一种气瓶不间断供气用切换控制装置制造方法及图纸

技术编号:27560360 阅读:20 留言:0更新日期:2021-03-03 20:06
本申请涉及一种气瓶不间断供气用切换控制装置,其包括供气装置本体,供气装置本体包括主供气瓶和次供气瓶,管路系统远离主供气瓶的一端连通有中间主进气管,中间主进气管上有主控制阀,管路系统远离次供气瓶的一端有中间次进气管,中间次进气管靠近管路系统的一端有次控制阀,中间主进气管和中间次进气管的端部有汇流管,汇流管远离中间主进气管的一端有反应系统;中间次进气管上有缓冲箱和缓冲控制阀,缓冲箱上有排气管,排气管上有排气控制阀,缓冲箱上有缓冲压力传感器,汇流管上有汇流压力传感器。本申请具有主供气瓶和次供气瓶的气体汇集到汇流管时的流速相同,气流大致均匀进入反应系统,有利于保证反应系统正常进行的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种气瓶不间断供气用切换控制装置


[0001]本申请涉及供气设备的领域,尤其是涉及一种气瓶不间断供气用切换控制装置。

技术介绍

[0002]目前随着半导体产业的蓬勃发展,气体供应设备越来越多的应用于IC芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。
[0003]现有公告号为CN203927403U的中国技术专利公开了一种不间断供气式气瓶柜,包括壳体,壳体内设置瓶组一、瓶组二,瓶组一、瓶组二通过自动切换阀汇集到同一汇流输出管;壳体底部设置称重台一、称重台二,所述称重台一与称重台二可输出电信号至控制器。此气瓶柜具备主、备气体储备,顺序输出,保障气体输出不中断的效能;同时具备远程监控瓶组重量、判断气体储备状态、保障气体补给不中断的效能;且具备远程监控气瓶柜内气体是否存在泄漏故障,并通风稀释泄漏气体,避免危险事故发生的效能。
[0004]针对上述中的相关技术,专利技术人认为存在有瓶组一和瓶组二在气体供应切换时,瓶组一和瓶组二中的气体汇集到汇流输出管的流速不同,导致气流混乱,不利于反应系统进行的缺陷。

技术实现思路

[0005]为了改善相关问题的缺陷,本申请提供一种气瓶不间断供气用切换控制装置。
[0006]本申请提供的一种气瓶不间断供气用切换控制装置采用如下的技术方案:
[0007]一种气瓶不间断供气用切换控制装置,包括供气装置本体,所述供气装置本体包括主供气瓶和次供气瓶,且主供气瓶的一端通过初始主进气管连通设置有管路系统,次供气瓶的一端和管路系统通过初始次进气管连通设置,管路系统远离主供气瓶的一端连通设置有中间主进气管,中间主进气管上靠近管路系统的一端设置有主控制阀,管路系统远离次供气瓶的一端设置有中间次进气管,中间次进气管靠近管路系统的一端设置有次控制阀,中间主进气管和中间次进气管的端部连通设置有汇流管,汇流管远离中间主进气管的一端连通设置有反应系统;所述中间次进气管上连通设置有缓冲箱和缓冲控制阀,缓冲箱位于次控制阀远离管路系统的一端,缓冲控制阀位于缓冲箱远离次控制阀的一端,缓冲箱上设置有排气管,排气管上设置有排气控制阀,缓冲箱上设置有缓冲压力传感器,且汇流管上设置有汇流压力传感器。
[0008]通过采用上述技术方案,当一种气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,通过打开主控制阀,将主供气瓶中的气体通过初始主进气管进入管路系统,经过管路系统进入中间主进气管,进而由中间主进气管进入汇流管,由汇流管进入反应系统,当汇流压力传感器检测到汇流管内压力减少时,此时主供气瓶中即将用完,打开次控制阀和排气控制阀,将次供气瓶中的气体通过初始次进气管进入管路系统,进而由管路系统进入中间次进气管,由中间次进气管进入缓冲箱,次供气瓶中的气体将缓冲箱中的空气通过排气管排出,待空气排尽,将排气控制阀关闭,缓冲箱中不断通入气体,缓冲箱中的压力不断增大,待缓冲压
力传感器和汇流压力传感器的压力值相同时,将缓冲控制阀打开,气体由缓冲箱通过中间次进气管进入汇流管,进而由汇流管进入反应系统。如此设置,主供气瓶和次供气瓶的气体汇集到汇流管的流速相同,气流大致均匀进入反应系统,有利于保证反应系统的正常进行。
[0009]优选的,所述主供气瓶远离初始主进气管的一端设置有称重装置。
[0010]通过采用上述技术方案,当主供气瓶在不断供气时,称重装置有利于准确检测主供气瓶中的气体余量,有利于清楚掌握主供气瓶中的气体输出进度。
[0011]优选的,所述汇流管上设置有流速传感器。
[0012]通过采用上述技术方案,当气体通过汇流管时,流速传感器有利于准确检测气体的流速,进而有利于通过主控制阀和次控制阀控制气体的流速。
[0013]优选的,所述汇流管上靠近反应系统的一端设置有用于控制汇流管中气体温度的温控机构。
[0014]通过采用上述技术方案,当气体通过汇流管时,温控机构有利于根据反应系统的温度调控汇流管中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性。
[0015]优选的,所述温控机构包括温控表、温控件和用于控制温控件温度的温控器,温控件套设在汇流管靠近反应系统的一端,温控表设置在温控器上。
[0016]通过采用上述技术方案,当气体通过汇流管时,温控器调节温控件的温度,进而温控件对汇流管中的气体温度进行控制,有利于根据反应系统的温度调控汇流管中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性,同时温控件套设在汇流管上,有利于对汇流管中的气体温度调控大致均匀。
[0017]优选的,所述供气装置本体外部设置有保护壳。
[0018]通过采用上述技术方案,保护壳有利于防止外界因素对供气装置本体造成损坏,有利于保护气瓶不间断供气用切换控制装置。
[0019]优选的,所述初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管上均套设有保护套。
[0020]通过采用上述技术方案,保护套有利于防止初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管处于潮湿环境中时造成腐蚀磨损,有利于保护初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管
[0021]优选的,所述初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管上均设置有气流指向标牌。
[0022]通过采用上述技术方案,当气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,气流指向标牌有利于清楚的指示出气体在初始主进气管、初始次进气管、中间主进气管、中间次进气管和汇流管中的流向,便于理解和操作。
[0023]综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
[0024]1.当一种气瓶不间断供气用切换控制装置在使用时,通过打开主控制阀,将主供气瓶中的气体通过初始主进气管进入管路系统,经过管路系统进入中间主进气管,进而由中间主进气管进入汇流管,由汇流管进入反应系统,当汇流压力传感器检测到汇流管内压力减少时,此时主供气瓶中即将用完,打开次控制阀和排气控制阀,将次供气瓶中的气体通过初始次进气管进入管路系统,进而由管路系统进入中间次进气管,由中间次进气管进入缓冲箱,次供气瓶中的气体将缓冲箱中的空气通过排气管排出,待空气排尽,将排气控制阀
关闭,缓冲箱中不断通入气体,缓冲箱中的压力不断增大,待缓冲压力传感器和汇流压力传感器的压力值大致相同时,将缓冲控制阀打开,气体由缓冲箱通过中间次进气管进入汇流管,进而由汇流管进入反应系统。如此设置,主供气瓶和次供气瓶的气体汇集到汇流管的流速相同,气流大致均匀进入反应系统,有利于保证反应系统的正常进行;
[0025]2.当主供气瓶在不断供气时,称重装置有利于准确检测主供气瓶中的气体余量,有利于清楚掌握主供气瓶中的气体输出进度;
[0026]3.当气体通过汇流管时,温控器调节温控件的温度,进而温控件对汇流管中的气体温度进行控制,有利于根据反应系统的温度调控汇流管中的气体温度,有利于提高气瓶不间断供气用切换控制装置的应用性,同时温控件套设在汇流管上,有利于对汇流管中的气体温度调控大致均匀。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气瓶不间断供气用切换控制装置,其特征在于:包括供气装置本体(1),所述供气装置本体(1)包括主供气瓶(2)和次供气瓶(3),且主供气瓶(2)的一端通过初始主进气管(4)连通设置有管路系统(5),次供气瓶(3)的一端和管路系统(5)通过初始次进气管(6)连通设置,管路系统(5)远离主供气瓶(2)的一端连通设置有中间主进气管(8),中间主进气管(8)上靠近管路系统(5)的一端设置有主控制阀(9),管路系统(5)远离次供气瓶(3)的一端设置有中间次进气管(10),中间次进气管(10)靠近管路系统(5)的一端设置有次控制阀(11),中间主进气管(8)和中间次进气管(10)的端部连通设置有汇流管(12),汇流管(12)远离中间主进气管(8)的一端连通设置有反应系统(13);所述中间次进气管(10)上连通设置有缓冲箱(14)和缓冲控制阀(15),缓冲箱(14)位于次控制阀(11)远离管路系统(5)的一端,缓冲控制阀(15)位于缓冲箱(14)远离次控制阀(11)的一端,缓冲箱(14)上设置有排气管(16),排气管(16)上设置有排气控制阀(17),缓冲箱(14)上设置有缓冲压力传感器(18),且汇流管(12)上设置有汇流压力传感器(19)。2.根据权利要求1所述的一种气瓶不间断供气用切换控制装置,其特征在于:所述主供气瓶(2)远离初始...

【专利技术属性】
技术研发人员:张思勰任如潘华杰
申请(专利权)人:上海栎智机电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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