片电镀用清洗槽


[0001]本技术涉及集成电路硅片加工设备
，具体为一种集成电路硅片电镀用清洗槽。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件，据铜互连技术的要求，铜电镀设备不仅要制备出具有超填充性能的均匀铜膜，还要对电镀后的硅片进行清洗处理，而现有的用于集成电路硅片电镀设备直接置于清洗槽内清洗，不易取出的同时，也清洗不均匀，因此，亟需一种集成电路硅片电镀用清洗槽来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种集成电路硅片电镀用清洗槽，以解决上述
技术介绍
中提出集成电路是一种微型电子器件或部件，据铜互连技术的要求，铜电镀设备不仅要制备出具有超填充性能的均匀铜膜，还要对电镀后的硅片进行清洗处理，而现有的用于集成电路硅片电镀设备直接置于清洗槽内，不易取出的同时，也清洗不均匀的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种集成电路硅片电镀用清洗槽，包括主箱体、控制按钮、清洗液箱、滤网和步进电机，所述控制按钮的输出端通过导线分别与清洗液箱和步进电机的输入端电连接，所述主箱体的正面设置有控制按钮，所述主箱体左侧的底部安装有步进电机，且步进电机的输出端安装有主旋转轴，所述主旋转轴的表面套设有第一锥形齿轮，所述主箱体右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱和清洗液箱，所述废液箱的表面通过滤网与主箱体内部相连通，所述清洗液箱的一侧设置有进液口，且进液口上方的主箱体表面开设有插槽，所述清洗液箱的内部安装有水泵，且水泵的输出端安装有导液管，所述废液箱和清洗液箱上方的主箱体内部通过轴承横向安装有丝杆，且丝杆的一端安装有承接轴，所述丝杆的另一端套设有丝母，且丝母的表面设置有喷头，所述丝杆上方的主箱体内部通过轴承安装有安装架，且安装架的一端贯穿插槽延伸至主箱体表面，所述安装架内部的中间位置处设置有内置框架，且内置框架的内部安装有夹具组件。
[0005]优选的，所述导液管远离水泵的一端贯穿插槽和丝母表面，且导液管与喷头相连通。
[0006]优选的，所述夹具组件包括有夹片、弹簧杆和承接杆，所述内置框架内部的两侧皆横向安装有承接杆，且承接杆的中间位置处插设有弹簧杆，所述弹簧杆的一侧皆设置有夹片。
[0007]优选的，所述进液口上方的插槽表面通过轴承铰接有管道放置架，且管道放置架的表面均匀缠绕有导液管。
[0008]优选的，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮皆设置有两组，所述第一锥形齿轮的表面皆设置有齿牙，所述第二锥形齿轮表面设置有与第一锥形齿轮相配适的齿牙，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮之间通过齿牙相互啮合。
[0009]优选的，所述承接轴设置有两组，两组所述承接轴的一端分别与第二锥形齿轮连接，其中一组所述承接轴的一端开设有固定孔，且固定孔的内部内嵌有安装架。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该集成电路硅片电镀用清洗槽，通过将安装架设置为可拆卸式的结构，可直接将安装架对准插入主箱体内，通过固定孔对其进行卡合即可，方便安装的同时也方便取出，同时通过弹簧杆的自身弹力作用下，可根据不同规格的集成电路硅片电镀进行调整其两组承接杆之间的间距，加强整个装置使用时的通用性，且通过步进电机输出端主旋转轴带动第一锥形齿轮竖向旋转，使得与第一锥形齿轮啮合的第二锥形齿轮进行横向旋转，从而使得承接轴带动安装架和丝杆进行同步旋转，使得丝杆表面套设有的丝母带动喷头随着螺纹进行横向移动，并对同时也旋转中的安装架内部，通过夹具组件固定有的集成电路硅片电镀进行喷洒清洗，使得集成电路硅片电镀清洗均匀，并且设计轻便、灵巧、安全、可靠，操作便捷，制作成本低，适用于大规模的生产化使用。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构正视剖面示意图；
[0012]图2为本技术安装架的结构俯视剖面示意图；
[0013]图3为本技术夹具组件的结构俯视剖面示意图；
[0014]图4为本技术的结构正视示意图。
[0015]图中：1、主箱体；2、控制按钮；3、安装架；4、导液管；5、管道放置架；6、夹具组件；61、夹片；62、弹簧杆；63、承接杆；7、内置框架；8、清洗液箱；9、插槽；10、喷头；11、进液口；12、水泵；13、丝母；14、滤网；15、废液箱；16、步进电机；17、第一锥形齿轮；18、主旋转轴；19、第二锥形齿轮；20、承接轴；21、固定孔；22、丝杆。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：
[0018]一种集成电路硅片电镀用清洗槽，包括主箱体1、控制按钮2、清洗液箱8、滤网14和步进电机16，控制按钮2的输出端通过导线分别与清洗液箱8和步进电机16的输入端电连接，主箱体1的正面设置有控制按钮2，主箱体1左侧的底部安装有步进电机16，且步进电机16的输出端安装有主旋转轴18，主旋转轴18的表面套设有第一锥形齿轮17，主箱体1右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱15和清洗液箱8，废液箱15的表面通过滤网14与主箱体1内部相连通，清洗液箱8的一侧设置有进液口11，且进液口11上方的主箱体1表面开设有插槽9，清洗液箱8的内部安装有水泵12，且水泵12的输出端安装有导液管4。
[0019]根据附图1所示，导液管4远离水泵12的一端贯穿插槽9和丝母13表面，且导液管4与喷头10相连通，进液口11上方的插槽9表面通过轴承铰接有管道放置架5，且管道放置架5的表面均匀缠绕有导液管4，通过管道放置架5的设计，以方便导液管4的固定操作，可有效
减少导液管4发生打结的情况。
[0020]废液箱15和清洗液箱8上方的主箱体1内部通过轴承横向安装有丝杆22，且丝杆22的一端安装有承接轴20，丝杆22的另一端套设有丝母13，且丝母13的表面设置有喷头10，丝杆22上方的主箱体1内部通过轴承安装有安装架3，且安装架3的一端贯穿插槽9延伸至主箱体1表面，根据附图1和附图4所示，第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19皆设置有两组，第一锥形齿轮17的表面皆设置有齿牙，第二锥形齿轮19表面设置有与第一锥形齿轮17相配适的齿牙，第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19之间通过齿牙相互啮合，承接轴20设置有两组，两组承接轴20的一端分别与第二锥形齿轮19连接，其中一组承接轴20的一端开设有固定孔21，且固定孔21的内部内嵌有安装架3，工作人员通过按压控制按钮2开启步进电机16以及清洗液箱8的工作，步进电机16的输出端通过主旋转轴18带动两组第一锥形齿轮17同步竖向旋转，由于第一锥形齿轮17和第二锥形齿轮19之间相互啮合作用，使得第二锥形齿轮19随着第一锥形齿轮17的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路硅片电镀用清洗槽，包括主箱体(1)、控制按钮(2)、清洗液箱(8)、滤网(14)和步进电机(16)，所述控制按钮(2)的输出端通过导线分别与清洗液箱(8)和步进电机(16)的输入端电连接，其特征在于：所述主箱体(1)的正面设置有控制按钮(2)，所述主箱体(1)左侧的底部安装有步进电机(16)，且步进电机(16)的输出端安装有主旋转轴(18)，所述主旋转轴(18)的表面套设有第一锥形齿轮(17)，所述主箱体(1)右侧的内部底端由左至右分别设置有废液箱(15)和清洗液箱(8)，所述废液箱(15)的表面通过滤网(14)与主箱体(1)内部相连通，所述清洗液箱(8)的一侧设置有进液口(11)，且进液口(11)上方的主箱体(1)表面开设有插槽(9)，所述清洗液箱(8)的内部安装有水泵(12)，且水泵(12)的输出端安装有导液管(4)，所述废液箱(15)和清洗液箱(8)上方的主箱体(1)内部通过轴承横向安装有丝杆(22)，且丝杆(22)的一端安装有承接轴(20)，所述丝杆(22)的另一端套设有丝母(13)，且丝母(13)的表面设置有喷头(10)，所述丝杆(22)上方的主箱体(1)内部通过轴承安装有安装架(3)，且安装架(3)的一端贯穿插槽(9)延伸至主箱体(1)表面，所述安装架(3)内部的中间位置处设置有内置框架(7)，且内置框架(7)的内部安装有夹具组件(6)。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈骆峥晗，
申请(专利权)人：绍兴怡华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：